Compagnie D'assurance Rapide de RPM2000 Photoluminescence - Système de Mappage de PL de Température ambiante de Nanometrics

Sujets Couverts

Mouvement Propre
Compagnie D'assurance Rapide de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics
Matériel
Configurations Système
Excitation et Dépistage
Le Logiciel de T/MN
Mappage Haut-Spatial de Définition
Fourier Filtrant pour GaN LED

Mouvement Propre

Photoluminescence est une technique bien établie, de non contact, non destructive utilisée dans le développement et contrôle du processus des semi-conducteurs, avec des plans de disque de PL de température ambiante fournissant l'information indispensable sur l'uniformité de composition d'alliage, de la qualité matérielle et des défauts en substrats, épicouches et structures de dispositif.

Compagnie D'assurance Rapide de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics

La Compagnie D'assurance Rapide de RPM2000 Photoluminescence est un système rapide, de température ambiante (PL) de photoluminescence de mappage adapté pour l'usage dans des environnements de R&D, de production et de contrôle qualité.

Le RPM2000 a été conçu particulièrement pour obtenir les plans entiers de PL de disque dans une simple fraction du temps précédemment associé avec ce tri de la mesure, donnant la capacité de mesurer et évaluer des disques entre les cadences de production. L'avantage primaire est que le contrôle par retour de l'information rapide et les mesures correctives peuvent être mis en application si les paramètres de disque sont hors du cahier des charges, évitant des cadences de production, ainsi le temps et coût gaspillés d'épargne. De plus, la vitesse de la mesure effectue l'inspection et la qualification entrantes des disques achetés un rapide et une tâche facile.

À l'aide d'un seul design, le système réalise des vitesses rapides superbes de mappage sans compromettre spectrale et résolution spatiale. Par exemple, un contrôle rapide de signe intégré de PL sur un disque de deux pouces à la résolution spatiale de 1mm peut être exécuté en seulement 19 secondes. C'est un plan de 2026 remarques en moins de 20 secondes. Le Plein mappage spectral, à la même résolution spatiale, donnant la position maximale, intensité maximale, FWHM et intensité intégrée prendrait seulement 25 secondes. En 100 secondes au-dessous de, le RPM2000 peut produire les plans intégrés d'un disque de deux pouces à la résolution spatiale de 0.2mm, un total de plus de 50.000 remarques, ou plans spectraux à la résolution spatiale de 0.5mm donnant 8.000 remarques.

Le RPM2000 peut également fournir le véritable mappage de PL de qualité des images aux définitions spatiales et spectrales élevées, donnant la capacité d'examiner des centaines de milliers de remarques sur des disques jusqu'au diamètre de 150mm : Il est possible de tracer à la résolution spatiale de 0.1mm sur des disques jusqu'au diamètre de 100mm et à 0.2mm sur des disques jusqu'à 150mm. Pour des disques de 150mm une résolution spatiale de 1mm plan intégré prendrait seulement 56 secondes et une résolution spatiale de la qualité des images 0.2mm plan intégré, correspondant à plus de 455.800 remarques prendrait seulement 8 mn.

Matériel

Le RPM2000 utilise un R, È, le stade fait sur commande de Z qui retient des disques de diamètre et d'épaisseurs jusqu'à de 150mm jusqu'à 1mm. Des surveillances de l'alimentation de la Température et de laser sont ajustées en tant que norme. Le support témoin comporte deux parts : le stade de lecture et un rapide et facile de changer le mandrin de disque, choisi pour apparier le diamètre de disque. Le disque est retenu par aspirateur permettant à de petits échantillons de forme irrégulière d'être facilités. Le plan de PL est produit en déménageant le disque tandis que la poutre d'excitation de laser demeure stationnaire. À l'aide des détecteurs d'alignement, toutes les longueurs d'onde peuvent être saisies simultanément.

Configurations Système

Le RPM2000 peut être configuré pour couvrir un domaine spectral large, défini par le choix des grilles, des lasers d'excitation, des détecteurs et de la commande triant des filtres. Nos scientifiques peuvent donner un avis sur des configurations personnalisées.

Excitation et Dépistage

Jusqu'à deux lasers intérieurement montés d'excitation et un laser accouplé de fibre optique externe d'excitation peuvent être facilités. Les faisceaux lasers d'Excitation ont heurté la surface témoin sous un angle afin de fournir le filtrage spatial de la lumière laser. La poutre est normalement orientée à un diamètre d'endroit approximativement de 100µm et, type, l'alimentation électrique de laser est maintenue assez bas d'éliminer n'importe quelle modification des spectres. Le PL produit par l'échantillon est rassemblé par le bloc optique réfléchi, accouplé à 0.3m un monochromateur, donnant l'excellent débit en travers du domaine spectral. Jusqu'à trois grilles commandées par ordinateur, sept filtres et deux détecteurs d'alignement peuvent être installés.

Un troisième détecteur est utilisé pour mesurer les signes intégrés de PL. Les Lasers, les détecteurs, les filtres et les grilles sont tous sélectionables du logiciel sans nécessité de modifier le matériel. Une option de réflectivité est également disponible pour que les systèmes spectraux déterminent l'épaisseur de film et pour le réflecteur de Bragg et la caractérisation de VCSEL.

Le Logiciel de T/MN

L'application RPM2000 a été développée sur beaucoup d'années et est robuste et versatile. Tous Les fonctionnements exigés de contrôle et d'analyse sont directement disponibles en tant qu'élément de l'application. Des Fonctionnements sont présentés d'une façon logique et intuitive. L'application vient complet avec un Éditeur de Recette et un Manuel complet d'Aide En Ligne.

Mappage Haut-Spatial de Définition

Le RPM2000 peut rassembler jusqu'à 200 points d'informations par seconde en plein mode spectral avec le Traitement Numérique du Signal intégré (DSP) ou 2000 remarques étonnantes par seconde dans le mode intégrant spectral. Ceci active la résolution spatiale très élevée « images de disque » d'être rassemblé. Ces images peuvent souvent indiquer les petits défauts d'accroissement qui iraient autrement non détectés. La résolution spatiale Élevée dans une échographie de r-thêta porte un autre avantage, La capacité à l'image la région d'arête d'un disque en détail.

Le RPM2000 peut rassembler jusqu'à 2000 points d'informations par seconde en mode non-spectral. L'image indique les petits défauts d'accroissement qui sont indétectables quand le disque est balayé à la résolution spatiale faible.

Fourier Filtrant pour GaN LED

Des données Brutes de PL d'un GaN MQW LED sont souvent faussées par la présence des franges d'interférence. Un algorithme de Filtrage sophistiqué de logiciel de Fourier enlève mathématiquement l'effet des franges - indication du véritable spectre de PL.

Le logiciel de Filtrage Neuf de Fourier enlève franger des effets en spectres de GaN LED.

Source : SORT Oriel

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Cette information a été originaire, révisée et adaptée des matériaux fournis par le SORT Oriel.

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Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:56

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