RPM2000 急速な Photoluminescence のマッパー - Nanometrics からの室温 PL のマップシステム

カバーされるトピック

背景
Nanometrics からの RPM2000 急速な Photoluminescence のマッパー
ハードウェア
システム構成
刺激および検出
RPM のソフトウェア
高空間的な解像度のマップ
GaN LED'S のためにフィルタに掛けるフーリエ

背景

Photoluminescence は開発で使用された基板、 epilayers および装置構造で合金の構成、物質的な品質および欠陥の均等性の必須の情報を与えていて室温 PL のウエファーのマップが半導体の、プロセス制御確立した、無接触、非破壊的な技術です。

Nanometrics からの RPM2000 急速な Photoluminescence のマッパー

RPM2000 急速な Photoluminescence マッパーは R & D、生産および品質管理の環境 (PL)の使用のために適した速い、室温の photoluminescence マップシステムです。

RPM2000 は前にこの種類の測定と関連付けられる時間のただの一部分の全ウエファー PL のマップを得るようにとりわけ設計され契約量間のウエファーを測定し、査定する機能を与えます。 一次利点は従ってもしウエファーパラメータが無駄にされた契約量、セービングの時間および費用を避ける指定からあれば急速なフィードバックおよび改善措置が実行することができることです。 さらに、測定の速度は買い入れられたウエファーの入力点検および修飾を速く、容易なタスクします。

一義的なデザインの使用によって、システムは分光および空間分解能を妥協しないで極度の速いマップの速度を達成します。 例えば、 1mm の空間分解能の 2 インチのウエファーの統合された PL のシグナルの急速な小切手は 19 秒だけに行うことができます。 それは 20 秒以下の 2026 ポイントマップです。 完全な分光は FWHM および統合された強度を、ピーク位置を、ピーク強度与える、同じ空間分解能でマップして 25 秒だけかかります。 以下 100 秒では、 RPM2000 は 50,000 ポイント上の 0.2mm の空間分解能、合計、または 8,000 ポイントを与える 0.5mm の空間分解能で分光マップで 2 インチのウエファーの統合されたマップを作り出すことができます。

RPM2000 はまた 150mm の直径までウエファーの数十万ポイントを検査する機能を与える高く空間的なおよび分光解像度でマップする直接像の品質 PL を提供できます: 100mm の直径までウエファーの 0.1mm の空間分解能および 150mm までウエファーの 0.2mm でマップすることは可能です。 150mm のウエファーのために 1mm の空間分解能は統合されたマップ 56 秒だけかかり、空間分解能が 455,800 ポイント上のに相当してマップを、統合した画像の品質 0.2mm は 8 分だけかかります。

ハードウェア

RPM2000 はカスタムデザイン R、 È の 1mm まで 150mm まで直径および厚さのウエファーを保持する Z の段階を使用します。 温度およびレーザー力モニタは標準として合います。 サンプルホールダーは 2 部から成り立ちます: ウエファーの直径に一致させるために選択されるウエファーのチャックを変更するスキャンの段階および速くのおよび容易。 ウエファーは真空によって保持され取り扱われるように不規則な形の小さいサンプルがします。 PL のマップはウエファーの移動によってレーザーの刺激ビームが静止している間、生成されます。 アレイ探知器の使用によって、すべての波長は同時に得ることができます。

システム構成

RPM2000 はフィルターをソートする格子、刺激レーザー、探知器および順序の選択によって定義される広いスペクトル領域をカバーするために設定することができます。 私達の科学者はカスタム構成で助言できます。

刺激および検出

2 つまでの内部的に取付けられた刺激レーザーおよび 1 つの外部光ファイバつながれた刺激レーザーは取り扱うことができます。 刺激レーザ光線はレーザー光線の空間的なフィルタに掛けることを提供するためにサンプル表面にの斜めに当りました。 ビームはおよそ 100µm の点の直径に普通集中し、スペクトルの変更を除去するには、普通、レーザー力は十分に低く保たれます。 サンプルによって作り出される PL は 0.3m にスペクトル領域を渡る優秀なスループットを与えるモノクロメーターをつながれる反射光学によって集められます。 3 つまでのコンピューター制御格子、 7 つのフィルターおよび 2 つのアレイ探知器はインストールされるかもしれません。

第 3 探知器は統合された PL のシグナルを測定するために使用されます。 レーザー、探知器、フィルターおよび格子はすべてハードウェアを再構成する必要性なしでソフトウェアから選択可能です。 反射力オプションは Bragg の反射鏡および VCSEL の性格描写ように分光システムがフィルム厚さを定めることができるそしてのためにまた使用できます。

RPM のソフトウェア

RPM2000 アプリケーションは多くの年に開発され、強く、多目的です。 すべての必須制御および分析機能はアプリケーションの一部として直接使用できます。 機能は論理的で、直観的な方法で示されます。 アプリケーションは調理法エディターおよび広範囲のオンライン・ヘルプマニュアルと完全来ます。

高空間的な解像度のマップ

RPM2000 は内蔵デジタル信号処理の完全な分光モードの毎秒 200 までのデータ点か分光 (DSP)統合のモードの毎秒驚く 2000 ポイントを集めることができます。 これは集められる非常に高い空間分解能 「ウエファー画像」の可能にします。 これらの画像は頻繁に別の方法で探知されていなく行く小さい成長の欠陥を明らかにすることができます。 r Θスキャンの高い空間分解能は別の利点、画像への能力をすばらしい細部のウエファーの端領域持って来ます。

RPM2000 は非分光モードの毎秒 2000 までのデータ点を集めることができます。 画像はウエファーが低い空間分解能でスキャンされるとき検出不可能である小さい成長の欠陥を明らかにします。

GaN LED'S のためにフィルタに掛けるフーリエ

GaN MQW LED からの未加工 PL データは頻繁に干渉じまの存在によって歪みます。 洗練されたフーリエフィルタに掛けるソフトウェアのアルゴリズムは数学的にフリンジの暴露効果 - 本当 PL スペクトルを明らかにすることを取除きます。

フーリエ新しいフィルタに掛けるソフトウェアは GaN LED スペクトルの効果に縁を付けることを取除きます。

ソース: ロット Oriel

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Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:06

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