RPM2000 급속한 Photoluminescence 지도 작성자 - Nanometrics에서 실내 온도 통제선 매핑 제도

커버되는 토픽

배경
Nanometrics에서 RPM2000 급속한 Photoluminescence 지도 작성자
기계설비
시스템 구성
흥분과 탐지
RPM 소프트웨어
높 공간에게 해결책 지도로 나타내기
GaN LED'S를 위해 필터하는 푸리에

배경

Photoluminescence는 발달에서 및 기질, epilayers 및 장치 구조물에 있는 순서 관리, 합금 구성, 물자 질 및 결점의 균등성에 생명 정보를 제공하는 상태에서 사용된 실내 온도 통제선 웨이퍼 지도가 반도체의 기초가 튼튼하고, 몸의 접촉이 없는, 비파괴적인 기술입니다.

Nanometrics에서 RPM2000 급속한 Photoluminescence 지도 작성자

RPM2000 급속한 Photoluminescence 지도 작성자는 연구 및 개발, 생산 및 품질 관리 환경 (PL)에 있는 사용을 위해 적당한 단단, 실내 온도 photoluminescence 매핑 제도입니다.

RPM2000는 이전에 측정의 이 종류와 관련되었던 시간의 단순한 조각에 있는 전체적인 웨이퍼 통제선 지도를 장악하기 위하여 특히 디자인되, 생산 실행 사이 웨이퍼를 측정하고 평가하는 기능을 주. 1 차적인 이득은 만일 웨이퍼 매개변수가 낭비한 생산 실행, 따라서 저축 시간 및 비용을 피하는 논고에서 이면 급속한 의견 및 개선하는 활동이 실행될 수 있다 입니다. 추가적으로, 측정의 속도는 웨이퍼사 에서의 들어오는 검사 그리고 자격을 빠르고 쉬운 업무 만듭니다.

유일한 디자인을 사용해서, 시스템은 괴기한 공간적 해상도 손상 없이 최고 단단 지도로 나타내는 속도를 달성합니다. 예를 들면, 1mm 공간적 해상도에 2 인치 웨이퍼에 통합 통제선 신호의 급속한 검사는 단지 19 초에서 능력을 발휘할 수 있습니다. 그것은 20 초 미만에 있는 2026 점 지도입니다. 가득 차있는 괴기하는 FWHM 및 통합 강렬을, 피크 위치를, 피크 강렬 주는, 동일 공간적 해상도에 지도로 나타내서 단지 25 초가 걸릴 것입니다. 이하 100 초에서는, RPM2000는 50,000 점 이상 0.2mm 공간적 해상도, 토탈, 또는 8,000 점을 주는 0.5mm 공간적 해상도에 괴기한 지도에 2 인치 웨이퍼의 통합 지도를 생성할 수 있습니다.

RPM2000는 또한 150mm 직경까지 웨이퍼에 수천 수백 점을 검토하는 기능을 주는 높은 공간과 스펙트럼 분해에 지도로 나타내는 확실한 심상 질 통제선을 제공할 수 있습니다: 100mm 직경까지 웨이퍼에 0.1mm 공간적 해상도 및 150mm까지 웨이퍼에 0.2mm에 지도로 나타내는 것이 가능합니다. 150mm 웨이퍼를 위해 1mm 공간적 해상도는 통합한 지도 단지 56 초가 걸리고 공간적 해상도가 455,800 점 이상에 일치하는 지도를, 통합한 심상 질 0.2mm는 단지 8 분이 걸릴 것입니다.

기계설비

RPM2000는 주문 설계되는 R, È 의 1mm까지 150mm까지 직경과 간격의 웨이퍼를 붙드는 Z 단계를 이용합니다. 온도와 레이저 힘 모니터는 기준으로 적합합니다. 견본 홀더는 2개 부품 구성하고 있습니다: 웨이퍼 직경과 일치하기 위하여 선택되는 웨이퍼 물림쇠를 바꾸는 스캐닝 단계 및 빠르고 것 및 쉬운. 웨이퍼는 진공에 의해 붙들려 수용되는 것을 불규칙한 형태의 작은 견본이 허용하. 통제선 지도는 웨이퍼를 레이저 흥분 光速가 정지되는 동안 생성됩니다. 소집 검출기를 사용해서, 모든 파장은 동시에 취득될 수 있습니다.

시스템 구성

RPM2000는 필터를 분류하는 격자판, 흥분 레이저, 검출기 및 명령의 선택에 의해 정의된 넓은 괴기한 범위를 커버하기 위하여 구성될 수 있습니다. 우리의 과학자는 주문 윤곽에 조언할 수 있습니다.

흥분과 탐지

2개까지 내부에 거치한 흥분 레이저 및 1개의 외부 광섬유 결합한 흥분 레이저는 수용될 수 있습니다. 흥분 레이저 광선은 견본 레이저 광의 공간 필터를 제공하기 위하여 표면을 비스듬히 명중했습니다. 光速는 대략 100µm의 반점 직경에 일반적으로 집중되고, 전형적으로, 스펙트럼의 어떤 변경든지 삭제하는 레이저 힘은 충분히 낮게 지켜집니다. 견본에 의해 생성한 통제선은 0.3m에 괴기한 범위를 통해 우수한 처리량을 주는 단색화 장치를 결합된 사려깊은 광학에 의해 집합됩니다. 3까지 컴퓨터 - 통제되는 격자판, 7개의 필터 및 2개 소집 검출기는 설치될 수 있습니다.

제 3 의 검출기는 통합 통제선 신호 측정을 위해 이용됩니다. 레이저, 검출기, 필터 및 격자판은 전부 기계설비를 재설정하는 필요 없이 소프트웨어에서 선택할 수 있습니다. 반사력 선택권은 또한 Bragg 반사체와 VCSEL 특성 괴기한 시스템이 필름 간격을 결정하도록 그리고를 위해 유효합니다.

RPM 소프트웨어

RPM2000 응용은 많은 년에 개발되고 강력하고 다재다능합니다. 모든 필수 통제와 분석 기능은 직접 응용의 한 부분으로 유효합니다. 기능은 논리 및 직관적인 방법에서 제출됩니다. 응용은 조리법 편집자 및 포괄적인 온라인 도움말 설명서에 완전한 옵니다.

높 공간에게 해결책 지도로 나타내기

RPM2000는 내장된 디지털 신호 처리를 가진 가득 차있는 괴기한 최빈값에 있는 초당 200까지 자료점 또는 괴기한 (DSP) 통합 최빈값에 있는 초당 놀라게 하는 점 2000 집합할 수 있습니다. 이것은 집합되는 아주 높은 공간적 해상도 "웨이퍼 심상" 가능하게 합니다. 이 심상은 수시로 다르게 미결에 갈 작은 성장 결점을 제시할 수 있습니다. r 시타 검사에 있는 높은 공간적 해상도는 다른 이점, 심상에 능력을 훌륭한 세부사항에 있는 웨이퍼의 가장자리 지구 가져옵니다.

RPM2000는 비 괴기한 최빈값에 있는 초당 2000까지 자료점을 집합할 수 있습니다. 심상은 웨이퍼가 낮은 공간적 해상도에 검사될 때 발견할 수 없는 작은 성장 결점을 제시합니다.

GaN LED'S를 위해 필터 푸리에

GaN MQW LED에서 처리되지 않는 통제선 데이터는 간섭 무늬의 존재에 의해 수시로 왜곡됩니다. 정교한 푸리에 필터 소프트웨어 산법은 수학상으로 프린지의 효력 - 확실한 통제선 스펙트럼을 제시하는을 것을 제거합니다.

푸리에 새로운 필터 소프트웨어는 GaN LED 스펙트럼에 있는 효력을 테를 두루기 제거합니다.

근원: 제비 Oriel

이 근원에 추가 정보를 위해 제비 Oriel를 방문하십시오.


대략 제비 QuantumDesign 주식 회사

과학적인 연구의 단단 발전 세계에서 최신과 가장 진보된 기계 사용에 접근이 있는 것이 아주 중요합니다. 무슨 공구가 인식하고 있을 일에서 지원하게 유효한 당신이 필요가 있는 연구원. 제비 QuantumDesign 주식 회사 생산 범위는 몇몇을의 시장에서 유효한 가장 정교한 계기 오늘 제공합니다.

제비 QuantumDesign 주식 회사 몇몇을의 세계의 주요한 제조자 나타내 기대를 초과하고 질과 혁신을 전달하는 기계 사용을 일으키.

제비 QuantumDesign 주식 회사 유럽 전체에 작동하고 대부분의 국가에 있는 사무실을 할당했습니다.

제비 QuantumDesign 주식 회사

이 정보는 제비 계속 Oriel에 의해 제공된 물자에서 sourced, 검토해서 그리고 적응시켜 입니다.

이 근원에 추가 정보를 위해, 제비 QuantumDesign 주식 회사 방문하십시오

Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:09

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit