Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence - Sistema de Traço do PL da Temperatura Ambiente de Nanometrics

Assuntos Cobertos

Fundo
Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics
Hardware
Configurações de Sistema
Excitação e Detecção
O Software do RPM
Traço Alto-Espacial da Definição
Fourier que Filtra para DIODOS EMISSORES DE LUZ de GaN

Fundo

Photoluminescence é uma bem conhecida, um não-contacto, técnica nondestructive usada na revelação e controle de processos dos semicondutores, com os mapas da bolacha do PL da temperatura ambiente que dão a informação vital na uniformidade da composição da liga, da qualidade material e dos defeitos nas carcaças, nos epilayers e nas estruturas do dispositivo.

Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics

O Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence é um sistema rápido, da temperatura ambiente (PL) do photoluminescence de traço apropriado para o uso em ambientes do controle do R&D, da produção e da qualidade.

O RPM2000 foi projectado especificamente obter mapas inteiros do PL da bolacha em uma mera fracção do tempo associado previamente com esta meio medida, dando a capacidade para medir e avaliar bolachas entre corridas de produção. O benefício preliminar é que o feedback rápido e a acção correctiva podem ser executados se os parâmetros da bolacha forem fora da especificação, evitando corridas de produção, assim o tempo da economia e custos desperdiçados. Além, a velocidade da medida faz a inspecção e a qualificação entrantes de bolachas compradas acções uma tarefa rápida e fácil.

Usando um projecto original, o sistema consegue velocidades de traço rápidas super sem comprometer a definição espectral e espacial. Por exemplo, uma verificação rápida do sinal integrado do PL em uma bolacha de 2 polegadas na definição espacial de 1mm pode ser executada em somente 19 segundos. Aquele é um mapa de 2026 pontos em menos de 20 segundos. Espectral Completo traçando, na mesma definição espacial, dando a posição máxima, a intensidade máxima, o FWHM e a intensidade integrada tomaria somente 25 segundos. Em 100 segundos inferiores, o RPM2000 pode produzir mapas integrados de uma bolacha de 2 polegadas na definição espacial de 0.2mm, em um total sobre de 50.000 pontos, ou em mapas espectrais na definição espacial de 0.5mm que dá 8.000 pontos.

O RPM2000 pode igualmente fornecer a qualidade PL da imagem verdadeira que traça nas definições espaciais e espectrais altas, dando a capacidade para examinar centenas de milhares de pontos em bolachas até o diâmetro de 150mm: É possível traçar na definição espacial de 0.1mm em bolachas até o diâmetro de 100mm e em 0.2mm em bolachas até 150mm. Para bolachas de 150mm uma definição espacial de 1mm mapa integrado tomaria somente 56 segundos e uma qualidade 0.2mm que da imagem a definição espacial integrou o mapa, correspondendo sobre a 455.800 pontos tomaria somente 8 minutos.

Hardware

O RPM2000 usa um R projetado, È, a fase de Z que guardara bolachas do diâmetro e das espessuras de até 150mm até 1mm. Os monitores de potência da Temperatura e do laser são cabidos como o padrão. O suporte da amostra compreende duas porções: a fase da exploração e um rápido e fácil mudar o mandril da bolacha, escolhido combinar o diâmetro da bolacha. A bolacha é mantida pelo vácuo permitindo que as amostras pequenas de forma irregular sejam acomodadas. O mapa do PL está gerado movendo a bolacha quando o feixe da excitação do laser permanecer estacionário. Usando detectores da disposição, todos os comprimentos de onda podem ser adquiridos simultaneamente.

Configurações de Sistema

O RPM2000 pode ser configurado para cobrir uma escala espectral larga, definida pela escolha dos gratings, dos lasers da excitação, dos detectores e do pedido classificando filtros. Nossos cientistas podem emitir um parecer sobre configurações feitas sob encomenda.

Excitação e Detecção

Até dois lasers internamente montados da excitação e um laser acoplado de fibra óptica externo da excitação podem ser acomodados. Os raios laser da Excitação bateram a superfície da amostra em um ângulo a fim fornecer a filtração espacial do laser. O feixe é focalizado normalmente a um diâmetro do ponto de aproximadamente 100µm e, tipicamente, a potência do laser é mantida baixo bastante eliminar toda a mudança dos espectros. O PL produzido pela amostra é recolhido pelo sistema ótico reflexivo, acoplado a 0.3m um monocromador, dando a produção excelente através da escala espectral. Até três gratings controlados por computador, sete filtros e dois detectores da disposição podem ser instalados.

Um terceiro detector é usado medindo sinais integrados do PL. Os Lasers, os detectores, os filtros e os gratings são tudo selecionáveis do software sem a necessidade de reconfigurar o hardware. Uma opção da reflectividade está igualmente disponível para que os sistemas espectrais determinem a espessura de filme e para o refletor de Bragg e a caracterização de VCSEL.

O Software do RPM

A aplicação RPM2000 foi desenvolvida sobre muitos anos e é robusta e versátil. Todas As funções exigidas do controle e da análise estão directamente disponíveis como parte da aplicação. As Funções são apresentadas em uma maneira lógica e intuitiva. A aplicação vem completo com um Editor da Receita e um Manual detalhado da Ajuda Online.

Traço Alto-Espacial da Definição

O RPM2000 pode recolher até 200 por segundo dos pontos de dados no modo espectral completo com Tratamento Dos Sinais A bordo de Digitas (DSP) ou uns 2000 por segundo de surpresa dos pontos no modo de integração espectral. Isto permite a definição espacial muito alta da “imagens bolacha” ser recolhido. Estas imagens podem frequentemente revelar os defeitos pequenos do crescimento que iriam de outra maneira indetectados. A definição espacial Alta em uma varredura da r-teta traz uma outra vantagem, A capacidade à imagem a região da borda de uma bolacha em grande detalhe.

O RPM2000 pode recolher até 2000 por segundo dos pontos de dados no modo não-espectral. A imagem revela os defeitos pequenos do crescimento que são indetectáveis quando a bolacha é feita a varredura na baixa definição espacial.

Fourier que Filtra para DIODOS EMISSORES DE LUZ de GaN

Os dados Crus do PL de um DIODO EMISSOR DE LUZ de GaN MQW são distorcidos frequentemente pela presença de franjas de interferência. Um algoritmo de Filtração sofisticado do software de Fourier remove matematicamente o efeito das franjas - revelar o espectro verdadeiro do PL.

O software de Filtração Novo de Fourier remove franjar efeitos em espectros do DIODO EMISSOR DE LUZ de GaN.

Source: LOTE Oriel

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Esta informação foi originária, revista e adaptada dos materiais fornecidos pelo LOTE Oriel.

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Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:20

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