Mapper RPM2000 Быстрый Photoluminescence - Система PL Комнатной Температуры Отображая от Nanometrics

Покрытые Темы

Предпосылка
Mapper RPM2000 Быстрый Photoluminescence от Nanometrics
Оборудование
Системные Конфигурации
Возбуждение и Обнаружение
ПО RPM
Высок-Пространственный Отображать Разрешения
Фурье Фильтруя для СИД GaN

Предпосылка

Photoluminescence солидный, внеконтактный, метод без разрушения используемый в развитии и управление производственным процессом полупроводников, при карты вафли PL комнатной температуры давая существенную информацию на единообразии состава сплава, материального качества и дефектов в субстратах, эпислоях и структурах прибора.

Mapper RPM2000 Быстрый Photoluminescence от Nanometrics

Mapper RPM2000 Быстрый Photoluminescence система быстрой, комнатной температуры (PL) photoluminescence отображая соответствующая для пользы в окружающих средах R&D, продукции и проверки качества.

RPM2000 было конструировано специфически для того чтобы получить все карты PL вафли в простой части времени ранее связанного с этим видом измерения, дающ способность измерить и определить вафли между выпусками продукции. Основное преимущество что быструю обратную связь и лечебное действие можно снабдить если параметры вафли из спецификации, во избежание расточительствованные выпуски продукции, таким образом время сбережений и цены. В добавлении, скорость измерения делает входящие осмотр и квалификацию покупать-в вафель быстрая и легкая задача.

Путем использование уникально конструкции, система достигает супер быстрых отображая скоростей без компрометировать спектрального и пространственного разрешения. Например, быструю проверку интегрированного сигнала PL на 2-дюймовой вафле на пространственном разрешении 1mm можно выполнить в только 19 секундах. То карта 2026 пунктов в меньш чем 20 секундах. Полное спектральное отображающ, на таком же пространственном разрешении, давая пиковое положение, пиковую интенсивность, FWHM и интегрированную интенсивность только приняло бы 25 секунд. В нижних 100 секундах, RPM2000 может произвести интегрированные карты 2-дюймовой вафли на пространственном разрешении 0.2mm, итоге над 50.000 пунктов, или спектральных картах на пространственном разрешении 0.5mm давая 8.000 пунктов.

RPM2000 может также обеспечить качество PL истинного изображения отображая на высоких пространственных и спектральных разрешениях, давая способность рассмотреть сотни тысяч пунктов на вафлях до диаметра 150mm: Возможно отобразить на пространственном разрешении 0.1mm на вафлях до диаметра 100mm и 0.2mm на вафлях до 150mm. Для вафель 150mm пространственное разрешение 1mm интегрированная карта приняло бы только 56 секунд и пространственное разрешение качества 0.2mm изображения интегрировало карту, соответствие к над 455.800 пунктам требовало бы только 8 минут.

Оборудование

RPM2000 использует R конструированный таможней, È, этап Z который держит вафли диаметра и толщин до 150mm до 1mm. Мониторы силы Температуры и лазера приспособлены стандарт. Держатель образца состоит из 2 частей: этап скеннирования и быстрая и легко изменить цыпленка вафли, выбранный для того чтобы соответствовать диаметру вафли. Вафля держится вакуумом позволяющ малым образцам скачками формы быть приспособленным. Карта PL произведена путем двигать вафлю пока луч возбуждения лазера остает неподвижным. Путем использование детекторов блока, все длины волны можно приобрести одновременно.

Системные Конфигурации

RPM2000 можно установить для того чтобы покрыть широкий спектральный ряд, определенный выбором решеток, лазеров возбуждения, детекторов и заказа сортируя фильтры. Наши научные работники могут советовать на изготовленных на заказ конфигурациях.

Возбуждение и Обнаружение

До 2 внутренне установленных лазера возбуждения и один внешним соединенного стекловолокном лазер возбуждения можно приспособить. Лазерные лучи Возбуждения ударили поверхность образца под углом для предусмотрения пространственный фильтровать лазерного луча. Луч нормально сфокусирован к диаметру пятна приблизительно 100µm и, типично, сдержана сила лазера низко достаточно исключить любое изменение спектров. PL произведенный образцом собран отражательной оптикой, соединенной до 0.3m монохроматор, давая превосходное объём через спектральный ряд. Компьютер До 3 - контролируемые решетки, 7 фильтров и 2 детектора блока могут быть установлены.

Третий детектор использован для измерять интегрированные сигналы PL. Лазеры, детекторы, фильтры и решетки все дискретные от ПО без потребности заново скомпоновать оборудование. Вариант отражательной способности также доступен для спектральных систем определить толщину фильма и для рефлектора Bragg и характеризации VCSEL.

ПО RPM

Применение RPM2000 было начато над много лет и робастно и разносторонне. Все необходимые функции управления и анализа сразу доступны как часть применения. Функции в логически и интуитивном образе. Применение приходит полно с Редактором Рецепта и всесторонним Руководством Интерактивной Справки.

Высок-Пространственный Отображать Разрешения

RPM2000 может собрать до 200 частных значений в секунду в польностью спектральном режиме с бортовой Обработкой Сигнала Цифров (DSP) или удивляя 2000 пунктах в секунду в спектральном интегрируя режиме. Это включает очень высокое пространственное разрешение «изображения вафли» быть собранным. Эти изображения могут часто показывать малые дефекты роста которые в противном случае пошли бы незамеченный. Высокое пространственное разрешение в развертке r-тэты приносит другое преимущество, Способность к изображению зона края вафли в большой детали.

RPM2000 может собрать до 2000 частных значений в секунду в non-спектральном режиме. Изображение показывает малые дефекты роста которые undetectable когда вафля просмотрена на низком пространственном разрешении.

Фурье Фильтруя для СИД GaN

Сырцовые данные по PL от СИД GaN MQW часто передернуты присутсвием интерференционных полос. Изощренный алгоритм ПО Фурье Фильтруя математически извлекает влияние краев - показывать истинный спектр PL.

Новое ПО Фурье Фильтруя извлекает окаймлять влияния в спектрах СИД GaN.

Источник: СЕРИЯ Oriel

Для больше информации на этом источнике пожалуйста посетите СЕРИЮ Oriel.


Около Серию-QuantumDesign Ltd

В быстром эволюционируя мире научного исследования настолько важно иметь доступ к самому последнему и самому предварительному измерительному оборудованию. По Мере Того Как исследователь вам отдавал себе отчет какие инструменты имел в распоряжении помочь в вашей работе. Вид продукции Серию-QuantumDesign Ltd обеспечивает некоторые из самых изощренных аппаратур доступных в рынке сегодня.

Серию-QuantumDesign Ltd представляет некоторые из изготовлений мира ведущих производящ измерительное оборудование которое превышает ожиданности и поставляет качество и рационализаторство.

Серию-QuantumDesign Ltd работает повсеместно в Европа и предназначала офисы в большинств странах.

Серию-QuantumDesign Ltd

Эта информация найденный, расмотрена и приспособлена от материалов обеспеченных СЕРИЕЙ Oriel.

Для больше информации на этом источнике, пожалуйста посетите Серию-QuantumDesign Ltd

Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:23

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit