RPM2000 迅速 Photoluminescence 制图员 - 从 Nanometrics 的室温 PL 制图系统

包括的事宜

背景
从 Nanometrics 的 RPM2000 迅速 Photoluminescence 制图员
硬件
系统构成
励磁和检测
RPM 软件
高空间解决方法映射
过滤为 GaN LED'S 的傅立叶

背景

Photoluminescence 是一个源远流长,没有接触,非破坏性的技术用于发展和程序控制半导体,当室温 PL 薄酥饼映射提供关于合金构成、物质质量和缺陷均一的重要消息在基体、外延层和设备结构。

从 Nanometrics 的 RPM2000 迅速 Photoluminescence 制图员

RPM2000 迅速 Photoluminescence 制图员是一个快速,室温 photoluminescence (PL) 制图系统适用于 R&D、生产和质量管理环境。

RPM2000 特别地被设计获得在时间的一个仅仅分数的全部的薄酥饼 PL 映射以前与此类评定相关,产生能力评定和估计在生产运行之间的薄酥饼。 主要福利是迅速反馈和矫正措施可以被实施如果薄酥饼参数是在说明外面,避免浪费的生产运行、因而节省额时间和费用。 另外,评定的速度做接踵而来的检验和鉴定被买下的薄酥饼一项快速和容易的任务。

通过使用一个唯一设计,这个系统达到超级快速映射的速度,无需减弱光谱和空间分辨率。 例如,集成 PL 信号一迅速检查在 2 英寸薄酥饼的在 1mm 空间分辨率只可以在 19 秒执行。 那是 2026 点映射在少于 20 秒。 充分光谱映射,在同一个空间分辨率,产生高峰位置,高峰强度、 FWHM 和集成强度只将需要 25 秒。 在以下 100 秒, RPM2000 可能生产 2 英寸薄酥饼的集成映射在 0.2mm 空间分辨率,总共 50,000 点或者光谱映射在产生 8,000 点的 0.5mm 空间分辨率。

RPM2000 可能也提供映射在高空间和光谱分辨率的直接象质量 PL,产生这个能力检查在薄酥饼的数十万点至 150mm 直径: 映射在对薄酥饼的 0.1mm 空间分辨率至 100mm 直径和 0.2mm 在薄酥饼至 150mm 是可能的。 对 150mm 薄酥饼 1mm 空间分辨率集成的映射只将需要 56 秒,并且图象质量空间分辨率集成映射的 0.2mm,与 455,800 点相应只将需要 8 分钟。

硬件

RPM2000 使用按客户要求设计的 R, È,拿着 150mm 直径和厚度薄酥饼至 1mm 的 Z 阶段。 温度和激光功率指示器适合作为标准。 范例持有人包括二部分: 扫描阶段和快速和容易更改薄酥饼牛颈肉,选择符合薄酥饼直径。 这个薄酥饼由真空暂挂允许不规则形状小的范例适应。 PL 映射是通过移动薄酥饼生成的,当激光励磁射线依然是固定式时。 通过使用列阵探测器,所有波长可以同时获取。

系统构成

可以配置 RPM2000 报道一个宽光谱范围,定义由排序补白的滤栅、励磁激光、探测器和秩序选择。 我们的科学家在自定义配置能建议。

励磁和检测

二在内部地被挂接的励磁激光和一外部光纤耦合的励磁激光可以适应。 励磁激光束击中范例表面有一个角度为了提供空间滤波激光。 这条射线通常集中对地点直径大约 100µm,并且,典型地,激光功率被保留足够低消灭光谱的所有更改。 这个范例生产的 PL 由反射性光学收集,被耦合到 0.3m 单色仪,产生在这个光谱范围间的非常好的处理量。 可能安装三计算机控制的滤栅、七补白和二台列阵探测器。

第三台探测器为评定集成 PL 信号使用。 激光、探测器、补白和滤栅从这个软件是全部可选的没有需要重新配置硬件。 反射性选项也是可用为了光谱系统能确定胶片厚度和为 Bragg 反射器和 VCSEL 描述特性。

RPM 软件

这种 RPM2000 应用在许多岁月期间被开发了并且是稳健和多才多艺的。 所有必需的控制和分析功能直接地是可用的作为这种应用一部分。 功能存在以一个逻辑和直观方式。 这种应用来完全与处方编辑和一个全面联机帮助指南。

高空间解决方法映射

RPM2000 在充分的光谱模式下可能收集 200 数据点每秒与在机上数字信号处理 (DSP)或令人惊异的 2000 点每秒在光谱集成的模式。 这启用非常高空间分辨率 “薄酥饼图象”收集。 这些图象可能经常显示将否则去未被发现的小的增长缺陷。 在 r 希腊字母的第八字扫描的高空间分辨率带来另一个好处,对图象的能力一个薄酥饼的边缘区域在了不起的详细资料的。

RPM2000 在非光谱模式下可能收集 2000 数据点每秒。 这个图象显示是探测不到的小的增长缺陷,当这个薄酥饼浏览在低空间分辨率时。

过滤为 GaN LED'S 的傅立叶

从 GaN MQW LED 的原始的 PL 数据由干扰带出现经常误解。 一个复杂的傅立叶过滤的软件算法数学上取消附加费用的作用 - 显示真的 PL 光谱。

新的傅立叶过滤的软件取消装饰在 GaN LED 光谱的作用。

来源: 批次突壁窗

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Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:46

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