RPM2000 迅速 Photoluminescence 製圖員 - 從 Nanometrics 的室溫 PL 製圖系統

包括的事宜

背景
從 Nanometrics 的 RPM2000 迅速 Photoluminescence 製圖員
硬件
系統構成
勵磁和檢測
RPM 軟件
高空間解決方法映射
過濾為 GaN LED'S 的傅立葉

背景

Photoluminescence 是一個源遠流長,沒有接觸,非破壞性的技術用於發展和程序控制半導體,当室溫 PL 薄酥餅映射提供關於合金構成、物質質量和缺陷均一的重要消息在基體、外延層和設備結構。

從 Nanometrics 的 RPM2000 迅速 Photoluminescence 製圖員

RPM2000 迅速 Photoluminescence 製圖員是一個快速,室溫 photoluminescence (PL) 製圖系統適用於 R&D、生產和質量管理環境。

RPM2000 特別地被設計獲得在時間的一個僅僅分數的全部的薄酥餅 PL 映射以前與此類評定相關,產生能力評定和估計在生產運行之間的薄酥餅。 主要福利是迅速反饋和矯正措施可以被實施如果薄酥餅參數是在說明外面,避免浪費的生產運行、因而節省額時間和費用。 另外,評定的速度做接踵而來的檢驗和鑒定被買下的薄酥餅一項快速和容易的任務。

通過使用一個唯一設計,這個系統達到超級快速映射的速度,无需減弱光譜和空間分辨率。 例如,集成 PL 信號一迅速檢查在 2 英寸薄酥餅的在 1mm 空間分辨率只可以在 19 秒執行。 那是 2026 點映射在少於 20 秒。 充分光譜映射,在同一個空間分辨率,產生高峰位置,高峰強度、 FWHM 和集成強度只將需要 25 秒。 在以下 100 秒, RPM2000 可能生產 2 英寸薄酥餅的集成映射在 0.2mm 空間分辨率,總共 50,000 點或者光譜映射在產生 8,000 點的 0.5mm 空間分辨率。

RPM2000 可能也提供映射在高空間和光譜分辨率的直接像質量 PL,產生這個能力檢查在薄酥餅的數十萬點至 150mm 直徑: 映射在對薄酥餅的 0.1mm 空間分辨率至 100mm 直徑和 0.2mm 在薄酥餅至 150mm 是可能的。 对 150mm 薄酥餅 1mm 空間分辨率集成的映射只將需要 56 秒,并且圖像質量空間分辨率集成映射的 0.2mm,與 455,800 點相應只將需要 8 分鐘。

硬件

RPM2000 使用按客戶要求設計的 R, È,拿著 150mm 直徑和厚度薄酥餅至 1mm 的 Z 階段。 溫度和激光功率指示器適合作為標準。 範例持有人包括二部分: 掃描階段和快速和容易更改薄酥餅牛頸肉,選擇符合薄酥餅直徑。 這個薄酥餅由真空暫掛允許不規則形狀小的範例適應。 PL 映射是通過移動薄酥餅生成的,當激光勵磁射線依然是固定式時。 通過使用列陣探測器,所有波長可以同時獲取。

系統構成

可以配置 RPM2000 報道一個寬光譜範圍,定義由排序補白的濾柵、勵磁激光、探測器和秩序選擇。 我們的科學家在自定義配置能建議。

勵磁和檢測

二在內部地被掛接的勵磁激光和一外部光纖耦合的勵磁激光可以適應。 勵磁激光束擊中範例表面有一個角度為了提供空間濾波激光。 這條射線通常集中對地點直徑大約 100µm,并且,典型地,激光功率被保留足够低消滅光譜的所有更改。 這個範例生產的 PL 由反射性光學收集,被耦合到 0.3m 單色儀,產生在這個光譜範圍間的非常好的處理量。 可能安裝三計算機控制的濾柵、七補白和二臺列陣探測器。

第三臺探測器為評定集成 PL 信號使用。 激光、探測器、補白和濾柵從這個軟件是全部可選的沒有需要重新配置硬件。 反射性選項也是可用為了光譜系統能確定膠片厚度和為 Bragg 反射器和 VCSEL 描述特性。

RPM 軟件

這種 RPM2000 應用在許多歲月期間被開發了并且是穩健和多才多藝的。 所有必需的控制和分析功能直接地是可用的作為這種應用一部分。 功能存在以一個邏輯和直觀方式。 這種應用來完全與處方編輯和一個全面聯機幫助指南。

高空間解決方法映射

RPM2000 在充分的光譜模式下可能收集 200 數據點每秒與在機上數字信號處理 (DSP)或令人驚異的 2000 點每秒在光譜集成的模式。 這啟用非常高空間分辨率 「薄酥餅圖像」收集。 這些圖像可能經常顯示將否則去未被發現的小的增長缺陷。 在 r 希臘字母的第八字掃描的高空間分辨率帶來另一個好處,對圖像的能力一個薄酥餅的邊緣區域在了不起的詳細資料的。

RPM2000 在非光譜模式下可能收集 2000 數據點每秒。 這個圖像顯示是探測不到的小的增長缺陷,當這個薄酥餅瀏覽在低空間分辨率時。

過濾為 GaN LED'S 的傅立葉

從 GaN MQW LED 的原始的 PL 數據由干擾帶出現經常誤解。 一個複雜的傅立葉過濾的軟件算法數學上取消附加費用的作用 - 顯示真的 PL 光譜。

新的傅立葉過濾的軟件取消裝飾在 GaN LED 光譜的作用。

來源: 批次突壁窗

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Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:49

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