Hochauflösende Topographie-Karten von Großen Flächen unter Verwendung des Automatisierten Nähenden Merkmals von Nanite FLUGHANDBUCH von Nanosurf

Themen Umfaßt

Hintergrund
Einleitung
Darstellung eines LCD-Panels „Pixel“

Hintergrund

Diese Anwendungsanmerkung beschreibt das automatisierte nähende Merkmal der Nanosurf Nanite Skiptschnittstelle FLUGHANDBUCHS im Verbindung mit der Sachverständigen Analysesoftware Nanosurf-Berichts. FLUGHANDBUCH-Maße auf einem LCD-Panel werden als Beispiel verwendet, um wie das Nähen zu zeigen, an folglich gewöhnt sein kann hochauflösende Topographiekarten von großen Flächen leicht und effizient zu erzeugen.

Einleitung

Abbildungstechniken der Hohen Auflösung wie FLUGHANDBUCH sind häufig in ihrem maximalen Arbeitsbereich begrenzt. Wenn die hohe seitliche Auflösung eines FLUGHANDBUCHS und ein großer Arbeitsbereich gefordert werden, könnte das Bildnähen eine Lösung sein. Das Bildnähen ist allgemein verwendet, wenn es eine einzelne panoramische Szene von den mehrfachen Abbildungen erstellt. In einer hochentwickelteren Implementierung kann diese Technik auch verwendet werden, um mehrfache FLUGHANDBUCH-Maße zu einem einzelnen großen Bild zu kombinieren. So kann FLUGHANDBUCH-Darstellung von großen Flächen, µm x 1 mm oder 100 x z.B. 1 mm 1 cm an Größe, leicht erzielt werden.

Die Nanosurf Nanite FLUGHANDBUCH-Anlage ist in der Lage, die erforderlichen Bilder völlig automatisch zu messen und zu nähen. Der Benutzer muss die einzelne FLUGHANDBUCH-Bildgröße und die Größe des gemessen zu werden Bereiches nur festlegen. Das FLUGHANDBUCH kümmert dann sich um dem Rest. Nach Maß werden die Bilder in die Sachverständige Nachbearbeitungssoftware Nanosurf-Berichts belastet und werden zusammen zu einem einzelnen Bild genäht. Dieses Bild noch enthält alle metrologischen Daten und kann wie jedes mögliches andere FLUGHANDBUCH-Bild mit allen erhältlichen Analysefunktionen, einschließlich Höhen- und Abstandsmaße, Rauheitsberechnung, Korn- und Partikelanalyse, Querschnittanalyse und selbstverständlich Sichtbarmachung 3D deshalb analysiert werden.

Darstellung eines LCD-Panels „Pixel“

Moderne FlachbildschirmProduktionstechniken (Plasma, TFT LCD, OLED) basieren auf mehrschichtigen Prozessen, die die kleinen und komplexen Zellen der Oberfläche 3D produzieren. Herkömmliche optische Mikroskopie schreitet im Allgemeinen unter, wenn es um das Überprüfen der Festigkeit und der Qualität solcher Oberflächenzellen in drei Abmessungen geht. Dies gilt für Fehleranalyse in der Untermikrometer Einfuhrüberwachung besonders. FLUGHANDBUCH ist andererseits die ideale Lösung, zum der Kontur 3D mit Untermikrometer Präzision zu messen von Daten. Mit der nähenden Technik kann dieses auf großen Flächen, wie LCD-Panels erreicht jetzt sogar sein.

Abbildung 1. Optisches Mikroskopiebild eines LCD-Panels. Das Bild (µm 660 µm x 660; hier dargestellt bei der Vergrößerung mit 120 Falten) wurde unter Verwendung eines Nanosurf-easyScope aufgezeichnet. Ein einzelner LCD „Pixel“ wird im Großen roten Kasten eingeschlossen. Der kleinere weiße Kasten entspricht dem Bereich, der durch den Arbeitsbereich eines FLUGHANDBUCHS gewöhnlich abgedeckt werden kann. Das Ergebnis solch eines Scans wird in Abbildung 2. gezeigt.

Abbildung 1 Shows ein optisches Mikroskopbild eines LCD-Panels bei der Vergrößerung mit 120 Falten. Ein Pixel des Panels entspricht dem Kapitel, das im roten Kasten eingeschlossen wird. Dieser Bereich, messendes µm 407 µm x 407, ist viel größer als der Bereich, der mit einem FLUGHANDBUCH normalerweise gemessen werden kann, das dem kleineren weißen Kasten in der Abbildung 1. Abbildung 2 Shows ein tatsächliches FLUGHANDBUCH-Maß im Bereich des weißen Kastens entsprechen würde. Die Vorteile von FLUGHANDBUCH über der optischen Mikroskopie - die viel höhere Auflösung, die erhalten wird und die Verfügbarkeit von den Daten 3D - offenbar offensichtlich geworden.

Abbildung 2. FLUGHANDBUCH-Scan eines typischen LCD-Panelbereiches. Hochauflösende topographische Daten sind für einen begrenzten Scan-Bereich erhältlich. Der Scan hier entspricht µm 74 µm x 74 und dem weißen Kasten, der in Abbildung 1. gezeigt wird.

Zum Bild würde ein gesamtes LCD-Pixel jedoch eine Scan-Größe benötigen, die viel größer als die ist, die von einem einzelnen FLUGHANDBUCH-Bild erreicht werden können. Eine Methode um dieses Hindernis, ist der Gebrauch von dem automatisierten Maß von mehrfachen Versuchsflächen, gefolgt vom Nähen der resultierenden FLUGHANDBUCH-Bilder. Die Möglichkeit dieses Prozesses wird im Folgenden Beispiel demonstriert, das darstellt, wie eine Grundmasse von Bildern FLUGHANDBUCH-5x5 auf einem LCD-Panel erworben wurde und zusammen zu einem größeren Bild genäht. Das Instrument, das für diesen Prozess verwendet wurde, war das Nanosurf Nanite B FLUGHANDBUCH mit einer Stufe der automatisierten Übersetzung ATS-A100.

Nachdem man die LCD-Probe an der Übersetzungsstufe montiert hatte, wurde die freitragende Spitze FLUGHANDBUCHS über die Region von Zinsen in Position gebracht, und das nähende Skript wurde begonnen (Abbildung 3). Wenn die gewünschten Parameter eingestellt sind, erwarb die FLUGHANDBUCH-Anlage autonom alle Bilder, sichert alle Maße zu den Feilen, und überträgt diesen auf die Sachverständige Software Nanosurf-Berichts, in der der Nähende Block dieses Programms alle Feilen zusammen nähte (siehe Abbildung 4). Eine Darstellung 3D des Ergebnisses wird in Abbildung 5 dargestellt, die zeigt, wie nahtlos die einzelnen Bilder in eins gemergt werden.

Abbildung 3. Nähendes Skript, das in die Nanosurf-Steuersoftware läuft. Der rote Kasten zeigt den Nähenden Dialog, der den Benutzer bittet, grundlegende Parameter für den nähenden Prozess zu liefern.

Abbildung 4. Die Nähende Blockschnittstelle in der Nanosurf-Berichts-Expertensoftware. Einfache dennoch starke Befehle lassen jedermann das Nähen durchführen und Berufsergebnisse erzeugen.

Abbildung 5. Darstellung 3D eines genähten FLUGHANDBUCH-Bildes. Das Bild (entsprechend dem nähenden Ergebnis in der Abbildung zeigt 4), hier gezeigt bei der Vergrößerung mit 200 Falten, wie leicht hochauflösende 3 Maßdaten unter Verwendung des Nanosurf Nanite B FLUGHANDBUCHS und einer Stufe der automatisierten Übersetzung erworben werden können. Sie zeigt auch, wie nahtlos das Ergebnis des nähenden Prozesses ist.

Unter Verwendung sogar einzelner FLUGHANDBUCH-Bilder (10x10) für den nähenden Prozess ergab eine hochauflösende topographische Karte (Abbildung 6) einer sogar größeren Fläche des LCD-Panels (µm 560 µm x 570, nachdem die rauen Ränder abgeschnitten worden sind), fast ähnlich an Größe dem optischen Bild gezeigt in Abbildung 1. Mehr als ein komplettes LCD-Pixel kann bemerkenswert offenbar sein.

Abbildung 6. nähendes Bild FLUGHANDBUCHS von einem LCD-Panel. Das Bild (µm 560 µm x 570; hier bei der Vergrößerung mit 160 Falten) gezeigt das Ergebnis der Bilder 10x10, die unter Verwendung des Nanosurf Nanite B und die nähenden Merkmale von der Steuer- und Berichtssoftware Nanosurf aufgezeichnet werden und genäht sind. Das Ergebnis ist an Größe mit der optischen Abbildung, die in Abbildung 1 vergleichbar gezeigt wird, aber bietet in diesem Fall viel weitere Einzelheiten und Daten 3D an.

Der Gebrauch von solchen großen Oberfläche FLUGHANDBUCH-Daten in der Qualitätskontrolle der LCD-Panelproduktion stellt ausführliche Information hinsichtlich der einzelnen Mikrofälschung Prozessschritte zur Verfügung und erlaubt schubweise Zustimmung oder Rückweisung von Produktionslots. Darüber hinaus die Informationen, die von FLUGHANDBUCH-Maßen bereitgestellt werden - insbesondere FLUGHANDBUCH-Maße, die große Flächen überspannen, wie das Argument für das Nähen - kann sogar verwendet werden, um Produktionsparameter auf zukünftige Lots einzustellen.

Dieses stellen das FLUGHANDBUCH nicht nur ein Qualitätskontrollinstrument, das die höchstmögliche Auflösung in den industrielle Qualitätskontrollprozessen liefert, aber auch ein wertvolles Optimierungsmittel während der Produktentwicklung und -produktion her. Die autonome Operation, die leichte Handhabung und das ausgezeichnete Verhältnis des Preises/Leistung des Nanosurf Nanite FLUGHANDBUCHS stellen es das ideale Hilfsmittel für die kleinen und großen Industrien her, die, um ihre Qualitätskontrolle in das 21. Jahrhundert zu verschieben gleich sind.

Quelle: Nanosurf

Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte Nanosurf

Date Added: Mar 25, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:59

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