Correspondencias De Alta Resolución de la Topografía de Superficies Grandes usando la Característica de Costura Automatizada de Nanite AFM de Nanosurf

Temas Revestidos

Antecedentes
Introducción
Proyección De Imagen de un Panel LCD “Pixel”

Antecedentes

Esta nota de aplicación describe la característica de costura automatizada del interfaz scripting de Nanosurf Nanite AFM conjuntamente con el software de análisis Experto del Parte de Nanosurf. Las mediciones del AFM en un Panel LCD se utilizan como un ejemplo para demostrar cómo la costura se puede utilizar así generar a fácilmente y eficientemente las correspondencias de alta resolución de la topografía de superficies grandes.

Introducción

Las técnicas de proyección de imagen De alta resolución como el AFM se limitan a menudo en su rango máximo de la exploración. Cuando la alta resolución lateral de un AFM y un rango grande de la exploración se requieren, la costura de la imagen podría ser una solución. La costura de la Imagen es de uso general al crear una única escena panorámica de retratos múltiples. En una puesta en vigor más avanzada, esta técnica se puede también utilizar para combinar mediciones múltiples del AFM a una única imagen grande. Así, la proyección de imagen de superficies grandes, µm x del AFM 1 milímetro o 100 x e.g. 1 del milímetro 1 cm de tamaño, puede ser lograda fácilmente.

El sistema de Nanosurf Nanite AFM puede medir y coser las imágenes requeridas completo automáticamente. El utilizador tiene que especificar solamente la única talla de la imagen del AFM y la talla del área que se medirá. El AFM entonces toma el cuidado del descanso. Después de la medición, las imágenes se cargan en el software Experto del post-processing del Parte de Nanosurf, y se cosen juntas a una única imagen. Esta imagen todavía contiene todos los datos metrológicos y se puede por lo tanto analizar como cualquier otra imagen del AFM con todas las funciones disponibles del análisis, incluyendo mediciones de la altura y de la distancia, el cálculo de la tosquedad, el análisis del grano y de la partícula, el análisis seccionado transversalmente, y por supuesto la visualización 3D.

Proyección De Imagen de un Panel LCD “Pixel”

Las técnicas de fabricación Modernas de las pantallas plana (plasma, TFT LCD, OLED) se basan en los procesos de múltiples capas que producen las estructuras pequeñas y complejas de la superficie 3D. La microscopia óptica Convencional falta generalmente cuando se trata de verificar la integridad y la calidad de tales estructuras de la superficie en tres dimensiones. Esto es determinado verdad para el análisis del incidente en el régimen del sub-micrómetro. El AFM, por otra parte, es la solución ideal para medir datos del contorno 3D con la precisión del sub-micrómetro. Con la técnica de costura, esto puede ahora incluso ser realizado en superficies grandes, tales como Paneles LCD.

Cuadro 1. imagen Óptica de la microscopia de un Panel LCD. La imagen (660 µm del µm x 660; mostrado aquí en la magnificación de 120 dobleces) fue registrado usando un easyScope de Nanosurf. Un único LCD “pixel” se incluye en el rectángulo rojo grande. El rectángulo blanco más pequeño corresponde al área que se puede revestir típicamente por el rango de la exploración de un AFM. El resultado de tal exploración se muestra en el Cuadro 2.

Cuadro 1 demostraciones una imagen óptica del microscopio de un Panel LCD en la magnificación de 120 dobleces. Un pixel del panel corresponde a la sección incluida en el rectángulo rojo. Esta área, 407 µm de medición del µm x 407, es mucho más grande que el área que se puede medir normalmente con un AFM, que correspondería al rectángulo blanco más pequeño en el Cuadro 1. Cuadro 2 demostraciones una medición real del AFM en el área del rectángulo blanco. Las ventajas del AFM sobre la microscopia óptica - el mucho más de alta resolución se obtiene que, y la disponibilidad de los datos 3D - llegada a ser sin obstrucción evidente.

Cuadro 2. exploración del AFM de un área típica del Panel LCD. Los datos topográficos De Alta Resolución están disponibles para un área limitada de la exploración. La exploración aquí corresponde 74 al µm del µm x 74, y al rectángulo blanco mostrado en el Cuadro 1.

A la imagen un pixel entero del LCD, sin embargo, requeriría una talla de la exploración que es mucho más grande que las que se puedan obtener de una única imagen del AFM. Una manera alrededor de este obstáculo, es el uso de la medición automatizada de las áreas múltiples de la muestra, seguida cosiendo de las imágenes resultantes del AFM. La viabilidad de este proceso se demuestra en el ejemplo siguiente, que ilustra cómo una matriz de las imágenes de 5x5 AFM fue detectada en un Panel LCD y cosida junta a una imagen más grande. El instrumento usado para este proceso era el Nanosurf Nanite B AFM con un escenario de la traslación automatizada ATS-A100.

Después de montar la muestra del LCD en el escenario de la traslación, la punta voladiza del AFM fue colocada sobre la región de interés, y el script de costura fue comenzado (el Cuadro 3). Con los parámetros deseados fijados, el sistema del AFM autónomo detectó todas las imágenes, salvado todas las mediciones a los ficheros, y transferido éstos al software Experto del Parte de Nanosurf, donde el Módulo de Costura de este programa cosió todos los ficheros juntos (véase el Cuadro 4). Una representación 3D del resultado se presenta en el Cuadro 5, que muestra cómo inconsútil las imágenes individuales se combinan en una.

Cuadro 3. script de Costura que se ejecuta en el software de mando de Nanosurf. El rectángulo rojo muestra el diálogo de Costura que pide que el utilizador suministre los parámetros básicos para el proceso de costura.

Cuadro 4. El interfaz de Costura del Módulo en el software del Experto del Parte de Nanosurf. Los mandos Simples con todo potentes permiten que cualquier persona realice la costura y que genere resultados profesionales.

Cuadro 5. representación 3D de una imagen cosida del AFM. La imagen (correspondiente al resultado de costura en el Cuadro 4), mostrado aquí en la magnificación de 200 dobleces, demuestra cómo los datos de 3 dimensiones de alta resolución se pueden detectar fácilmente usando el Nanosurf Nanite B AFM y un escenario de la traslación automatizada. También demuestra cómo es inconsútil es el resultado del proceso de costura.

Usando las imágenes aún más individuales del AFM (10x10) para el proceso de costura dio lugar a una correspondencia topográfica de alta resolución (Cuadro 6) de una superficie incluso más grande del Panel LCD (560 µm del µm x 570, después de cortar los bordes ásperos), casi similar de tamaño a la imagen óptica mostrada en el Cuadro 1. Más de un pixel completo del LCD puede sin obstrucción ser distinguido.

Cuadro 6. imagen de costura del AFM de un Panel LCD. La imagen (560 µm del µm x 570; se muestra aquí en la magnificación de 160 dobleces) el resultado de las imágenes 10x10 registradas y cosidas usando el Nanosurf Nanite B y las características de costura del software del Mando y del Parte de Nanosurf. El resultado es comparable de tamaño al retrato óptico mostrado en el Cuadro 1, pero en este caso ofrece mucho más detalle y datos 3D.

El uso de tales datos grandes del AFM de la superficie en el control de calidad de la producción del Panel LCD proporciona a la información detallada con respecto a los pasos de progresión individuales del proceso de la micro-fabricación, y permite la aprobación o el rechazo por lotes de los lotes de la producción. Además, la información proporcionada por las mediciones del AFM - particularmente mediciones del AFM que atraviesan superficies grandes, al igual que el caso para coser - puede incluso ser utilizado para ajustar los parámetros de la producción para que haya lotes futuros.

Esto hace el AFM no sólo un instrumento del control de calidad que proporcione a la resolución más alta posible en procesos del control de calidad industrial, pero también una herramienta de optimización valiosa durante el desarrollo de productos y la producción. La operación autónoma, la manipulación fácil, y la relación de transformación excelente del precio/funcionamiento del Nanosurf Nanite AFM le hacen la herramienta ideal para las industrias pequeñas y grandes semejantes para trasladarse su control de calidad al siglo XXI.

Fuente: Nanosurf

Para más información sobre esta fuente visite por favor Nanosurf

Date Added: Mar 25, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:26

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