Plans À haute résolution de Topographie de Grandes Surfaces utilisant la Caractéristique technique Piquante Robotisée de Nanite AFM de Nanosurf

Sujets Couverts

Mouvement Propre
Introduction
Représentation d'un Panneau lcd « Pixel »

Mouvement Propre

Cette note d'application décrit la caractéristique technique piquante robotisée de la surface adjacente de script de Nanosurf Nanite AFM en combination avec le logiciel d'analyse Expert d'État de Nanosurf. Des mesures d'AFM sur un Panneau lcd sont employées comme exemple pour expliquer comment piquer peut être utilisé ainsi produire à facilement et efficacement des plans à haute résolution de topographie de grandes surfaces.

Introduction

Des techniques d'imagerie De haute résolution comme l'AFM sont souvent limitées dans leur domaine maximum d'échographie. Quand la définition transversale élevée d'un AFM et un domaine étendu d'échographie sont exigés, piquer d'image pourrait être une solution. Piquer d'Image est utilisé généralement en produisant une scène panoramique unique des illustrations multiples. Dans une mise en place plus avancée, cette technique peut également être employée pour combiner des mesures multiples d'AFM à une grande image unique. Ainsi, la représentation d'AFM de grandes surfaces, µm X 1 millimètre ou 100 X par exemple 1 de millimètre 1 cm dans la taille, peut facilement être réalisée.

Le système de Nanosurf Nanite AFM peut mesurer et piquer les images exigées entièrement automatiquement. L'utilisateur seulement doit spécifier la taille de l'image unique d'AFM et la taille de la zone à mesurer. L'AFM prend alors soin du reste. Après mesure, les images sont chargées dans le logiciel Expert de post traitement d'État de Nanosurf, et sont piquées ensemble à une image unique. Cette image contient toutes les données métrologiques et peut toujours pour cette raison s'analyser comme n'importe quelle autre image d'AFM avec tous les fonctionnements disponibles d'analyse, y compris des mesures de hauteur et de distance, le calcul de rugosité, l'analyse de texture et de particules, l'analyse en coupe, et naturellement la visualisation 3D.

Représentation d'un Panneau lcd « Pixel »

Les techniques de fabrication Modernes d'écrans plats (plasma, TFT LCD, OLED) sont basées sur les procédés multicouche qui produisent de petites et complexes structures de la surface 3D. La microscopie optique Conventionnelle fait défaut généralement quand il s'agit de vérifier l'intégrité et la qualité de telles structures de surface dans trois cotes. Cela vaut particulièrement pour l'analyse de défaillance dans le régime de sous-micromètre. L'AFM, d'autre part, est la solution idéale pour mesurer des données de la forme 3D avec la précision de sous-micromètre. Avec la technique piquante, ceci peut maintenant même faire sur de grandes surfaces, telles que des Panneaux lcd.

Le Schéma 1. image Optique de microscopie d'un Panneau lcd. L'image (660 µm de µm X 660 ; affiché ici à l'agrandissement de 120 fois) a été enregistré utilisant un easyScope de Nanosurf. Un AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES « pixel » unique est entouré dans le grand cadre rouge. Le boîtier blanc plus petit correspond au domaine qui peut être type couvert par le domaine d'échographie d'un AFM. Le résultat d'une telle échographie est affiché sur le Schéma 2.

Le Schéma 1 expositions une image optique de microscope d'un Panneau lcd à l'agrandissement de 120 fois. Un pixel de la Commission correspond à la partie jointe dans le cadre rouge. Cette zone, 407 le µm de mesure du µm X 407, est beaucoup plus grande que la zone qui peut normalement être mesurée avec un AFM, qui correspondrait dans le boîtier blanc plus petit sur le Schéma 1. Figure 2 expositions une mesure réelle d'AFM dans la zone du boîtier blanc. Les avantages de l'AFM au-dessus de la microscopie optique - beaucoup le plus de haute résolution qui est obtenu, et la disponibilité des données 3D - devenue de manière dégagée apparente.

Le Schéma 2. échographie d'AFM d'une région typique de Panneau lcd. Les données topographiques À Haute Résolution sont disponibles pour une zone limitée d'échographie. L'échographie ici correspond 74 au µm du µm X 74, et dans le boîtier blanc représenté sur le Schéma 1.

À l'image un pixel entier d'AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES, cependant, exigerait une taille d'échographie qui est beaucoup plus grande que ceux qui peut être obtenue à partir d'une image unique d'AFM. Une voie autour de cet obstacle, est l'utilisation de la mesure robotisée des zones multiples d'échantillon, suivie de piquer des images donnantes droit d'AFM. La faisabilité de ce procédé est expliquée dans l'exemple suivant, qui illustre comment une modification des images de 5x5 AFM a été saisie sur un Panneau lcd et ensemble piquée à une plus grande image. L'instrument utilisé pour ce procédé était le Nanosurf Nanite B AFM avec un stade de traduction automatisé par ATS-A100.

Après Que montant l'échantillon d'AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES sur le stade de traduction, l'extrémité en porte-à-faux d'AFM ait été positionnée au-dessus de la région d'intérêt, et le script piquant a été commencé (le Schéma 3). Les paramètres désirés étant réglé, le système d'AFM a autonome saisi toutes les images, enrégistre toutes les mesures aux fichiers, et transféré ceux-ci au logiciel Expert d'État de Nanosurf, où le Module Piquant de ce programme a piqué tous les fichiers ensemble (voir le Schéma 4). Une représentation 3D du résultat est présentée sur le Schéma 5, qui affiche comment sans faille les différentes images sont fusionnées dans une.

Le Schéma 3. script Piquant fonctionnant en logiciel de gestion de Nanosurf. Le cadre rouge affiche le dialogue Piquant demandant à l'utilisateur de fournir des paramètres de base pour le procédé piquant.

Le Schéma 4. La surface adjacente Piquante de Module en logiciel d'Expert En Matière d'État de Nanosurf. Les commandes Simples pourtant puissantes permettent à n'importe qui d'exécuter piquer et de produire des résultats professionnels.

Le Schéma 5. représentation 3D d'une image piquée d'AFM. L'image (correspondant au résultat piquant sur le Schéma 4), affiché ici à l'agrandissement de 200 fois, explique comment facilement des données à trois dimensions à haute résolution peuvent être saisies utilisant le Nanosurf Nanite B AFM et un stade robotisé de traduction. Elle explique également combien sans joint le résultat du procédé piquant est.

Utilisant les images bien plus différentes d'AFM (10x10) pour le procédé piquant a eu comme conséquence un plan topographique à haute résolution (le Schéma 6) d'une surface encore plus grande du Panneau lcd (560 µm de µm X 570, après avoir découpé les arêtes approximatives), presque assimilée dans la taille à l'image optique représentée sur le Schéma 1. Plus d'un pixel complet d'AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES peut de manière dégagée être distingué.

Le Schéma 6. image piquante d'AFM d'un Panneau lcd. L'image (560 µm de µm X 570 ; affiché ici à l'agrandissement de 160 fois) est le résultat des images 10x10 enregistrées et piquées utilisant le Nanosurf Nanite B et les caractéristiques techniques piquantes du logiciel de Contrôle et d'État de Nanosurf. Le résultat est comparable dans la taille à l'illustration optique représentée sur le Schéma 1, mais offre dans ce cas beaucoup plus de petit groupe et de données 3D.

L'utilisation de telles grandes données d'AFM de surface dans le contrôle qualité de la production de Panneau lcd fournit les informations détaillées en ce qui concerne les différentes phases de procédé de micro-fabrication, et permet l'approbation ou le refus en lots des sorts de production. De plus, l'information fournie par des mesures d'AFM - en particulier mesures d'AFM enjambant de grandes surfaces, de même que le point de droit pour piquer - peut même être utilisé pour régler des paramètres de production à de futurs sorts.

Ceci effectuent à l'AFM non seulement un instrument de contrôle qualité qui fournit la définition plus élevée possible dans des procédés de contrôle qualité industriel, mais également un outil d'optimisation précieux pendant le développement de produits et la production. Le fonctionnement autonome, traiter facile, et l'excellent taux de prix/performance du Nanosurf Nanite AFM lui effectuent l'outil idéal pour de petites et grandes industries semblables pour entrer leur contrôle qualité dans le 21ème siècle.

Source : Nanosurf

Pour plus d'informations sur cette source visitez s'il vous plaît Nanosurf

Date Added: Mar 25, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit