High-Resolution Kaarten van de Topografie van Grote Oppervlakten die Geautomatiseerde Stikkende Eigenschap van Nanite AFM van Nanosurf gebruiken

Besproken Onderwerpen

Achtergrond
Inleiding
Weergave van een LCD Comité „Pixel“

Achtergrond

Deze toepassingsnota beschrijft de geautomatiseerde stikkende eigenschap van de scripting interface van Nanosurf Nanite AFM in combinatie met de Deskundige de analysesoftware van het Rapport Nanosurf. De metingen AFM op een LCD paneel worden gebruikt als voorbeeld om aan te tonen hoe het stikken zo kan worden gebruikt aan high-resolution topografiekaarten van grote oppervlakten gemakkelijk en efficiënt produceren.

Inleiding

De technieken van de Hoge resolutieweergave zoals AFM zijn vaak beperkt in hun maximumaftastengamma. Wanneer zowel de hoge zijresolutie van een AFM als een grote aftastenwaaier worden vereist, beeld zou het stikken een oplossing kunnen zijn. Het stikken van het Beeld wordt algemeen gebruikt wanneer het leiden van tot één enkele panoramische scène van veelvoudige beelden. In een geavanceerdere implementatie, kan deze techniek ook worden gebruikt om veelvoudige metingen AFM aan één enkel groot beeld te combineren. Aldus, kan de weergave AFM van grote oppervlakten, b.v. 1 mm x 1 mm of 100 µm x 1 cm in grootte, gemakkelijk worden bereikt.

Het systeem van Nanosurf Nanite AFM kan de vereiste beelden volledig automatisch meten en stikken. De gebruiker moet slechts de enige AFM beeldgrootte en de grootte van het te meten gebied specificeren. AFM behandelt dan de rest. Na meting, worden de beelden geladen in de Deskundige post-verwerkt software van het Rapport Nanosurf, en zijn samen gestikt aan één enkel beeld. Dit beeld bevat nog alle metrologische gegevens en kan daarom als een ander beeld AFM met alle beschikbare analysefuncties, met inbegrip van hoogte en afstandsmetingen, ruwheidsberekening, korrel en deeltjesanalyse, dwarsdoorsnedeanalyse, en natuurlijk 3D visualisatie worden geanalyseerd.

Weergave van een LCD Comité „Pixel“

De Moderne vlakke de schermen productietechnieken (plasma, TFT LCD, OLED) zijn gebaseerd op multi-layer processen die kleine en complexe 3D oppervlaktestructuren veroorzaken. De Conventionele optische microscopie schiet over het algemeen te kort wanneer het over het verifiëren van de integriteit en de kwaliteit van dergelijke oppervlaktestructuren in drie afmetingen komt. Dit is bijzonder waar voor mislukkingsanalyse in het sub-micrometerregime. AFM, anderzijds, is de ideale oplossing om 3D contourgegevens met sub-micrometerprecisie te meten. Met de het stikken techniek, kan dit nu zelfs op grote oppervlakten, zoals LCD panelen worden verwezenlijkt.

Figuur 1. Optisch de microscopiebeeld van een LCD paneel. Het beeld (660 µm x 660 µm; hier getoond bij 120 vouwen werd de vergroting) geregistreerd gebruikend een Nanosurf easyScope. Één enkele LCD „pixel“ is ingesloten in de grote rode doos. De kleinere witte doos beantwoordt aan het gebied dat typisch door de aftastenwaaier van een AFM kan worden behandeld. Het resultaat van zulk een aftasten wordt getoond in Figuur 2.

Figuur 1 toont een optisch microscoopbeeld van een LCD paneel bij 120 vouwen vergrotings. Één die pixel van het paneel beantwoordt aan de sectie in het rode vakje wordt ingesloten. Dit gebied, dat 407 µm x 407 µm meet, is veel groter dan het gebied dat normaal met een AFM kan worden gemeten, die aan de kleinere witte doos in Figuur 1 zou beantwoorden. Figuur 2 toont een daadwerkelijke meting AFM op het gebied van de witte doos. De voordelen van AFM over de optische microscopie - de veel hogere resolutie die worden verkregen, en de beschikbaarheid van 3D gegevens - worden duidelijk duidelijk.

Figuur 2. Aftasten AFM van een typisch LCD paneelgebied. High-resolution topografische gegevens zijn beschikbaar voor een beperkt aftastengebied. Het aftasten beantwoordt hier aan 74 µm x 74 µm, en aan de witte die doos in Figuur 1 wordt getoond.

Aan beeld zou een volledig LCD pixel, echter, een aftastengrootte vereisen die veel groter is dan die die uit één enkel beeld kunnen worden verkregen AFM. Een manier rond deze hindernis, is het gebruik van geautomatiseerde meting van veelvoudige die steekproefgebieden, door van de resulterende beelden te stikken AFM wordt gevolgd. De haalbaarheid van dit proces wordt aangetoond in het volgende voorbeeld, dat illustreert hoe een matrijs van 5x5 de beelden van AFM op een LCD paneel werd verworven en samen aan een groter beeld werd gestikt. Het instrument voor dit proces wordt gebruikt was Nanosurf Nanite B AFM met een ATS-A100 geautomatiseerd vertaalstadium dat.

Na het opzetten van de LCD steekproef op het vertaalstadium, werd het AFM cantileveruiteinde geplaatst over het gebied van belang, en het stikkende manuscript was begonnen (Figuur 3). Met de gewenste geplaatste parameters, verwierf het systeem AFM alle beelden, bewaarde autonoom alle metingen aan dossiers, en bracht deze naar de Deskundige software van het Rapport over Nanosurf, waar de het Stikken Module van dit programma alle dossiers (zie Figuur 4) samen stikte. Een 3D vertegenwoordiging van het resultaat wordt voorgesteld in Figuur 5, die toont hoe foutloos de individuele beelden in worden samengevoegd.

Figuur 3. Stikkend manuscript dat in de Nanosurf controlesoftware loopt. De rode doos toont de het Stikken dialoog vragend de gebruiker om basisparameters voor het het stikken proces te leveren.

Figuur 4. De Stikkende interface van de Module in de Deskundige software van het Rapport Nanosurf. De Eenvoudige maar toch krachtige bevelen staan iedereen toe om het stikken uit te voeren en professionele resultaten te produceren.

Figuur 5. 3D vertegenwoordiging van een gestikt beeld AFM. Het beeld dat (die aan het het stikken resultaat in Figuur 4 beantwoordt), hier bij 200 vouwen vergrotings wordt getoond, toont aan hoe de gemakkelijk high-resolution 3 dimensionale gegevens kunnen worden verworven gebruikend Nanosurf Nanite B AFM en een geautomatiseerd vertaalstadium. Het toont ook aan hoe naadloos het resultaat van het het stikken proces is.

Het Gebruiken van meer individuele beelden AFM (10x10) voor het het stikken proces resulteerde in een high-resolution topografische kaart (Figuur 6) van een nog grotere oppervlakte van het LCD paneel (560 µm x 570 µm, na het afsnijden van de ruwe randen), bijna gelijkend in grootte op het optische die beeld in Figuur 1 wordt getoond. Meer dan één volledig LCD pixel kan duidelijk worden onderscheiden.

Figuur 6. Het stikken AFM beeld van een LCD paneel. Het beeld (560 µm x 570 µm; hier getoond bij 160 vouwen is de vergroting) het resultaat van geregistreerd en gestikte beelden 10x10 gebruikend Nanosurf Nanite B en de stikkende eigenschappen van de software van de Controle Nanosurf en van het Rapport. Het resultaat is vergelijkbaar in grootte met het optische die beeld in Figuur 1 wordt getoond, maar in dit geval biedt veel meer detail en 3D gegevens aan.

Het gebruik van dergelijke grote oppervlakteAfm- gegevens in kwaliteitsbeheersing van LCD paneelproductie verstrekt gedetailleerde informatie met betrekking tot de individuele micro-vervaardiging processtappen, en staat goedkeuring of verwerping per partij van productiepartijen toe. Bovendien kan de informatie door AFM metingen wordt verstrekt - in het bijzonder metingen AFM die grote oppervlakten overspannen, zoals het geval om te stikken is - zelfs worden gebruikt om productieparameters toekomstige partijen aan te passen die.

Dit maakt tot AFM niet alleen een kwaliteitsbeheersing instrument dat de hoogste mogelijke resolutie in industriële kwaliteitsbeheersing processen, maar ook een waardevol optimaliseringshulpmiddel tijdens productontwikkeling en productie verstrekt. De autonome verrichting, de eenvoudige behandeling, en de uitstekende prijs/prestaties verhouding van Nanosurf Nanite AFM maken tot het het ideale hulpmiddel voor de kleine en grote gelijke industrieën om hun kwaliteitsbeheersing in de 21ste eeuw te bewegen.

Bron: Nanosurf

Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve Nanosurf

Date Added: Mar 25, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:52

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit