Карты Топографии Высок-Разрешения Больших Поверхностных Зон используя Автоматизированную Характеристику Nanite AFM от Nanosurf

Покрытые Темы

Предпосылка
Введение
Воображение Панели «Пиксел» LCD

Предпосылка

Это примечание по применению описывает автоматизированную характеристику интерфейса Nanosurf Nanite AFM scripting в комбинации с ПО Квалифицированного анализа Отчете О Nanosurf. Измерения AFM на панели LCD использованы как пример для того чтобы продемонстрировать как шить можно таким образом использовать к легко и эффективно произвести карты топографии высок-разрешения больших поверхностных областей.

Введение

Высокие методы воображения разрешения как AFM часто ограничены в их максимальном ряде развертки. Когда и необходимы высокое боковое разрешение AFM и большой ряд развертки, шить изображения смогл быть разрешением. Шить Изображения обыкновенно использован создавая одиночное панорамное место от множественных изображений. В более предварительной вставке, этот метод можно также использовать для того чтобы совместить множественные измерения AFM к одиночному большому изображению. Таким Образом, воображения больших поверхностных областей, 1 mm или 100 µm x AFM x например 1 mm 1 см в размере, можно легко достигнуть.

Система Nanosurf Nanite AFM могл измерить и сшить необходимые изображения полно автоматически. Пользователь только должен определить одиночный размер изображения AFM и размер области, котор нужно измерить. AFM после этого позаботится о остальные. После измерения, изображения нагружены в ПО постпроцессирования Отчете О Nanosurf Экспертное, и сшиты совместно к одиночному изображению. Это изображение все еще содержит все метрологические данные и может поэтому быть проанализировано как любое другое изображение AFM с всеми доступными функциями анализа, включая измерения высоты и расстояния, вычисление шершавости, анализ зерна и частицы, анализ поперечного сечения, и конечно визуализирование 3D.

Воображение Панели «Пиксел» LCD

Самомоднейшие технологии производства плоское экранов (плазма, TFT-LCD, OLED) основаны на разнослоистых процессах которые производят малые и сложные структуры поверхности 3D. Обычная оптически микроскопия вообще понижается не доходя когда это прибывает в проверкой герметичности и качества таких структур поверхности в 3 размерах. Это в частности истинно для анализа отказа в режиме sub-микрометра. AFM, с другой стороны, идеально разрешение для того чтобы измерить данные по контура 3D с точностью sub-микрометра. С методом, это может теперь даже быть совершено на больших поверхностных зонах, как панели LCD.

Диаграмма 1. Оптически изображение микроскопии панели LCD. Изображение (660 µm µm x 660; показано здесь на увеличении 120 створок) записал используя easyScope Nanosurf. Одиночный LCD «пиксел» заключил в большую красную коробку. Более малая белая коробка соответствует к области которая может типично быть предусматривана рядом развертки AFM. Результат такой развертки показан в Диаграмме 2.

Диаграмма 1 выставки оптически изображение микроскопа панели LCD на увеличении 120 створок. Один пиксел панели соответствует к разделу заключенному в красную коробку. Эта область, измеряя 407 µm µm x 407, гораздо большле чем область которую можно нормально измерять с AFM, который соответствовал бы к более малой белой коробке в Диаграмме 1. Диаграмме 2 выставках фактическое измерение AFM в зоне белой коробки. Преимущества AFM над оптически ой микроскопией - гораздо высокее разрешением которое получено, и наличием данных 3D - ясно ясна.

Диаграмма 2. развертка AFM типичной зоны панели LCD. данные по Высок-Разрешения топографические доступны для лимитированной зоны развертки. Развертка здесь соответствует к 74 µm µm x 74, и к белой коробке показанной в Диаграмме 1.

К изображению весь пиксел LCD, однако, требовал бы размера развертки который гораздо большле чем котороекоторое можно получить от одиночного изображения AFM. Путь вокруг этой препоны, польза автоматизированного измерения множественных зон образца, следовать путем шить приводя к изображений AFM. Осуществимость этого процесса продемонстрирована в следующем примере, который иллюстрирует как матрица изображений 5x5 AFM была приобретена на панели LCD и была сшита совместно к более большому изображению. Аппаратура используемая для этого процесса была Nanosurf Nanite B AFM с этапом автоматизированного перевода ATS-A100.

После устанавливать образец LCD на этапе перевода, подсказка AFM консольная была расположена над зоной интереса, и сценарий был начат (Диаграмма 3). При пожеланные установленные параметры, система AFM автономно приобрела все изображения, сохраненная все измерения к архивам, и перенесенная этим к ПО Отчете О Nanosurf Экспертному, где Модуль этой программы сшил все архивы совместно (см. Диаграмму 4). Представление 3D результата в Диаграмме 5, на которую показано как плавно индивидуальные изображения слиты в одно.

Диаграмма 3. Сценарий работая в контрольной программе Nanosurf. Красная коробка показывает Диалог спрашивая, что пользователь поставил основные характеристики для процесса.

Диаграмма 4. Интерфейс Модуля в ПО Специалиста Отчете О Nanosurf. Простые но мощные команды позволяют любому выполнить шить и произвести профессиональные результаты.

Диаграмма 5. представление 3D сшитого изображения AFM. Изображение (соответствие к результату в Диаграмме 4), показанной здесь на увеличении 200 створок, демонстрирует как легко данные по высок-разрешения 3 габаритные можно приобрести используя Nanosurf Nanite B AFM и этап автоматизированного перевода. Он также демонстрирует как безшовно результат процесса.

Используя даже более индивидуальные изображения AFM (10x10) для процесса привел к в карте высок-разрешения топографической (Диаграмме 6) даже более большой поверхностной зоны панели LCD (560 µm µm x 570, после резать грубые края), почти подобной в размере к оптически изображению показанному в Диаграмме 1. Больше чем один полный пиксел LCD может ясно быть выдающийся.

Диаграмма 6. изображение AFM панели LCD. Изображение (560 µm µm x 570; показан здесь на увеличении 160 створок) результат изображений 10x10 записанных и сшитых используя Nanosurf Nanite B и характеристики ПО Управлением и Отчетом О Nanosurf. Результат соответствовал в размере к оптически изображению показанному в Диаграмме 1, но в предложения этого случая очень больше деталь и данных 3D.

Польза таких больших данных по AFM поверхности в проверке качества продукции панели LCD обеспечивает детальную информацию относительно индивидуальных шагов процесса микро--изготовления, и позволяет сери-велемудрым утверждению или сбросу серий продукции. В добавлении, информация обеспеченная измерениями AFM - в частности измерениями AFM spanning большие поверхностные области, как аргументы за - смогите даже быть использовано для того чтобы отрегулировать параметры продукции для будущих серий.

Это делает AFM не только аппаратуру проверки качества которая обеспечивает самое высокое возможное разрешение в процессах промышленной проверки качества, но также ценный инструмент оптимизирования во время совершенствованих продукций и продукции. Автономная деятельность, легкий регулировать, и превосходный коэффициент цены/представления Nanosurf Nanite AFM делают им идеально инструмент для малых и больших индустрий похожих для того чтобы двинуть их проверку качества в двадцать первый век.

Источник: Nanosurf

Для больше информации на этом источнике пожалуйста посетите Nanosurf

Date Added: Mar 25, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:23

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit