大表面高分辨率地势映射使用 Nanite AFM 自动化的缝的功能的从 Nanosurf 的

包括的事宜

背景
简介
LCD 面板 “象素”的想象

背景

此应用注解描述 Nanosurf Nanite AFM 写电影脚本的界面的自动化的缝的功能与 Nanosurf 报表专家级的分析软件的组合。 在 LCD 面板的 AFM 评定用于得为例展示缝如何可能因而用于容易地和高效地生成大表面高分辨率地势映射。

简介

象 AFM 的高分辨率成象技术在他们的最大扫描范围经常被限制。 当和一个大扫描范围需要时 AFM 的高侧向解决方法,图象缝可能是解决方法。 当创建从多个照片时的一个唯一全景场面图象缝是常用的。 在一次更加先进的实施,此技术可能也用于结合多个 AFM 评定到一个唯一大图象。 因此,大表面 AFM 想象,即 1 mm x 1 mm 或 100 µm x 在大小上 1 cm,可能容易地达到。

Nanosurf Nanite AFM 系统能充分地自动地评定和缝必需的图象。 这个用户必须只指定唯一 AFM 图象范围和将被评定的区的范围。 AFM 然后照料其它。 在评定以后,图象被装载到 Nanosurf 报表专家级的后加工软件和一起被缝对一个唯一图象。 当然因此此图象仍然包含所有度量衡学的数据,并且可能被分析象与所有可用的分析功能的其他 AFM 图象,包括高度和距离评定、坎坷计算、谷物和微粒分析、短剖面分析和 3D 形象化。

LCD 面板 “象素”的想象

现代平面屏幕生产工艺 (等离子, TFT-LCD, OLED) 在导致小和复杂 3D 表面结构的多层进程基础上。 常规光学显微学一般未达到当谈到验证完整性和质量的在三维数的这样表面结构。 这是特别可靠对于在子测微表政权的故障分析。 AFM,另一方面,是评定 3D 与子测微表精确度的等高数据的理想的解决方法。 这个缝的技术,这可能甚而现在是实现的在大表面,例如 LCD 面板。

图 1. 光学 LCD 面板的显微学图象。 图象 (660 µm x 660 µm; 使用 Nanosurf easyScope,显示这里在 120 折叠放大) 被记录了。 唯一 LCD “象素”在大红色配件箱放入。 更小的白色箱子对应于可以由 AFM 的扫描范围典型地包括的面积。 这样扫描的结果在表 2. 显示。

图 1 显示 LCD 面板的一个光学显微镜图象在 120 折叠放大。 面板的一象素对应于在红色配件箱放入的这个部分。 此区,评定的 407 µm x 407 µm,大于可能通常评定与 AFM,在表 1. 图 2 显示在白色箱子的区将对应到更小的白色箱子一个实际 AFM 评定的区。 AFM 的好处在 - 得到的高分辨率和可用性 3D 数据 - 变得的光学显微学的明显地明显。

图 2. 一典型的 LCD 面板区的 AFM 扫描。 高分辨率地形学数据为一有限扫描区是可用的。 这里扫描对应于 74 µm x 74 µm 和到在图显示的白色箱子 1. 上。

对图象整个 LCD 象素,然而,将要求大于那些可以从一个唯一 AFM 图象获得的扫描范围。 在此阻碍附近的一个方式,是使用多个范例区的自动化的评定,跟随由缝发生的 AFM 图象。 此进程的可行性在下列示例中被展示,说明 5x5 AFM 图象矩阵如何在 LCD 面板获取了并且一起被缝了对一个更大的图象。 用于此进程的仪器是 Nanosurf Nanite 与 ATS-A100 自动翻译阶段的 B AFM

在挂接 LCD 范例以后在转换阶段, AFM 悬臂式技巧确定在区域利益,并且这个缝的脚本开始了 (图 3)。 当期望参数被设置, AFM 系统独立地获取了所有图象,保存所有评定对文件和调用这些到 Nanosurf 报表专家级的软件,此程序缝的模块一起缝所有文件 (参见图 4)。 这个结果的 3D 表示在表 5 存在,显示多么无缝各自的图象被合并到一个。

图 3. 运行在 Nanosurf 控制软件的缝的脚本。 红色配件箱显示要求缝的对话这个用户供应这个缝的进程的基本的参数。

图 4。 在 Nanosurf 报表专家软件的缝的模块界面。 简单,并且强大的指令允许任何人执行缝和生成专业结果。

一个被缝的 AFM 图象的图 5. 3D 表示。 图象 (与缝的结果相应在表 4),显示这里在 200 折叠放大,展示使用 Nanosurf Nanite B AFM 和一个自动翻译阶段,多么高分辨率三维的数据可以容易地获取。 它也展示多么无缝这个缝的进程的结果是。

使用更加各自的 AFM 图象 (10x10) 这个缝的进程的导致高分辨率地形图 (LCD 面板 (560 µm x 570 的更大的表面的图 6) µm,在中断粗胶边以后),几乎相似在大小上与在图显示的光学图象 1. 上。 超过一完全 LCD 象素可能明显地是著名的。

图 6. AFM 缝的图象 LCD 面板。 图象 (560 µm x 570 µm; 显示这里在 160 折叠放大) 使用 Nanosurf 被记录和被缝的 10x10 图象的结果 Nanite B 和缝的功能 Nanosurf 控制和报表软件。 这个结果与在图显示的光学照片在大小上是可比较的 1 上,但是在这种情况下提供更多详细资料和 3D 数据。

使用在 LCD 面板生产质量管理的这样的大表面 AFM 数据提供详细信息关于各自的微型制造进程步骤,并且允许生产批次的批审批或拒绝。 另外, AFM 评定的情报 - 特别是跨过大表面的 AFM 评定,象缝的论点 - 能甚而使用为将来的批次调整生产参数。

这在产品开发和生产时做 AFM 在工业质量管理进程中提供最高解决方法不仅的质量管理仪器,而且重要的最佳工具。 自动运算,容易处理和 Nanosurf Nanite AFM 的非常好的价格/性能比例做它为象小和大的行业的理想的工具搬入他们的质量管理 21 世纪。

来源: Nanosurf

关于此来源的更多信息请参观 Nanosurf

Date Added: Mar 25, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:46

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