大表面高分辨率地勢映射使用 Nanite AFM 自動化的縫的功能的從 Nanosurf 的

包括的事宜

背景
簡介
LCD 面板 「像素」的想像

背景

此應用註解描述 Nanosurf Nanite AFM 寫電影腳本的界面的自動化的縫的功能與 Nanosurf 報表專家級的分析軟件的組合。 在 LCD 面板的 AFM 評定用於得为例展示縫如何可能因而用於容易地和高效地生成大表面高分辨率地勢映射。

簡介

像 AFM 的高分辨率成像技術在他們的最大掃描範圍經常被限制。 當和一個大掃描範圍需要時 AFM 的高側向解決方法,圖像縫可能是解決方法。 當創建從多個照片時的一個唯一全景場面圖像縫是常用的。 在一次更加先進的實施,此技術可能也用於結合多個 AFM 評定到一個唯一大圖像。 因此,大表面 AFM 想像,即 1 mm x 1 mm 或 100 µm x 在大小上 1 cm,可能容易地達到。

Nanosurf Nanite AFM 系統能充分地自動地評定和縫必需的圖像。 這個用戶必須只指定唯一 AFM 圖像範圍和將被評定的區的範圍。 AFM 然後照料其它。 在評定以後,圖像被裝載到 Nanosurf 報表專家級的後加工軟件和一起被縫對一個唯一圖像。 當然因此此圖像仍然包含所有度量衡學的數據,并且可能被分析像與所有可用的分析功能的其他 AFM 圖像,包括高度和距離評定、坎坷計算、穀物和微粒分析、短剖面分析和 3D 形象化。

LCD 面板 「像素」的想像

現代平面屏幕生產工藝 (等離子, TFT-LCD, OLED) 在導致小和複雜 3D 表面結構的多層進程基礎上。 常規光學顯微學一般未達到當談到驗證完整性和質量的在三維數的這樣表面結構。 這是特別可靠對於在子測微表政權的故障分析。 AFM,另一方面,是評定 3D 與子測微表精確度的等高數據的理想的解決方法。 這個縫的技術,這可能甚而現在是實現的在大表面,例如 LCD 面板。

圖 1. 光學 LCD 面板的顯微學圖像。 圖像 (660 µm x 660 µm; 使用 Nanosurf easyScope,顯示這裡在 120 摺疊放大) 被記錄了。 唯一 LCD 「像素」在大紅色配件箱放入。 更小的白色箱子對應於可以由 AFM 的掃描範圍典型地包括的面積。 這樣掃描的結果在表 2. 顯示。

圖 1 顯示 LCD 面板的一個光學顯微鏡圖像在 120 摺疊放大。 面板的一像素對應於在紅色配件箱放入的這個部分。 此區,評定的 407 µm x 407 µm,大於可能通常評定與 AFM,在表 1. 圖 2 顯示在白色箱子的區將對應到更小的白色箱子一個實際 AFM 評定的區。 AFM 的好處在 - 得到的高分辨率和可用性 3D 數據 - 變得的光學顯微學的明顯地明顯。

圖 2. 一典型的 LCD 面板區的 AFM 掃描。 高分辨率地形學數據為一有限掃描區是可用的。 這裡掃描對應於 74 µm x 74 µm 和到在圖顯示的白色箱子 1. 上。

對圖像整個 LCD 像素,然而,將要求大於那些可以從一個唯一 AFM 圖像獲得的掃描範圍。 在此阻礙附近的一個方式,是使用多個範例區的自動化的評定,跟隨由縫發生的 AFM 圖像。 此進程的可行性在下列示例中被展示,說明 5x5 AFM 圖像矩陣如何在 LCD 面板獲取了并且一起被縫了對一個更大的圖像。 用於此進程的儀器是 Nanosurf Nanite 與 ATS-A100 自動翻譯階段的 B AFM

在掛接 LCD 範例以後在轉換階段, AFM 懸臂式技巧確定在區域利益,并且這個縫的腳本開始了 (圖 3)。 当期望參數被設置, AFM 系統獨立地獲取了所有圖像,保存所有評定對文件和調用這些到 Nanosurf 報表專家級的軟件,此程序縫的模塊一起縫所有文件 (參見圖 4)。 這個結果的 3D 表示在表 5 存在,顯示多麼無縫各自的圖像被合併到一个。

圖 3. 運行在 Nanosurf 控制軟件的縫的腳本。 紅色配件箱顯示要求縫的對話這個用戶供應這個縫的進程的基本的參數。

圖 4。 在 Nanosurf 報表專家軟件的縫的模塊界面。 簡單,並且強大的指令允許任何人執行縫和生成專業結果。

一個被縫的 AFM 圖像的圖 5. 3D 表示。 圖像 (與縫的結果相應在表 4),顯示這裡在 200 摺疊放大,展示使用 Nanosurf Nanite B AFM 和一個自動翻譯階段,多麼高分辨率三維的數據可以容易地獲取。 它也展示多麼無縫這個縫的進程的結果是。

使用更加各自的 AFM 圖像 (10x10) 這個縫的進程的導致高分辨率地形圖 (LCD 面板 (560 µm x 570 的更大的表面的圖 6) µm,在中斷粗膠邊以後),幾乎相似在大小上與在圖顯示的光學圖像 1. 上。 超過一完全 LCD 像素可能明顯地是著名的。

圖 6. AFM 縫的圖像 LCD 面板。 圖像 (560 µm x 570 µm; 顯示這裡在 160 摺疊放大) 使用 Nanosurf 被記錄和被縫的 10x10 圖像的結果 Nanite B 和縫的功能 Nanosurf 控制和報表軟件。 這個結果與在圖顯示的光學照片在大小上是可比較的 1 上,但是在這種情況下提供更多詳細資料和 3D 數據。

使用在 LCD 面板生產質量管理的這樣的大表面 AFM 數據提供詳細信息關於各自的微型製造進程步驟,并且允許生產批次的批審批或拒绝。 另外, AFM 評定的情報 - 特別是跨過大表面的 AFM 評定,像縫的論點 - 能甚而使用為將來的批次調整生產參數。

這在產品開發和生產時做 AFM 在工業質量管理進程中提供最高解決方法不僅的質量管理儀器,而且重要的最佳工具。 自動運算,容易處理和 Nanosurf Nanite AFM 的非常好的價格/性能比例做它為像小和大的行業的理想的工具搬入他們的質量管理 21 世紀。

來源: Nanosurf

關於此來源的更多信息请請參觀 Nanosurf

Date Added: Mar 25, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:49

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