DektakXT-Oberflächen-Auswerteprogramme - Automatisches Schritt-Befund-Merkmal für DektakXT-Oberflächen-Auswerteprogramme von Bruker

Die Meisten Stiftauswerteprogramme benötigen einen Operator, Maßstellungen und -parameter für einzelne Schritt Maße-ein Zeit raubende Operation mit niedriger Wiederholbarkeit manuell einzustellen.

Der Schritt-Befundalgorithmus folgt diesen Schritten:

1. Ein Maß wird gemacht.
2. Die Daten werden basiert worden auf Ihren Einstellungen glatt gemacht und nivelliert.
3. Jeder Schritt wird basiert worden auf Ihren Einstellungen entdeckt und gemessen.

Das Glatt machen, die Cursor-Stellungen und die Schritt-Beschreibungseinstellungen beeinflussen groß die Anzahl von Schritten, die der Algorithmus errichtet. Vorsichtige Installation führt zu den genauesten Schrittbefund und die analytischen Berechnungen.

Abbildung 2 zeigt einen typischen Scan über einem Oberflächenschritt ungefähr 1µm, das durch breite 700µm hoch ist. Die Probe wird etwas, mit Rauheit ungefähr 60Å auf den oberen und Unterseiten gekippt. Schritt Befund automatisch nivelliert und macht solche Daten glatt, um genaue Schritthöhenmessungen zu erhalten.

Abbildung 2. Typischer roher Scan von einem Schritt.

Um ein Schrittmaß zu machen, beginnen Sie indem Sie einen Beispielscan der gemessen zu werden nehmen Merkmale. Von diesem Scan können Sie die korrekte Scan-Länge, den vertikalen Messbereich, das Auflagegewicht und die Anzahl von den Datenpunkten bestimmen, die benötigt werden, um die gewünschte Horizontalauflösung zu erzielen.

Diese korrekten Werte Kennend, scannen Sie die Schritte.

Als Nächstes beschließen Sie Analysis>Step-Befund, um den Schritt-Befundparameterbildschirm zu öffnen. Sie können auf den Plan-Zusammenfassungs- oder Scan-Zusammenfassungsbildschirmen auch rechts klicken. Der Allgemeine Einstellungslappen (Abbildung 3) umfaßt Parameter für den Gesamtscan und für das Datennivellieren. Über die Lappen Jedes Schrittes und des Ersten Schrittes (Abbildungen 4 und 5) Showparameter, die gültige Schritte definieren und die Parameter bestimmen, um zu berichten.

Abbildung 3. Schritt-Befund-Generaleinstellungen. Automatische Nivellierende Parameter pro die Einstellungen (Recht).

Abbildung 4. Jedes Schrittlängeneinstellungen.

Abbildung 5. Erste Schrittlängeneinstellungen

1. Nachweismethode. Für die meisten Anwendungen wird die Jede Schrittmethode angewendet, um jeden Schritt innerhalb der Scan-Länge automatisch zu entdecken und zu messen. Die Methode des Ersten Schrittes misst nur den ersten angetroffenen Schritt.
2. Detektionsbereich bestimmt den Teil des Scans, der auf gültige Schritte analysiert wird. In Abbildung 3, werden die nur ersten 2000µm des Scans, in dem das Merkmal von Zinsen lokalisiert wird, analysiert.
3. Überprüfen Sie das Automatische Nivellieren, um Scan-Daten vor Schrittanalyse zu nivellieren. Die R- und M-Cursorparameter definieren die Stellung der Cursors im Verhältnis zu dem ersten gefundenen Rand (nicht notwendigerweise ein Schritt), Abstand vom Rand und Breite, gemäß Abbildung 4. Diese Cursoreinstellungen beantragen nur für das Nivellieren, nicht Datenanalyse. Gewöhnlich wird der R-Cursor vor dem ersten Rand gelegt, und der M-Cursor folgt dem Rand.
4. Check Aktivieren Schritt-Befund, dann klicken Zutreffen, um die aktuelle Datei zu analysieren. Der Bildschirm aktualisiert, um die Schrittanalyse für die aktuellen Daten zu zeigen.
5. Check-Abwehr Ändert zum Scan-Programm, um Schritt-Befund, mit den aktuellen Einstellungen durchzuführen, jedes Mal das aktuelle Scan-Programm wird verwendet.

Klicken Sie den Jeden Schrittlappen an, um die folgenden Parameter einzustellen:

1. Das Glatt machen bestimmt die minimale Steigungsänderung zwischen anliegenden Datenpunkten, denen gelten als einen „Rand.“ Ein kleinerer Glatt Machender Wert erhöht Empfindlichkeit auf kleinere Schritte; ein größerer Wert filtert Geräusche zur Grenzanalyse zu den eindeutigen, gut definierten Schritten.
2. Minimale und Maximale Schritt-Höhen der Schritt-Befundalgorithmus legt Cursors auf jeder Seite von jedem gefundener „Rand,“ basiert auf den Cursoreinstellungen in den Kasten der Analytischen Funktionen (unten). Wenn die ASCHE zwischen diesen Cursors innerhalb dieser Minimalen und Maximalwerte fällt, wird der Rand ein gültiger Schritt betrachtet.
3. „+Steps“ und „- Schritte“ lässt Sie auswählen, ob positive Schritte (über dem Bezug) und/oder werden negative Schritte (unterhalb des Bezugs) analysiert.
4. Analytische Funktionen definieren, die Analyseparameter für jeden gültigen Schritt berichtet werden. Überprüfen Sie den Kasten auf jeder Analyse, die berichtet werden sollte. Stellen Sie den Abstand zum Schritt für die R- und M-Cursors, im Verhältnis zu der Vorderkante des Schrittes ein. Beachten Sie, dass jede Analyse seine eigenen Orte des Positionsanzeigers haben kann. Für Durchschnittliche Schritt-Höhen (ASH)berechnungen können Sie Cursor Breiten auch einstellen, um zu bestimmen, wie viel Scan-Daten entlang der Oberseite und der Unterseite jedes Schrittes berechnet werden.
5. Überprüfen Sie Berechnungs-Durchschnitt, um über den Durchschnitt jedes festgelegten Parameters über allen gültigen Schritten zu berichten. Dieses Merkmal ist für die Charakterisierung der Tiefen der V-Nuten oder der Höhe von Stößen in einer Reihe sowie für traditionelle Schritthöhen besonders nützlich.

Bei Gelegenheit sollten Sie einen Einzelschritt unter Verwendung der mehrfachen Sets Cursorstellungen analysieren. In diesem Fall würden Sie die Methode des Ersten Schrittes unter Allgemeinen Einstellungen überprüfen, dann den Lappen des Ersten Schrittes klicken, um diese Parameter einzustellen:

1. Das Glatt machen bestimmt die minimale Steigungsänderung zwischen anliegenden Datenpunkten, denen gelten als einen „Rand.“ Ein kleinerer Glatt Machender Wert erhöht Empfindlichkeit auf kleinere Schritte; ein größerer Wert filtert Geräusche zur Grenzanalyse zu den eindeutigen, gut definierten Schritten.
2. Schritt Beschreibung definiert die erwartete Höhe und die Breite eines gültigen Schrittes, innerhalb der gegebenen Toleranz.
3. Abstand zum Schritt und zur Bandweite stellte den Einbauort und die Breite der analytischen R- und M-Cursors, im Verhältnis zu der Vorderkante des Schrittes ein.
4. „+Steps“ und „- Schritte“ lässt Sie auswählen, ob positive Schritte (über dem Bezug) oder negative Schritte (unterhalb des Bezugs) werden analysiert.
5. Analytische Funktionen definieren, die Analyseparameter für jeden gültigen Schritt berichtet werden. Stellen Sie die Einbauorte der R- und M-Cursors im Verhältnis zu der Vorderkante des Schrittes ein. Für jede Analyse können Sie bis zehn Sets Orte des Positionsanzeigers und Breiten definieren, um den Schritt in unterschiedlichen Abständen zu analysieren.
6. Überprüfen Sie Berechnungs-Durchschnitt, um über den Durchschnitt jedes festgelegten Parameters über allen Sets Cursors zu berichten.

Sobald Sie alle Parameter eingetragen haben, Treffen Klick oder HEISSEN zu gut, um die gemessenen Parameter für jeden gültigen Schritt anzuzeigen (Abbildung 6).

Abbildung 6. Scan-Profil nach Schrittbefund. Die gelbe Zeile zeigt die Daten, nachdem sie glatt gemacht hat.

Abbildung 6 zeigt die Daten von Abbildung 2 nach Schritt-Befundanalyse. Das Scan-Profil ist nivelliert worden, ist der Schritt entdeckt worden, und die durchschnittliche Schritthöhe (ASH) ist berechnet worden.