Profilers de la Superficie de DektakXT - Característica Automática de la Detección del Paso De Progresión para los Profilers de la Superficie de DektakXT de Bruker

La Mayoría de los profilers de la aguja requieren a un operador fijar manualmente posiciones y los parámetros de la medición para la operación que toma tiempo de las mediciones-uno individuales del paso de progresión con repetibilidad inferior.

El algoritmo de la Detección del Paso De Progresión sigue estos pasos de progresión:

1. Se hace una medición.
2. Se alisan y se nivelan los datos basado en sus configuraciones.
3. Se detecta y se mide Cada paso de progresión basado en sus configuraciones.

El Alisar, las Posiciones del Cursor y las configuraciones de la Descripción del Paso De Progresión afectan grandemente al número de pasos de progresión que el algoritmo establezca. El ajuste Cuidadoso llevará a la detección más exacta del paso de progresión y a los cálculos analíticos.

El Cuadro 2 muestra una exploración típica a través de un paso de progresión superficial el aproximadamente 1µm alto por los 700µm anchos. La muestra se inclina ligeramente, con la tosquedad aproximadamente 60Å en las superficies superiores y más inferiores. La Detección del Paso De Progresión nivelará y alisará automáticamente tales datos para obtener mediciones exactas de la altura del paso de progresión.

Cuadro 2. exploración sin procesar Típica de un paso de progresión.

Para hacer una medición del paso de progresión, comience tomando una exploración de la muestra de las características que se medirán. De esta exploración usted puede determinar la longitud correcta de la exploración, el rango vertical de la medición, la fuerza de aguja y el número de puntos de referencias requeridos para lograr la resolución horizontal deseada.

Conociendo estos valores correctos, explore los pasos de progresión.

Después, elija la Detección de Analysis>Step para abrir la pantalla de los parámetros de la Detección del Paso De Progresión. Usted puede también hacer clic derecho en las pantallas del Resumen del Gráfico o del Resumen de la Exploración. La tabulación General de las Configuraciones (el Cuadro 3) incluye los parámetros para la exploración total y para la nivelación de los datos. Las tabulaciones de Cada Paso De Progresión y del Primer Paso De Progresión (Cuadros 4 y 5) parámetros de la demostración que definen pasos de progresión válidos y determinan los parámetros para señalar.

Cuadro 3. configuraciones del General de la Detección del Paso De Progresión. Parámetros de Nivelación Automática por las configuraciones (Correctas).

Cuadro 4. Configuraciones de Cada Paso De Progresión.

Cuadro 5. Configuraciones del Primer Paso De Progresión

1. Método de Detección. Para la mayoría de las aplicaciones, el Cada método del Paso De Progresión se utiliza, para detectar y para medir automáticamente cada paso de progresión dentro de la longitud de la exploración. El método del Primer Paso De Progresión medirá solamente el primer paso de progresión encontrado.
2. El Rango de la Detección determina la porción de la exploración que será analizada para los pasos de progresión válidos. En el Cuadro 3, solamente el primeros 2000µm de la exploración, donde la característica del interés se localiza, serán analizados.
3. Controle la Nivelación Automática para nivelar datos de la exploración antes de análisis del paso de progresión. Los parámetros del Cursor de R y de M definen la posición de los cursores en relación con el primer borde encontrado (no no necesariamente un paso de progresión), la distancia del borde, y el ancho, según el Cuadro 4. Estas configuraciones del cursor solicitan solamente para nivelar, no análisis de datos. El cursor de R se coloca Típicamente antes del primer borde, y el cursor de M sigue el borde.
4. La Inspección Activa la Detección del Paso De Progresión, después hace clic Se Aplica para analizar el conjunto de datos actual. La pantalla se pondrá al día para mostrar el análisis del paso de progresión para los datos actuales.
5. La Salvaguardia de la Inspección Cambia a la Rutina de la Exploración para realizar la Detección del Paso De Progresión, con las configuraciones actuales, la Rutina actual de la Exploración se utiliza cada vez.

Haga Clic la Cada tabulación del Paso De Progresión para fijar los parámetros siguientes:

1. El Alisar determina el cambio mínimo del declive entre los puntos de referencias adyacentes que serán considerados un “borde.” Un valor Que Alisa más pequeño aumenta sensibilidad a pasos de progresión más pequeños; un valor más grande filtra ruido al análisis de límite a los pasos de progresión distintos, bien definidos.
2. Las Alturas Mínimas y Máximas del Paso De Progresión El algoritmo de la Detección del Paso De Progresión colocan los cursores a cada lado de cada uno “borde encontrado,” basado en las configuraciones del cursor en el rectángulo de las Funciones Analíticas (abajo). Si la CENIZA entre estos cursores cae dentro de estos valores Mínimos y Máximos, el borde será considerado un paso de progresión válido.
3. “+Steps” y “- los Pasos De Progresión” le permiten seleccionar si los pasos de progresión positivos (encima de la referencia) y/o los pasos de progresión negativos (debajo de la referencia) serán analizados.
4. Las Funciones Analíticas definen que los parámetros del análisis serán señalados para cada paso de progresión válido. Controle el rectángulo para saber si hay cada análisis que deba ser señalado. Fije la Distancia al Paso De Progresión para los cursores de R y de M, en relación con el borde delantero del paso de progresión. Observe que cada análisis puede tener sus propias ubicaciones de cursor. Para los cálculos Medios de la Altura (ASH) del Paso De Progresión, usted puede también fijar Anchos del cursor para determinar cuántos datos de la exploración serán hechos un promedio a lo largo de la parte superior y de la parte inferior de cada paso de progresión.
5. Controle el Promedio del Cálculo para señalar el promedio de cada parámetro seleccionado sobre todos los pasos de progresión válidos. Esta característica es determinado útil para caracterizar las profundidades de V-Ranuras o la altura de topetones en un arsenal, así como para las alturas tradicionales del paso de progresión.

De vez en cuando usted puede querer analizar un único paso de progresión usando conjuntos múltiples de posiciones del cursor. En este caso usted controlaría el método del Primer Paso De Progresión bajo Configuraciones Generales, después hace clic la tabulación del Primer Paso De Progresión para fijar estos parámetros:

1. El Alisar determina el cambio mínimo del declive entre los puntos de referencias adyacentes que serán considerados un “borde.” Un valor Que Alisa más pequeño aumenta sensibilidad a pasos de progresión más pequeños; un valor más grande filtra ruido al análisis de límite a los pasos de progresión distintos, bien definidos.
2. La Descripción del Paso De Progresión define la altura y el ancho previstos de un paso de progresión válido, dentro de la Tolerancia dada.
3. La Distancia al Paso De Progresión y a la Anchura De Banda fijó la ubicación y el ancho de los cursores analíticos de R y de M, en relación con el borde delantero del paso de progresión.
4. “+Steps” y “- los Pasos De Progresión” le permiten seleccionar si los pasos de progresión positivos (encima de la referencia) o los pasos de progresión negativos (debajo de la referencia) serán analizados.
5. Las Funciones Analíticas definen que los parámetros del análisis serán señalados para cada paso de progresión válido. Fije las ubicaciones de los cursores de R y de M en relación con el borde delantero del paso de progresión. Para cada análisis usted puede definir hasta diez conjuntos de ubicaciones y de anchos de cursor para analizar el paso de progresión en las distancias diversas.
6. Controle el Promedio del Cálculo para señalar el promedio de cada parámetro seleccionado a través de todos los conjuntos de cursores.

Una Vez Que usted ha incorporado todos los parámetros, el tecleo Se Aplica o APRUEBA para visualizar los parámetros medidos para cada paso de progresión válido (Cuadro 6).

Cuadro 6. perfil de la Exploración después de la detección del paso de progresión. La línea amarilla muestra los datos después de alisar.

El Cuadro 6 muestra los datos del Cuadro 2 después de análisis de la Detección del Paso De Progresión. Se ha nivelado el perfil de la exploración, se ha detectado el paso de progresión, y se ha calculado la altura media (ASH) del paso de progresión.