Profileurs de Surface de DektakXT - Caractéristique technique Automatique de Dépistage de Phase pour des Profileurs de Surface de DektakXT de Bruker

La Plupart Des profileurs de stylet exigent d'une téléphoniste de régler manuellement des positions et des paramètres de mesure pour le fonctionnement long de différentes mesures-un de phase avec la répétabilité faible.

L'algorithme de Dépistage de Phase suit ces phases :

1. Une mesure est effectuée.
2. On lisse les données et basé nivelé sur vos configurations.
3. Chaque phase est trouvée et basé mesuré sur vos configurations.

Le Lissage, les Positions de Curseur et les configurations de Description de Phase affectent grand le nombre de phases que l'algorithme plac. L'installation Attentive mènera au dépistage de phase le plus précis et aux calculs analytiques.

Le Schéma 2 affiche une échographie typique en travers d'un haut extérieur de la phase approximativement 1µm de 700µm larges. L'échantillon est légèrement incliné, avec la rugosité environ 60Å sur les intrados supérieurs et. Le Dépistage de Phase automatiquement nivellera et lissera de telles données pour obtenir des mesures précises de hauteur de phase.

Le Schéma 2. échographie crue Particulière d'une phase.

Pour effectuer une mesure de phase, commencez par prendre une échographie d'échantillon des caractéristiques à mesurer. De cette échographie vous pouvez déterminer la longueur correcte d'échographie, le domaine vertical de mesure, la force de stylet et le nombre de points d'informations priés pour réaliser la définition horizontale désirée.

En Connaissant ces valeurs correctes, balayez les phases.

Ensuite, choisissez le Dépistage d'Analysis>Step pour ouvrir l'écran de paramètres de Dépistage de Phase. Vous pouvez également clic droit dans les écrans de Résumé de Traçage ou de Résumé d'Échographie. L'Onglet Paramètres Général (le Chiffre 3) comprend des paramètres pour l'échographie générale et pour la mise à niveau de données. Les onglets de Chaque Phase et de Première Étape (les Schémas 4 et 5) paramètres d'exposition qui définissent des phases admissibles et déterminent les paramètres pour enregistrer.

Le Schéma 3. configurations de Général de Dépistage de Phase. Paramètres de Mise À Niveau Automatique selon des configurations (Droites).

Le Schéma 4. Configurations de Chaque Phase.

Le Schéma 5. Configurations de Première Étape

1. Méthode de Dépistage. Pour la plupart des applications, la Chaque méthode de Phase est employée, automatiquement pour trouver et mesurer chaque phase dans la longueur d'échographie. La méthode de Première Étape mesurera seulement la première étape produite.
2. La Chaîne de Dépistage détermine la partie de l'échographie qui sera analysée des phases admissibles. Sur le Schéma 3, les seulement 2000µm premiers de l'échographie, où la caractéristique technique d'intérêt est localisée, s'analyseront.
3. Contrôlez la Mise À Niveau Automatique pour niveler des données d'échographie avant l'analyse de phase. Les paramètres de Curseur de R et de M définissent la position des curseurs relativement à la première arête trouvée (pas forcément une phase), à la distance à partir de l'arête, et à la largeur, selon le Schéma 4. Ces configurations de curseur s'appliquent seulement pour niveler, pas pour l'analyse de données. Type le curseur de R est mis avant la première arête, et le curseur de M suit l'arête.
4. Le Contrôle Activent le Dépistage de Phase, puis cliquent S'appliquent pour analyser l'ensemble de données actuel. L'écran mettra à jour pour afficher l'analyse de phase pour les données actuelles.
5. La Sauvegarde de Contrôle Change en le Sous-programme d'Échographie pour exécuter le Dépistage de Phase, avec les configurations actuelles, chaque fois le Sous-programme actuel d'Échographie est utilisée.

Cliquez le Chaque onglet de Phase pour régler les paramètres suivants :

1. Le Lissage détermine la modification minimum de pente entre les points d'informations adjacents qui seront considérés une « arête. » Une plus petite valeur Douce augmente la sensibilité à de plus petites phases ; une plus grande valeur filtre le bruit à l'analyse de limite aux phases distinctes et bien définies.
2. Les Hauteurs Minimum et Maximum de Phase L'algorithme de Dépistage de Phase met des curseurs des deux côtés de chacun « arête trouvée, » basé sur les configurations de curseur dans le cadre de Fonctionnements Analytiques (ci-dessous). Si le FRÊNE entre ces chutes de curseurs dans ces valeurs Minimum et Maximum, l'arête sera considéré une phase admissible.
3. « +Steps » et « - les Phases » vous laisse sélecter si des phases positives (au-dessus de la référence) et/ou des phases négatives (ci-dessous la référence) s'analyseront.
4. Les Fonctionnements Analytiques définissent que des paramètres d'analyse seront enregistré pour chaque phase admissible. Examinez le cadre pour assurer chaque analyse qui devrait être enregistrée. Réglez la Distance à la Phase pour les curseurs de R et de M, relativement au bord d'attaque de la phase. Notez que chaque analyse peut avoir ses propres emplacements de curseur. Pour les calculs Moyens de Hauteur (ASH) de Phase, vous pouvez également régler des Largeurs de curseur pour déterminer combien de données d'échographie seront ramenées à une moyenne le long du haut et bas de chaque phase.
5. Contrôlez la Moyenne de Calcul pour enregistrer la moyenne de chaque paramètre sélecté au-dessus de toutes les phases admissibles. Cette caractéristique technique est particulièrement utile pour caractériser les profondeurs des V-Incisions ou la hauteur des mémoires annexes dans un alignement, ainsi que pour des hauteurs traditionnelles de phase.

Occasionnellement vous pouvez vouloir analyser un pas à pas utilisant les ensembles multiples de positions de curseur. Dans ce cas vous contrôleriez la méthode de Première Étape sous les Configurations Générales, puis cliquez l'onglet de Première Étape pour régler ces paramètres :

1. Le Lissage détermine la modification minimum de pente entre les points d'informations adjacents qui seront considérés une « arête. » Une plus petite valeur Douce augmente la sensibilité à de plus petites phases ; une plus grande valeur filtre le bruit à l'analyse de limite aux phases distinctes et bien définies.
2. La Description de Phase définit la hauteur et la largeur prévues d'une phase admissible, en dessous de la Tolérance donnée.
3. La Distance à la Phase et à la Largeur De Bande a réglé l'emplacement et la largeur des curseurs analytiques de R et de M, relativement au bord d'attaque de la phase.
4. « +Steps » et « - les Phases » vous laisse sélecter si des phases positives (au-dessus de la référence) ou des phases négatives (ci-dessous la référence) s'analyseront.
5. Les Fonctionnements Analytiques définissent que des paramètres d'analyse seront enregistré pour chaque phase admissible. Réglez les emplacements des curseurs de R et de M relativement au bord d'attaque de la phase. Pour chaque analyse vous pouvez définir jusqu'à dix ensembles d'emplacements et de largeurs de curseur pour analyser la phase aux distances variables.
6. Contrôlez la Moyenne de Calcul pour enregistrer la moyenne de chaque paramètre sélecté en travers de tous les ensembles de curseurs.

Une Fois Que vous avez entré tous les paramètres, le claquement S'appliquent ou APPROUVENT pour afficher les paramètres mesurés pour chaque phase admissible (le Schéma 6).

Le Schéma 6. profil d'Échographie après dépistage de phase. La ligne jaune affiche les données après lissage.

Le Schéma 6 affiche les données du Schéma 2 après analyse de Dépistage de Phase. Le profil d'échographie a été nivelé, la phase a été trouvée, et la hauteur moyenne de phase (ASH) a été prévue.