Profilatori della Superficie di DektakXT - Funzionalità di Rilevazione dello Scatto Automatico per i Profilatori della Superficie di DektakXT da Bruker

La Maggior Parte dei profilatori dello stilo richiedono ad un operatore di fissare manualmente le posizioni ed i parametri di misura per l'operazione che richiede tempo di diverse misure-un di punto con ripetibilità bassa.

L'algoritmo di Rilevazione di Punto segue questi punti:

1. Una misura è effettuata.
2. I dati sono lisciati e livellati basato sulle vostre impostazioni.
3. Ogni punto è individuato e misurato basato sulle vostre impostazioni.

Il Lisciamento, le Posizioni del Cursore e le impostazioni di Descrizione di Punto notevolmente pregiudicano il numero dei punti che l'algoritmo posizionerà. L'impostazione Attenta piombo alla rilevazione di punto più accurata ed ai calcoli analitici.

Figura 2 mostra una scansione tipica attraverso punto di superficie circa 1µm alto da 700µm ampi. Il campione leggermente è inclinato, con la rugosità approssimativamente 60Å sugli intradossi superiori e. La Rilevazione di Punto automaticamente livellerà e liscerà tali dati per ottenere le misure accurate di altezza di punto.

Figura 2. scansione cruda Tipica di un punto.

Per effettuare una misura di punto, inizi catturando una scansione del campione delle caratteristiche da misurare. Da questa scansione potete determinare la lunghezza corretta di scansione, l'intervallo verticale di misura, la forza di stilo ed il numero dei punti di informazioni tenuti per raggiungere la risoluzione orizzontale desiderata.

Conoscendo questi valori corretti, scandisca i punti.

Dopo, scelga la Rilevazione di Analysis>Step per aprire lo schermo di parametri di Rilevazione di Punto. Potete anche cliccare con il pulsante destro del mouse negli schermi del Riassunto del Tracciato o del Riassunto di Scansione. La tabulazione Generale delle Impostazioni (Cifra 3) comprende i parametri per la scansione globale e per il livellamento di dati. Le tabulazione del Primo Punto e di Ogni Punto (Figure 4 e 5) parametri di manifestazione che definiscono i punti validi e determinano i parametri per riferire.

Figura 3. impostazioni di Generale di Rilevazione di Punto. Parametri di Livellamento Automatico per impostazioni (Destra).

Figura 4. Impostazioni di Ogni Punto.

Figura 5. Impostazioni del Primo Punto

1. Metodo di Rilevazione. Per la maggior parte delle applicazioni, l'Ogni metodo di Punto è usato, per individuare e misurare automaticamente ogni punto all'interno della lunghezza di scansione. Il metodo del Primo Punto misurerà soltanto il primo punto incontrato.
2. L'Intervallo di Rilevazione determina la parte della scansione che sarà analizzata per i punti validi. Nella Figura 3, i soltanto primi 2000µm della scansione, dove la funzionalità di interesse è individuata, saranno analizzati.
3. Controlli il Livellamento Automatico Per livellare i dati di scansione prima dell'analisi di punto. I parametri del Cursore di M. e della R definiscono la posizione dei cursori riguardante la prima barriera trovata (non necessariamente un punto), la distanza dalla barriera e la larghezza, secondo Figura 4. Queste impostazioni del cursore fanno domanda soltanto per il livellamento, non per l'analisi di dati. Il cursore della R è collocato Tipicamente prima della prima barriera ed il cursore di M. segue la barriera.
4. L'Assegno Permette alla Rilevazione di Punto, quindi clicca Si Applica per analizzare l'insieme di dati corrente. Lo schermo aggiornerà per mostrare l'analisi di punto per i dati correnti.
5. I Risparmi dell'Assegno Cambiano alla Routine di Scansione per realizzare la Rilevazione di Punto, con le impostazioni correnti, ogni volta la Routine corrente di Scansione sono usati.

Clicchi l'Ogni tabulazione di Punto per fissare i seguenti parametri:

1. Il Lisciamento determina il cambiamento minimo del pendio fra i punti di informazioni adiacenti che saranno considerati “una barriera.„ Un valore Regolare più poco elevato aumenta la sensibilità ai più piccoli punti; un più grande valore filtra il disturbo all'analisi di limite ai punti distinti e ben definiti.
2. Le Altezze Minime e Massime di Punto L'algoritmo di Rilevazione di Punto colloca i cursori su entrambi i lati di ciascuno “barriera trovata,„ basato sulle impostazioni del cursore nella casella di Funzioni Analitiche (sotto). Se la CENERE fra questi cursori fa parte di questi valori Minimi e Massimi, la barriera sarà considerata un punto valido.
3. “+Steps„ e “- i Punti„ vi lascia selezionare se punti positivi (sopra il riferimento) e/o i punti negativi (sotto il riferimento) saranno analizzati.
4. Le Funzioni Analitiche definiscono che i parametri dell'analisi saranno riferiti per ogni punto valido. Controlli la casella per vedere se c'è ogni analisi che dovrebbe essere riferita. Fissi la Distanza al Punto per i cursori di M. e della R, riguardante il bordo di attacco del punto. Si Noti che ogni analisi può avere sue proprie posizioni di cursore. Per i calcoli Medii di Altezza (ASH) di Punto, potete anche fissare le Larghezze del cursore per determinare quanti dati di scansione saranno fatti la media lungo l'alto ed il basso di ogni punto.
5. Controlli la Media di Calcolo per riferire la media di ogni parametro selezionato sopra tutti i punti validi. Questa funzionalità è particolarmente utile per la caratterizzazione le profondità delle V-Scanalature o dell'altezza degli urti in una schiera come pure per le altezze tradizionali di punto.

Occasionalmente potete volere analizzare un singolo punto facendo uso delle diversità delle posizioni del cursore. In questo caso controllereste il metodo del Primo Punto nell'ambito delle Impostazioni Generali, quindi cliccate la tabulazione del Primo Punto per fissare questi parametri:

1. Il Lisciamento determina il cambiamento minimo del pendio fra i punti di informazioni adiacenti che saranno considerati “una barriera.„ Un valore Regolare più poco elevato aumenta la sensibilità ai più piccoli punti; un più grande valore filtra il disturbo all'analisi di limite ai punti distinti e ben definiti.
2. La Descrizione di Punto definisce l'altezza e la larghezza previste di un punto valido, all'interno della Tolleranza data.
3. La Distanza al Punto ed alla Larghezza Di Banda ha fissato la posizione e la larghezza dei cursori analitici di M. e della R, riguardante il bordo di attacco del punto.
4. “+Steps„ e “- i Punti„ vi lascia selezionare se punti positivi (sopra il riferimento) o i punti negativi (sotto il riferimento) saranno analizzati.
5. Le Funzioni Analitiche definiscono che i parametri dell'analisi saranno riferiti per ogni punto valido. Fissi le posizioni dei cursori di M. e della R riguardante il bordo di attacco del punto. Per ogni analisi potete definire fino a dieci insiemi delle posizioni e delle larghezze di cursore per analizzare il punto alle distanze varianti.
6. Controlli la Media di Calcolo per riferire la media di ogni parametro selezionato attraverso tutti gli insiemi dei cursori.

Una Volta Che avete digitato tutti parametri, il clic Si Applica o APPROVA per video i parametri misurati per ogni punto valido (Figura 6).

Figura 6. profilo di Scansione dopo rilevazione di punto. La riga gialla mostra i dati dopo il lisciamento.

Figura 6 mostra i dati da Figura 2 dopo l'analisi di Rilevazione di Punto. Il profilo di scansione è stato livellato, il punto è stato individuato e l'altezza media di punto (ASH) è stata calcolata.