カバーされるトピック
導入
自動化されたステップ検出
ステップ検出がどのように働くか
セットアップのステップ検出
概要の設定
あらゆるステップ設定
第一歩の設定
導入
DektakXT スタイラス型彫機は 7.5 オングストロームに反復性を複数のナノメーターからの何百ものミクロンによって正確なステップ高さの測定を、提供します。 一義的なステップ検出機能はすべての DektakXT の表面の型彫機によって今自動的に単一か多重ステップ高さを見つけ、測定するために含まれています。 ステップ検出は反復的な測定がサンプルのように行われるアプリケーションに特に有用です。
この文書に速く、反復可能なステップ高さの測定のために自動ステップ検出を使用する方法を説明されています。
自動化されたステップ検出
ほとんどのスタイラス型彫機はオペレータが手動で低い反復性の個々のステップ測定の時間のかかる操作のための測定位置そしてパラメータをセットするように要求します。
DektakXT のステップ検出は自動的にスキャンデータを水平にし、多重ステップを検出し、図 1. のように高さを、測定するためにパラメータをセットすることを可能にします。 これらのパラメータは各ステップ高さがスキャンの開始および端ポイントに関係なく正しく測定される、およびことを保障しますスキャン間のオペレータからの介在なしで。
自動的にステップ検出のソフトウェアと測定される図 1. 倍数のステップ。 見つけられた端は緑の点として示されています。
ステップ検出がどのように働くか
ステップ検出のアルゴリズムはこれらのステップに従います:
- 測定はなされます。
- データは設定に基づいて滑らかになり、水平になります。
- 各ステップは設定に基づいて検出され、測定されます。
滑らかになること、カーソルの位置およびステップ記述の設定はアルゴリズムが取付けるステップの番号に非常に影響を与えます。 注意深いセットアップは最も正確なステップ検出および分析的な計算の原因となります。
セットアップのステップ検出
図 2 は広い 700µm によって高い表面のステップおよそ 1µm を渡る典型的なスキャンを示します。 サンプルは上部および下の表面のおよそ 60Å 荒さとわずかに、傾きます。 ステップ検出は自動的に正確なステップ高さの測定を得るためにそのようなデータを水平にし、滑らかにします。
図 2. 典型的なステップの未加工スキャン。
ステップ測定をし、測定されるべき機能のサンプルスキャンの取得によって始めて下さい。 このスキャンから望ましい水平解像度を達成するために必要なデータ点の正しいスキャン長さ、縦の測定の範囲、針圧および番号を定めることができます。
これらの正しい値を知っていて、ステップをスキャンして下さい。
次に、ステップ検出パラメータスクリーンを開くために Analysis>Step の検出を選択して下さい。 またプロットの概要またはスキャン概要スクリーンで右クリックできます。 概要の設定タブ (図 3) は全面的なスキャンとデータ水平になることのためのパラメータを含んでいます。 あらゆるステップおよび第一歩タブ (図 4 5) 有効なステップを定義し、報告するためにパラメータを定めるおよびショーパラメータ。
図 3. ステップ検出大将の設定。 設定ごとの自動水平になるパラメータ (右の)。
図 4。 あらゆるステップ設定。
図 5。 第一歩の設定
概要の設定
- 検出方法。 ほとんどのアプリケーションのために自動的にスキャン長さ内のあらゆるステップを検出し、測定するのに、あらゆるステップ方法が、使用されています。 第一歩方法は見つけられた第一歩だけ測定します。
- 検出の範囲は有効なステップのために分析されるスキャンの部分を定めます。 図 3 では、興味の機能が見つけられるスキャンの最初の 2000µm だけは分析されます。
- ステップ分析前にスキャンデータを水平にするために自動水平になることを点検して下さい。 R および M のカーソルパラメータは最初の見つけられた端 (必ずしもステップ)、端からの間隔、および図 4. によって幅に関連してカーソルの位置を、定義します。 これらのカーソルの設定は水平になることにだけ、ないデータ解析に適用します。 通常 R のカーソルは最初の端の前に置かれ、 M のカーソルは端に続きます。
- 小切手はステップ検出を可能にしましたり、そして適用します現在のデータセットを分析するためにクリックします。 スクリーンは現在のデータのためのステップ分析を示すためにアップデートします。
- 小切手の保存はスキャンルーチンに、現在の設定と行うためにステップ検出をいつも現在のスキャンルーチン使用されます変更します。
あらゆるステップ設定
次のパラメータをセットするためにあらゆるステップタブをクリックして下さい:
- 滑らかになることは 「端と」。して考慮される隣接したデータ点間の最小斜面の変更を定めます より小さい滑らかになる値はより小さいステップに感度を高めます; 大きい値は個別、明示されているステップに極限解析に騒音をフィルタに掛けます。
- 最小および最大ステップ高さは解析関数ボックス (下記) にステップ検出のアルゴリズムそれぞれのカーソルを見つけられた 「端」、カーソルの設定に基づいてどちら側でも置きます。 これらのカーソル間の灰がこれらの最小および最大値の内で落ちれば、端は有効なステップ考慮されます。
- 「+Steps」および 「- ステップ」は (参照) の上の肯定的なステップかどうか選ぶことを可能にしますおよび/または否定的なステップは (参照の下で) 分析されます。
- 分析パラメータが各々の有効なステップのために報告される解析関数は定義します。 報告されるべきである各分析があるようにボックスを確認して下さい。 ステップのリーディングエッジに関連して R および M のカーソルのためのステップへの間隔を、セットして下さい。 各分析は自身のカーソルロケーションがあることができることに注目して下さい。 平均ステップ高さの計算 (ASH)のために、またどの位スキャンデータが各ステップの上そして底に沿って平均されるか定めるためにカーソルの幅をセットできます。
- すべての有効なステップ上の各々の指定パラメータの平均を報告するために計算平均を点検して下さい。 この機能はアレイの V 溝の深さか隆起の高さを特徴付けるために、また従来のステップ高さのために特に有用です。
第一歩の設定
時々カーソルの位置の多重セットを使用してシングル・ステップを分析したいと思う場合もあります。 この場合汎用設定の下で第一歩方法を点検しましたり、そしてこれらのパラメータをセットするために第一歩タブをクリックします:
- 滑らかになることは 「端と」。して考慮される隣接したデータ点間の最小斜面の変更を定めます より小さい滑らかになる値はより小さいステップに感度を高めます; 大きい値は個別、明示されているステップに極限解析に騒音をフィルタに掛けます。
- ステップ記述はある特定の許容内の有効なステップの期待された高さそして幅を、定義します。
- ステップおよび帯域幅への間隔はステップのリーディングエッジに関連して分析的な R および M のカーソルの位置そして幅を、セットしました。
- 「+Steps」および 「- ステップ」は (参照) の上の肯定的なステップかどうか選ぶことを可能にしますまたは否定的なステップは (参照の下で) 分析されます。
- 分析パラメータが各々の有効なステップのために報告される解析関数は定義します。 ステップのリーディングエッジに関連して R および M のカーソルの位置をセットして下さい。 各分析のためにさまざまな間隔でステップを分析するために 10 組までのカーソルロケーションおよび幅定義できます。
- カーソルのすべてのセットを渡る各々の指定パラメータの平均を報告するために計算平均を点検して下さい。
パラメータすべてを入力したら各々の有効なステップ (図 6) のための測定されたパラメータを表示するために、クリックは適用するか、または承諾します。
ステップ検出の後の図 6. スキャンプロフィール。 黄線は滑らかになることの後でデータを示します。
図 6 はステップ検出の分析の後で図 2 からのデータを示します。 スキャンプロフィールは水平になりました、ステップは検出され、平均ステップ高さは (ASH)計算されました。
自動化されたステップ測定はウエファーまたは基板を渡る単一および多重ステップの高さか深さを定めるための貴重なツールです。 プログラムステップの測定シーケンスへの能力は測定の時間、またオペレータにオペレータ可変性を非常に減らします。 DektakXT スタイラス型彫機だけ急速で、正確なステップ高さの査定のためのこの一義的な機能を提供します。
この情報は Bruker AXS によって提供される材料から供給され、見直され、そして適応させて。
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