:: Het Artikel van AZoNanotechnology
Besproken Onderwerpen
Inleiding
De Geautomatiseerde Opsporing van de Stap
Hoe de Opsporing van de Stap Werkt
de Opsporing van de vestigingsStap
Algemene Montages
De Montages van Elke Stap
De Eerste Montages van de Stap
Inleiding
De naaldprofilers van DektakXT verstrekken de nauwkeurige metingen van de staphoogte van verscheidene nanometers door honderden microns, met herhaalbaarheid neer aan 7.5 Ångström. Een unieke eigenschap van de Opsporing van de Stap is nu inbegrepen met alle DektakXT oppervlakteprofilers om van enige of veelvoudige staphoogten automatisch de plaats te bepalen en te meten. De Opsporing van de Stap is vooral nuttig in toepassingen waar de herhaalde metingen als steekproeven worden uitgevoerd.
Dit document verklaart hoe te om de automatische Opsporing van de Stap voor de snelle, herhaalbare metingen van de staphoogte te gebruiken.
De Geautomatiseerde Opsporing van de Stap
Het Meeste naaldprofilers vereisen een exploitant metingsposities en parameters voor individuele stap manueel een meting-tijdrovende verrichting met lage herhaalbaarheid plaatste.
De Opsporing van de Stap van DektakXT laat u plaatste automatisch het aftastengegevens van het parameters niveau, ontdekt veelvoudige stappen, en meet hun hoogten, zoals in Figuur 1. Deze parameters zorgen ervoor dat elke staphoogte correct ongeacht het begin en de eindpunten van het aftasten, en zonder interventie van de exploitant tussen aftasten wordt gemeten.
Figuur 1. Veelvoudige die stappen automatisch met de software van de Opsporing van de Stap worden gemeten. Vond de randen als groene punten worden getoond.
Hoe de Opsporing van de Stap Werkt
Het algoritme van de Opsporing van de Stap volgt deze stappen:
- Een meting wordt gemaakt.
- Het gegeven wordt gladgemaakt en gebaseerd op uw montages genivelleerd.
- Elke stap wordt ontdekt en gebaseerd op uw montages gemeten.
De de het Gladmaken, Posities van de Curseur en montages van de Beschrijving van de Stap beïnvloeden zeer het aantal stappen datvan het algoritme de plaats zal bepalen. De Zorgvuldige opstelling zal leiden tot de nauwkeurigste stapopsporing en de analytische berekeningen.
de Opsporing van de vestigingsStap
Figuur 2 toont een typisch aftasten over een oppervlaktestap ongeveer 1µm hoog door brede 700µm. De steekproef is ongeveer lichtjes overgeheld, met 60Å ruwheid op de hogere en lagere oppervlakten. De Opsporing van de Stap zal automatisch niveau en dergelijke gegevens gladmaken om de nauwkeurige metingen van de staphoogte te verkrijgen.
Figuur 2. Typisch ruw aftasten van een stap.
Om een stapmeting te maken, begin door een steekproefaftasten van de te meten eigenschap te nemen. Van dit aftasten kunt u de correcte aftastenlengte, de verticale die metingswaaier, de naaldkracht en het aantal gegevenspunten bepalen worden vereist om de gewenste horizontale resolutie te bereiken.
Kennend deze correcte waarden, tast de stap af.
Daarna, verkies Opsporing Analysis>Step om het de parametersscherm van de Opsporing van de Stap te openen. U kunt ook in de Summiere schermen van de Samenvatting of van het Aftasten van het Perceel met de rechtermuisknop aanklikken. Het Algemene lusje van Montages (Figuur 3) omvat parameters voor het algemene aftasten en voor gegevens het nivelleren. De de Elke Stap en Eerste lusjes van de Stap (Figuren 4 en 5) tonen parameters die geldige stappen bepalen en de te melden parameters bepalen.
Figuur 3. De Algemene montages van de Opsporing van de Stap. Automatische Nivellerende parameters per (Juiste) montages.
Figuur 4. De montages van Elke Stap.
Figuur 5. De Eerste montages van de Stap
Algemene Montages
- De Methode van de Opsporing. Voor de meeste toepassingen, wordt de Elke methode van de Stap gebruikt, om elke stap automatisch te ontdekken en te meten binnen de aftastenlengte. De Eerste methode van de Stap zal slechts de eerste ontmoete stap meten.
- De Waaier van de Opsporing bepaalt het gedeelte van het aftasten dat voor geldige stappen zal worden geanalyseerd. In Figuur 3, zullen slechts eerste 2000µm van het aftasten, waar de eigenschap van belang wordt gevestigd, worden geanalyseerd.
- Controleer het Automatische Nivelleren aan de gegevens van het niveauaftasten voorafgaand aan stapanalyse. De parameters van de Curseur van R en van M bepalen de positie van de curseurs met betrekking tot de eerste gevonden rand (niet noodzakelijk een stap), afstand van de rand, en breedte, vanaf Figuur 4. Deze curseurmontages zijn slechts voor het nivelleren, niet voor gegevensanalyse van toepassing. Typisch wordt de curseur van R geplaatst vóór de eerste rand, en de curseur van M volgt de rand.
- De Controle Laat de Opsporing van de Stap toe, dan Is de klik van toepassing om de huidige gegevensreeks te analyseren. Het scherm zal bijwerken om de stapanalyse voor de huidige gegevens te tonen.
- Controle Sparen Veranderingen in de Routine van het Aftasten om de Opsporing van de Stap, met de huidige montages uit te voeren, telkens als de huidige Routine van het Aftasten wordt gebruikt.
De Montages van Elke Stap
Klik het Elke lusje van de Stap om de volgende parameters te plaatsen:
- Het Gladmaken bepaalt de minimumhellingsverandering tussen aangrenzende gegevenspunten die als een „rand zullen worden beschouwd.“ Een kleinere Gladmakende waarde verhoogt gevoeligheid tot kleinere stappen; een groter lawaai van waardefilters om analyse tot verschillende, duidelijk omlijnde stappen te beperken.
- Min en Maximum Hoogten van de Stap het algoritme van de Opsporing van de Stap plaatst aan beide kanten curseurs van elke gevonden „rand,“ gebaseerd op de curseurmontages in de Analytische doos van Functies (hieronder). Als de AS tussen deze curseurs binnen deze Min en Maximum waarden valt, zal de rand als een geldige stap worden beschouwd.
- „+Steps“ en „- de Stappen“ laat u selecteren of de positieve stappen (boven de verwijzing) en/of negatieve stappen (onder de verwijzing) zullen worden geanalyseerd.
- De Analytische Functies bepalen welke analyseparameters voor elke geldige stap zullen worden gemeld. Controleer de doos elke analyse die zou moeten worden gemeld. Plaats de Afstand aan Stap voor de curseurs van R en van M, met betrekking tot de voorrand van de stap. Merk op dat elke analyse zijn eigen curseurplaatsen kan hebben. Voor de Gemiddelde berekeningen van de Hoogte (ASH) van de Stap, kunt u curseurBreedten ook plaatsen om te bepalen hoeveel aftastengegevens langs de bovenkant en de bodem van elke stap zullen worden het gemiddelde genomen van.
- De Controle Verwerkt Gemiddelde gegevens om het gemiddelde van elke geselecteerde parameter over alle geldige stappen te melden. Deze eigenschap is bijzonder nuttig om de diepten van v-Groeven of de hoogte builen in een serie, evenals voor traditionele staphoogten te kenmerken.
De Eerste Montages van de Stap
Bij gelegenheid kunt u één enkele stap willen analyseren gebruikend veelvoudige reeksen curseurposities. In dit geval zou u de Eerste methode van de Stap onder Algemene Montages, dan klik het Eerste lusje van de Stap controleren om deze parameters te plaatsen:
- Het Gladmaken bepaalt de minimumhellingsverandering tussen aangrenzende gegevenspunten die als een „rand zullen worden beschouwd.“ Een kleinere Gladmakende waarde verhoogt gevoeligheid tot kleinere stappen; een groter lawaai van waardefilters om analyse tot verschillende, duidelijk omlijnde stappen te beperken.
- De Beschrijving van de Stap bepaalt de verwachte hoogte en de breedte van een geldige stap, binnen de bepaalde Tolerantie.
- De Afstand aan Stap en de Bandbreedte plaatsen de plaats en de breedte van de analytische curseurs van R en van M, met betrekking tot de voorrand van de stap.
- „+Steps“ en „- de Stappen“ laat u hetzij positieve stappen (boven de verwijzing) selecteren of negatieve stappen (onder de verwijzing) zullen worden geanalyseerd.
- De Analytische Functies bepalen welke analyseparameters voor elke geldige stap zullen worden gemeld. Plaats de plaatsen van de curseurs van R en van M met betrekking tot de voorrand van de stap. Voor elke analyse kunt u tot tien reeksen curseurplaatsen en breedten bepalen om de stap bij variërende afstanden te analyseren.
- De Controle Verwerkt Gemiddelde gegevens om het gemiddelde van elke geselecteerde parameter over alle reeksen curseurs te melden.
Zodra u alle parameters bent ingegaan, de klik of O.K. Is om de gemeten parameters voor elke geldige stap van toepassing (Figuur 6) te tonen.
Figuur 6. Het profiel van het Aftasten na stapopsporing. De gele lijn toont de gegevens na het gladmaken.
Figuur 6 toont de gegevens van Figuur 2 na de analyse van de Opsporing van de Stap. Het aftastenprofiel is genivelleerd, is de stap ontdekt, en de gemiddelde staphoogte is (ASH) berekend.
De Geautomatiseerde stapmeting is een waardevol hulpmiddel om de hoogte of de diepte van enige en veelvoudige stappen over een wafeltje of een substraat te bepalen. De capaciteit aan de metingsopeenvolgingen van de programmastap vermindert zeer metingstijd evenals exploitant-aan-exploitant veranderlijkheid. Slechts DektakXT bieden naaldprofilers dit unieke vermogen voor de snelle, nauwkeurige beoordeling van de staphoogte aan.
Deze informatie is afkomstig geweest, herzien en die van materialen door Bruker AXS aangepast worden verstrekt.
Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve Bruker AXS.