Perfiladores da Superfície de DektakXT - Característica Automática da Detecção da Etapa para Perfiladores da Superfície de DektakXT de Bruker

A Maioria de perfiladores do estilete exigem um operador ajustar manualmente posições e parâmetros da medida para operação demorada das medidas-um individuais da etapa com a baixa repetibilidade.

O algoritmo da Detecção da Etapa segue estas etapas:

1. Uma medida é feita.
2. Os dados são alisados e nivelados baseado em seus ajustes.
3. Cada etapa é detectada e medida baseado em seus ajustes.

O Alisamento, as Posições do Cursor e os ajustes da Descrição da Etapa afectam extremamente o número de etapas que o algoritmo ficará. A instalação Cuidadosa conduzirá à detecção a mais exacta da etapa e aos cálculos analíticos.

Figura 2 mostra uma varredura típica através de etapa de superfície aproximadamente 1µm alto por 700µm largos. A amostra é inclinada ligeira, com aspereza aproximadamente 60Å nos intradorsos superiores e. A Detecção da Etapa automaticamente nivelará e alisará tais dados para obter medidas exactas da altura da etapa.

Figura 2. varredura crua Típica de uma etapa.

Para fazer uma medida da etapa, comece tomando uma varredura da amostra das características a ser medidas. Desta varredura você pode determinar o comprimento correcto da varredura, a escala vertical da medida, a força de estilete e o número de pontos de dados exigidos para conseguir a definição horizontal desejada.

Conhecendo estes valores correctos, faça a varredura das etapas.

Em Seguida, escolha a Detecção de Analysis>Step abrir a tela dos parâmetros da Detecção da Etapa. Você pode igualmente endireitar - clique nas telas do Sumário do Lote ou do Sumário da Varredura. A aba Geral dos Ajustes (Figura 3) inclui parâmetros para a varredura total e para o nivelamento dos dados. De Primeira Etapa as abas de Cada Etapa e (Figuras 4 e 5) mostram os parâmetros que definem etapas válidas e determinam os parâmetros relatar.

Figura 3. ajustes do General da Detecção da Etapa. Parâmetros de Nivelamento Automático pelos ajustes (Direitos).

Figura 4. Ajustes de Cada Etapa.

Figura 5. Ajustes da Primeira Etapa

1. Método de Detecção. Para a maioria de aplicações, Cada método da Etapa é usado, para detectar e medir automaticamente cada etapa dentro do comprimento da varredura. O método da Primeira Etapa medirá somente a primeira etapa encontrada.
2. A Escala da Detecção determina a parcela da varredura que será analisada para etapas válidas. Em Figura 3, a somente o primeiros 2000µm da varredura, onde a característica do interesse é encontrada, será analisado.
3. Verifique o Nivelamento Automático para nivelar dados da varredura antes da análise da etapa. Os parâmetros do Cursor de R e de M definem a posição dos cursores relativo à primeira borda encontrada (não necessariamente uma etapa), à distância da borda, e à largura, conforme Figura 4. Estes ajustes do cursor aplicam-se somente nivelando, não para a análise de dados. O cursor de R é colocado Tipicamente antes da primeira borda, e o cursor de M segue a borda.
4. A Verificação Permite a Detecção da Etapa, a seguir clica-a Aplica-se para analisar a série de dados actual. A tela actualizará para mostrar a análise da etapa para os dados actuais.
5. A Salvaguarda da Verificação Muda à Rotina da Varredura para executar a Detecção da Etapa, com os ajustes actuais, a Rotina actual da Varredura é usada cada vez.

Clique Cada aba da Etapa para ajustar os seguintes parâmetros:

1. Alisar determina a mudança mínima da inclinação entre os pontos de dados adjacentes que serão considerados uma “borda.” Um valor de Alisamento menor aumenta a sensibilidade às etapas menores; um valor maior filtra o ruído à análise de limite às etapas distintas, bem definidas.
2. As Alturas Mínimas e Máximas da Etapa O algoritmo da Detecção da Etapa colocam cursores em ambos os lados de cada um “borda encontrada,” baseado nos ajustes do cursor na caixa das Funções Analíticas (abaixo). Se a CINZA entre estes cursores cai dentro destes valores Mínimos e Máximos, a borda estará considerada uma etapa válida.
3. “+Steps” e “- as Etapas” deixam-no seleccionar se etapas positivas (acima da referência) e/ou as etapas negativas (abaixo da referência) serão analisadas.
4. As Funções Analíticas definem que os parâmetros da análise serão relatados para cada etapa válida. Verifique a caixa para ver se há cada análise que deve ser relatada. Ajuste a Distância à Etapa para os cursores de R e de M, relativo à vanguarda da etapa. Note que cada análise pode ter seus próprios lugar de cursor. Para os cálculos Médios da Altura (ASH) da Etapa, você pode igualmente ajustar Larguras do cursor para determinar quanto dados da varredura serão calculados a média ao longo da parte superior e da parte inferior de cada etapa.
5. Verifique a Média do Cálculo para relatar a média de cada parâmetro selecionado sobre todas as etapas válidas. Esta característica é particularmente útil para caracterizar as profundidades dos V-Sulcos ou a altura das colisões em uma disposição, assim como para alturas tradicionais da etapa.

Ocasionalmente você pode querer analisar uma única etapa usando grupos múltiplos de posições do cursor. Neste caso você verificaria o método da Primeira Etapa sob Ajustes Gerais, a seguir clica a aba da Primeira Etapa para ajustar estes parâmetros:

1. Alisar determina a mudança mínima da inclinação entre os pontos de dados adjacentes que serão considerados uma “borda.” Um valor de Alisamento menor aumenta a sensibilidade às etapas menores; um valor maior filtra o ruído à análise de limite às etapas distintas, bem definidas.
2. A Descrição da Etapa define a altura e a largura previstas de uma etapa válida, dentro da Tolerância dada.
3. A Distância à Etapa e à Largura De Faixa ajustou o lugar e a largura dos cursores analíticos de R e de M, relativo à vanguarda da etapa.
4. “+Steps” e “- as Etapas” deixam-no seleccionar se etapas positivas (acima da referência) ou as etapas negativas (abaixo da referência) serão analisadas.
5. As Funções Analíticas definem que os parâmetros da análise serão relatados para cada etapa válida. Ajuste os lugar dos cursores de R e de M relativo à vanguarda da etapa. Para cada análise você pode definir até dez grupos de lugar e de larguras de cursor para analisar a etapa em distâncias de variação.
6. Verifique a Média do Cálculo para relatar a média de cada parâmetro selecionado através de todos os grupos de cursores.

Uma Vez Que você incorporou todos os parâmetros, o clique Aplica-se ou APROVA-SE para indicar os parâmetros medidos para cada etapa válida (Figura 6).

Figura 6. perfil da Varredura após a detecção da etapa. A linha amarela mostra os dados após o alisamento.

Figura 6 mostra os dados de Figura 2 após a análise da Detecção da Etapa. O perfil da varredura foi nivelado, a etapa foi detectada, e a altura média da etapa (ASH) foi calculada.