Profilers Поверхности DektakXT - Автоматическая Характеристика Обнаружения Шага для Profilers Поверхности DektakXT от Bruker

Большинств profilers грифеля требуют, что оператор вручную устанавливает положения и параметры измерения для деятельности индивидуальных измерений- шага требующий много времени с низкой повторимостью.

Алгоритм Обнаружения Шага следовать этими шагами:

1. Измерение сделано.
2. Приглажены и выровняны данные основано на ваших установках.
3. Обнаружен и измерен Каждый шаг основано на ваших установках.

Приглаживать, Положения Стрелки и установки Описания Шага значительно влияют на число шагов которые алгоритм устроит. Тщательное настроение ведет к самым точным обнаружению и аналитическому методу расчета шага.

На Диаграмму 2 показано типичную развертку через поверхностный шаг приблизительно 1µm высокое 700µm широким. Образец немножко опрокинут, с шершавостью приблизительно 60Å на верхних и нижних поверхностях. Обнаружение Шага автоматически выровняет и пригладит такие данные для того чтобы получить точные измерения высоты шага.

Диаграмма 2. Типичная сырцовая развертка шага.

Сделать измерение шага, начните путем принимать развертку образца характеристик, котор нужно измерить. От этой развертки вы можете определить правильную длину развертки, вертикальный ряд измерения, усилие грифеля и число частных значений требуемые, что достигли пожеланного горизонтального разрешения.

Знающ эти правильные значения, просмотрите шаги.

Затем, выберите Обнаружение Analysis>Step для того чтобы раскрыть экран параметров Обнаружения Шага. Вы можете также выполнить правый клик в экранах Сводки Графика или Сводки Развертки. Общая плата Установок (Диаграмма 3) включает параметры для общей развертки и для выравнивать данных. Платы Каждого Шага и Первого Шага (Диаграммы 4 и 5) параметры выставки которые определяют действительные шаги и определяют параметры для того чтобы сообщить.

Диаграмма 3. установки Дженерала Обнаружения Шага. Автоматические Выравнивая параметры в установки (Правые).

Диаграмма 4. Установки Каждого Шага.

Диаграмма 5. Установки Первого Шага

1. Метод Обнаружения. Для большинств применений, Каждый метод Шага использован, автоматически для того чтобы обнаружить и измерить каждый шаг в пределах длины развертки. Метод Первого Шага измерит только столкнутый первый шаг.
2. Ряд Обнаружения определяет часть развертки которая будет проанализирована для действительных шагов. В Диаграмме 3, будут проанализированы только первые 2000µm из развертки, где характеристика интереса обнаружена местонахождение.
3. Проверите Автоматический Выравнивать для того чтобы выровнять данные по развертки до анализа шага. Параметры Стрелки R и M определяют положение стрелок по отношению к первому найденному краю (не обязательно шагу), расстоянию от края, и ширине, согласно Диаграмме 4. Эти установки стрелки применяются только для выравнивать, не для анализа данных. Типично стрелка R помещена перед первым краем, и стрелка M следовать краем.
4. Проверка Включает Обнаружение Шага, тогда щелкает Применяется для того чтобы проанализировать настоящий набор данных. Экран уточнит для того чтобы показать анализ шага для настоящих данных.
5. Спасение Проверки Изменяет к Режиму Развертки для того чтобы выполнить Обнаружение Шага, с настоящими установками, each time настоящий Режим Развертки использовано.

Щелкните Каждую плату Шага для того чтобы установить следующие параметры:

1. Приглаживать определяет минимальное изменение наклона между смежными частными значениями которые будут учтены «краем.» Более малое Приглаживая значение увеличивает чувствительность к более малым шагам; более большое значение фильтрует шум к анализу предела к определенным, welldefined шагам.
2. Минимальные и Максимальные Высоты Шага Алгоритм Обнаружения Шага устанавливают стрелки с обеих сторон каждого найденный «край,» основано на установках стрелки в коробке Аналитически Функций (ниже). Если ЗОЛА между этими стрелками падает в пределах этих Минимальных и Максимальных значений, то край будет рассмотрен действительный шаг.
3. «+Steps» и «- Шаги» препятствуют вам выбрать ли положительные шаги (над справкой) и/или отрицательные шаги (под справкой) будут проанализированы.
4. Аналитически Функции определяют которые параметрам анализа сообщат для каждого действительного шага. Проверите коробку для каждого анализа который должен быть сообщен. Установите Расстояние к Шагу для стрелок R и M, по отношению к ведущей кромке шага. Заметьте что каждый анализ может иметь свои собственные местоположения курсора. Для Средних вычислений Высоты (ASH) Шага, вы можете также установить Ширины стрелки для того чтобы определить насколько данных по развертки будут усреднены вдоль верхней части и дна каждого шага.
5. Проверите Средний Compute для того чтобы сообщить средний каждого выбранного параметра над всеми действительными шагами. Эта характеристика в частности полезна для характеризовать глубины V-Пазов или высоту рему в блоке, так же, как для традиционных высот шага.

Иногда вы можете хотеть проанализировать один шаг используя множественные комплекты положений стрелки. В этот случай вы проверили бы метод Первого Шага под Общими Установками, тогда щелкаете плату Первого Шага для того чтобы установить эти параметры:

1. Приглаживать определяет минимальное изменение наклона между смежными частными значениями которые будут учтены «краем.» Более малое Приглаживая значение увеличивает чувствительность к более малым шагам; более большое значение фильтрует шум к анализу предела к определенным, чёткий шагам.
2. Описание Шага определяет предпологаемые высоту и ширину действительного шага, в пределах, котор дали Допуска.
3. Расстояние к Шагу и Ширине Связи установило расположение и ширину аналитически стрелок R и M, по отношению к ведущей кромке шага.
4. «+Steps» и «- Шаги» препятствуют вам выбрать ли положительные шаги (над справкой) или отрицательные шаги (под справкой) будут проанализированы.
5. Аналитически Функции определяют которые параметрам анализа сообщат для каждого действительного шага. Установите положения стрелок R и M по отношению к ведущей кромке шага. Для каждого анализа вы можете определить до 10 комплектов местоположений курсора и ширин для того чтобы проанализировать шаг на меняя расстояниях.
6. Проверите Средний Compute для того чтобы сообщить средний каждого выбранного параметра через все комплекты стрелок.

Как Только вы вписывали все параметры, щелчок Применяется или OK для показа измеренных параметров для каждого действительного шага (Диаграммы 6).

Диаграмма 6. профиль Развертки после обнаружения шага. Желтая линия показывает данные после приглаживать.

На Диаграмму 6 показано данные от Диаграммы 2 после анализа Обнаружения Шага. Профиль развертки был выровнян, шаг был обнаружен, и была высчитана средняя высота (ASH) шага.