:: AZoNanotechnology Artikel
Täckte Ämnen
Inledning
Automatiserat Kliva Upptäckt
Hur Kliva UpptäcktsArbeten,
inställning - Kliva upp Upptäckt
Allmänna Inställningar
Varje Kliva Inställningar
Första stegInställningar
Inledning
DektakXT nålprofilers ger exakt kliver höjdmätningar från flera nanometers till och med hundratals mikroner, med repeatability besegrar till 7,5 Angstroms. Ett unikt Kliver Upptäcktssärdrag är inklusive med all DektakXT ytbehandlar nu profilers automatiskt för att lokalisera, och att mäta singel eller multipel kliva höjder. Kliva Upptäckt är speciellt användbart i applikationer var upprepande mätningar utförs på något liknande tar prov.
Detta dokument förklarar hur man använder automatiskt Kliver Upptäckt för fastar, repeatable kliver höjdmätningar.
Automatiserat Kliva Upptäckt
Mest nålprofilers kräver en operatör till den manuellt fastställda mätningen placerar, och parametrar för individ kliver tidskrävande funktion för mätningar-en med låg repeatability.
DektakXT Kliver Upptäckt låter dig fastställda parametrar automatiskt jämna bildläsningsdata, att avkänna multipel kliver och mäter deras höjder, som Figurerar in 1. Dessa parametrar ser till att varje kliver höjd mätas korrekt utan hänsyn till starten och avslutar pekar av bildläsningen och utan ingripande från operatören mellan bildläsningar.

Figurera 1. Multipeln kliver automatiskt mätt med Kliver Upptäcktsprogramvara. Funnit kantar visas, som gräsplan pricker.
Hur Kliva UpptäcktsArbeten,
KlivaUpptäcktsalgoritmen följer dessa kliver:
- En mätning göras.
- Datan slätas och jämnt baserat på dina inställningar.
- Varje kliver avkänns och mätt baserat på dina inställningar.
Släta, Markör Placerar och Kliver Beskrivningsinställningar påverkar väldeliga numrera av kliver att den ska algoritmen lokaliserar. Försiktigt ställa in ska bly- till det exaktast kliver upptäckt och analytiska beräkningar.
inställning - Kliva upp Upptäckt
Figurera 2 shows som en typisk bildläsning över en ytbehandla kliver ungefärligt 1µm kick vid breda 700µm. Ta prov vippas på litet, med roughness ungefärligt 60Å på det övre och ytbehandlar lower. Kliva Upptäckt ska automatiskt jämnt och släta sådan data för att erhålla exakt kliver höjdmätningar.

Figurera 2. Typisk rå bildläsning av en kliva.
Att att göra en klivamätning start, genom att ta en ta provbildläsning av funktionerna som ska mätas. Från denna bildläsning kan du bestämma den korrekta bildläsningslängden, spänner lodlinjemätningen, nålstyrka, och numrera av data pekar krävt för att uppnå den önskade horisontalupplösningen.
Veta dessa korrekta värderar, avläser momenten.
Välj Analysis>Step Upptäckt för att öppna KlivaUpptäcktsparametrarna avskärmer, Därefter. Du kan också rätt - att klicka i den Summariska Täppan eller den Summariska Bildläsningen avskärmer. Den Allmänna Inställningsfliken (Figurera 3), inkluderar parametrar för den total- bildläsningen och för datautjämning. Varje Kliver, och Första stegflikar (Figurerar 4 och 5), visar att parametrar som definierar giltigt, kliver och bestämmer parametrarna för att anmäla.

Figurera 3. Kliva UpptäcktsGeneralinställningar. Parametrar för Automatisk Utjämning per inställningar (Rätt).

Figurera 4. Varje Kliva inställningar.

Figurera 5. Första steginställningar
Allmänna Inställningar
- UpptäcktsMetod. För mest applikationer Kliver Varje metod används, automatiskt för att avkänna, och att mäta varje kliva inom bildläsningslängden. Den ska Första stegmetoden mäter endast den mötta första steg.
- Upptäckt Spänner bestämmer portion av bildläsningen som ska analyseras för giltigt kliver. I Figurera 3, de endast första 2000µmna av bildläsningen, var särdrag av intresserar lokaliseras, ska analyseras.
- Kontrollera Automatisk Utjämning för att jämna bildläsningsdata före kliver analys. R- och M-Markörparametrarna definierar markörerna placerar släkting till som finnas först, kantar (inte nödvändigtvis en kliva), distanserar från kanta och bredd, som per Figurera 4. Dessa markörinställningar applicerar endast för utjämning, inte för dataanalys. Typisk förläggas R-markören, för första kantar, och M-markören följer kanta.
- Kontrollen Möjliggör Kliver Upptäckt, då klickar Applicerar för att analysera strömdatamängden. Avskärma ska uppdateringen för att visa klivaanalysen för strömdatan.
- KontrollRäddningÄndringar som ska Avläsas Rutinmässigt för att utföra, Kliver Upptäckt, med ströminställningarna, varje gång den Rutinmässiga strömBildläsningen används.
Varje Kliva Inställningar
Klicka Varje Kliver fliken till uppsättningen efter parametrarna:
- att Släta bestämmer minimien sluttar ändring mellan närgränsande data pekar att ska var ansedd ”kantar.”, Mindre Släta värderar förhöjningar som känsligheten till mindre kliver; ett större värderar filtrerar stojar för att begränsa analys till distinkt, welldefined kliver.
- Minimum och Max Kliva Höjder som KlivaUpptäcktsalgoritmen förlägger markörer på antingen sida av funnit varje ”kantar,” baserat på markörinbrotten Analytiska Functions boxas (nedanfört). Om ASKAEN mellan dessa markörnedgångar inom dessa Minuten och Max värderar, ska kanta är ansedd ett giltigt kliver.
- ”+Steps” och ”- Kliver” låter dig välja huruvida realitet kliver (ovanför hänvisa till), och/eller negationen kliver (nedanfört hänvisa till) ska analyseras.
- Analytiska Functions definierar som analysparametrar ska anmälas för varje som var giltigt, kliver. Kontrollera boxas för varje analys som bör anmälas. Uppsättning Distansera som ska Klivas för R- och M-markörerna, släkting till framkanten av kliva. Notera att varje analys kan ha dess egna markörlägen. För Genomsnitt Kliva Höjd (ASH)beräkningar, kan du också fastställda markörBredder bestämma, hur mycket bildläsningsdata ska i genomsnitt uppgå till längs det bästa, och nedersta av varje kliva.
- KontrollComputeGenomsnittet som anmäler genomsnittet av varje utvald parameter över all giltigt, kliver. Detta särdrag är bestämt användbart för att karakterisera djupen av V-Räfflar eller höjden av bulor i en samling såväl som för traditionellt kliver höjder.
Första stegInställningar
På orsaka dig kan önska att analysera en singel kliver genom att använda multipeluppsättningar av markören placerar. I detta fall skulle klickar du kontrollen Första stegmetoden under Allmänna Inställningar, då Första stegfliken till uppsättningen dessa parametrar:
- att Släta bestämmer minimien sluttar ändring mellan närgränsande data pekar att ska var ansedd ”kantar.”, Mindre Släta värderar förhöjningar som känsligheten till mindre kliver; ett större värderar filtrerar stojar för att begränsa analys till distinkt, brunn-definierat kliver.
- Kliva Beskrivningen definierar den förväntade höjden, och bredden av ett giltigt kliver, inom den givna Toleransen.
- Distansera för att Kliva och Bandbredduppsättningen läget och bredden av de analytiska R- och M-markörerna, släkting till framkanten av kliva.
- ”+Steps” och ”- Kliver” låter dig välja huruvida realitet kliver (ovanför hänvisa till), eller negationen kliver (nedanfört hänvisa till) ska analyseras.
- Analytiska Functions definierar som analysparametrar ska anmälas för varje som var giltigt, kliver. Uppsättning lägena släkting av för R- och M-markörerna till framkanten av kliva. För varje analys kan du definiera upp till tio uppsättningar av markörlägen, och bredder som analyserar kliva på varierande, distanserar.
- KontrollComputeGenomsnitt som anmäler genomsnittet av varje utvald parameter över alla uppsättningar av markörer.
Klicka Applicerar, När du har skrivit in alla av parametrar, eller REKO att visa de mätte parametrarna för varje som är giltigt, kliva (Figurera 6).

Figurera 6. Bildläsningen profilerar efter kliver upptäckt. Gulingen fodrar shows datan, når den har slätat.
Figurera 6 shows som datan från Figurerar 2 efter Kliver Upptäcktsanalys. Bildläsningen profilerar har blivit utjämnind, har kliva avkänts, och genomsnittet kliver höjd (ASH) har beräknats.
Automatiserat kliva mätningen är en värdesak bearbetar för att bestämma höjden, eller djup av singeln och multipeln kliver över ett rån eller en substrate. Kapaciteten att programmera kliver mätning ordnar förminskar väldeliga mätningstid såväl som operatör-till-operatören variability. Endast erbjuder DektakXT nålprofilers denna unika kapacitet för for som är exakt kliver höjdbedömning.

Denna information har varit sourced, granskad och anpassad från material förutsatt att av Bruker AXS.
För mer information på denna källa behaga besök Bruker AXS.