DektakXT 表面仿形铣床 - DektakXT 表面仿形铣床的自动步骤检测功能从 Bruker

: : AZoNanotechnology 条款

包括的事宜

简介
自动化的步骤检测
步骤检测如何运作
安装步骤检测
通用设置
每个步骤设置
第一步设置

简介

DektakXT 铁笔仿形铣床通过数百微米提供从几毫微米的准确步骤高度评定,下来反复性给 7.5 埃。 一个唯一步骤检测功能现在包括有所有 DektakXT 表面仿形铣床自动地找出和评定唯一或多个步骤高度。 步骤检测是特别有用的在重复性评定进行象范例的应用。

本文解释如何为快速,可重复的步骤高度评定使用自动步骤检测。

自动化的步骤检测

多数铁笔仿形铣床要求一个运算符手动地设置评定位置和参数的各自的步骤评定费时的运算与低反复性。

DektakXT 步骤检测让您设置参数自动地成水平扫描数据,检测多个步骤和评定他们的高度,在表 1。 这些参数保证不管扫描的启动和末端点,每个步骤高度正确地被评定,和,不用从运算符的干预在扫描之间。

图 1. 多个步骤自动地评定与步骤检测软件。 被找到的边缘显示作为绿色小点。

步骤检测如何运作

步骤检测算法跟随这些步骤:

  1. 评定做。
  2. 使光滑这个数据并且成水平基于您的设置。
  3. 检测每个步骤并且被评定基于您的设置。

使光滑,游标位置和步骤说明设置非常地影响这个算法将设置步骤的数量。 仔细设置将导致最准确的步骤检测和分析计算。

安装步骤检测

图 2 显示在一表面大约第1µm步间的典型的扫描高 700µm 宽。 这个范例轻微掀动,与近似 60Å 在上面和较低表面的坎坷。 步骤检测将自动地成水平并且使这样数据光滑得到准确步骤高度评定。

图 2. 典型的原始的扫描步骤。

要做步骤评定,请通过采取将被评定的功能的范例扫描开始。 从此扫描您能确定正确的扫描长度、垂直的评定范围、唱针力和数据点的数量要求的达到期望水平分辨。

认识这些正确的值,请浏览步骤。

其次,请选择 Analysis>Step 检测开张步骤检测参数屏幕。 您在剧情汇总或扫描汇总屏幕能也用鼠标右键单击。 通用设置选项 (图 3) 包括参数的整体扫描和的数据成水平。 每个步骤和第一步选项 (定义了有效的步骤并且确定参数报告的图 4 和 5) 显示参数。

图 3. 步骤检测将军设置。 每设置的自动调平参数 (正确)。

图 4。 每个步骤设置。

图 5。 第一步设置

通用设置

  1. 探知方法。 对于多数应用,每个步骤方法用于,自动地检测和评定在扫描长度内的每个步骤。 第一步方法将评定遇到的仅第一步。
  2. 检测范围确定对于有效的步骤将分析扫描的部分。 在表 3,找出功能利益,将分析仅第一 2000µm 扫描。
  3. 检查自动调平在步骤分析之前成水平扫描数据。 R 和 M 游标参数定义了游标的位置相对第一个被找到的从边缘的边缘 (不一定步骤),距离和宽度,根据图 4。 这些游标设置仅申请成水平,不数据分析。 典型地 R 游标在第一个边缘前被安置,并且 M 游标按照这个边缘。
  4. 检查启用步骤检测,然后点击适用分析当前数据集。 屏幕将更新显示当前数据的步骤分析。
  5. 检查保存变成扫描程序进行步骤检测,与当前设置,当前扫描程序每次使用。

每个步骤设置

点击每个步骤选项设置下列参数:

  1. 使光滑确定在将被认为 “边缘的相邻数据点之间的最小的倾斜更改”。 一个更小的使光滑的值增加区分对更小的步骤; 大价值过滤噪声对极限分析对明显,明确定义的步骤。
  2. 最小和最大步骤高度步骤检测算法安置游标在其中每一的每一边被找到的 “边缘”,基于游标设置在分析功能配件箱 (见下)。 如果在这些游标之间的灰属于这些最小和最大值,这个边缘将考虑一个有效的步骤。
  3. “+Steps”和 “- 步骤”让您选择是否正步骤 (在参考上) 并且/或者 (在参考下) 将分析负步骤。
  4. 分析参数为每个有效的步骤将报告的分析功能定义了。 检查配件箱应该报告的每个分析。 设置距离到 R 和 M 游标的步骤,相对这个步骤的前沿。 注意每个分析可能有其自己的鼠标位置。 对于平均步骤高度 (ASH)计算,您能也设置游标宽度确定多少扫描数据沿每个步骤顶层和底层将平均为。
  5. 检查估计平均数报告平均数在所有有效的步骤的每个所选的参数。 此功能是特别有用的为分析 V 凹线的深度或高度爆沸在列阵,以及为传统步骤高度。

第一步设置

使用多个套游标位置,有时您可以要分析单步。 在这种情况下您会检查第一步方法在通用设置下,然后点击第一步选项设置这些参数:

  1. 使光滑确定在将被认为 “边缘的相邻数据点之间的最小的倾斜更改”。 一个更小的使光滑的值增加区分对更小的步骤; 大价值过滤噪声对极限分析对明显,明确定义的步骤。
  2. 步骤说明定义了一个有效的步骤的期望的高度和宽度,在特定容差内。
  3. 距离到步骤和带宽设置了分析 R 和 M 游标的地点和宽度,相对这个步骤的前沿。
  4. “+Steps”和 “- 步骤”让您选择是否正步骤 (在参考上) 或 (在参考下) 将分析负步骤。
  5. 分析参数为每个有效的步骤将报告的分析功能定义了。 设置 R 和 M 游标的地点相对这个步骤的前沿。 对于每个分析您能定义十套鼠标位置和宽度分析这个步骤在变化的距离。
  6. 检查估计平均数报告平均数在所有套的每个所选的参数游标间。

一旦您输入了所有参数,单击适用或好显示每个有效的步骤 (图 6) 的被评定的参数。

图 6. 在步骤检测以后的扫描配置文件。 黄线在使光滑以后显示数据。

图 6 在步骤检测分析以后显示从图 2 的数据。 扫描配置文件成了水平,检测了这个步骤,并且平均步骤高度 (ASH)被计算了。

自动化的步骤评定是为确定唯一和多个步骤的高度或深度的一个重要的工具在薄酥饼或基体间的。 对活动步骤评定顺序的能力非常地减少评定时间以及运算符对运算符可变性。 DektakXT铁笔仿形铣床提供迅速,准确步骤高度鉴定的此唯一功能。

此信息是来源,复核和适应从 Bruker 提供的材料 AXS。

关于此来源的更多信息请参观 Bruker AXS

Date Added: Jun 22, 2009 | Updated: Jul 19, 2012

Last Update: 19. July 2012 01:50

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit