DektakXT 表面仿形銑床 - DektakXT 表面仿形銑床的自動步驟檢測功能從 Bruker

包括的事宜

DektakXT 鐵筆仿形銑床通過數百微米提供從幾毫微米的準確步驟高度評定，下來反覆性給 7.5 埃。一個唯一步驟檢測功能現在包括有所有 DektakXT 表面仿形銑床自動地找出和評定唯一或多個步驟高度。步驟檢測是特別有用的在重複性評定進行像範例的應用。

本文解釋如何為快速，可重複的步驟高度評定使用自動步驟檢測。

多數鐵筆仿形銑床要求一個運算符手動地設置評定位置和參數的各自的步驟評定費時的運算與低反覆性。

DektakXT 步驟檢測讓您設置參數自動地成水平掃描數據，檢測多個步驟和評定他們的高度，在表 1。這些參數保證不管掃描的啟動和末端點，每個步驟高度正確地被評定，和，不用從運算符的干預在掃描之間。

圖 1. 多個步驟自動地評定與步驟檢測軟件。被找到的邊緣顯示作為綠色小點。

步驟檢測算法跟隨這些步驟：

使光滑，游標位置和步驟說明設置非常地影響這個算法將設置步驟的數量。仔細設置將導致最準確的步驟檢測和分析計算。

圖 2 顯示在一表面大約第1µm步間的典型的掃描高 700µm 寬。這個範例輕微掀動，與近似 60Å 在上面和較低表面的坎坷。步驟檢測將自動地成水平并且使這樣數據光滑得到準確步驟高度評定。

圖 2. 典型的原始的掃描步驟。

要做步驟評定，请通過採取將被評定的功能的範例掃描開始。從此掃描您能確定正確的掃描長度、垂直的評定範圍、唱針力和數據點的數量要求的達到期望水平分辨。

認識這些正確的值，请瀏覽步驟。

其次，请選擇 Analysis>Step 檢測開張步驟檢測參數屏幕。您在劇情彙總或掃描彙總屏幕能也用鼠標右鍵單擊。通用設置選項 (圖 3) 包括參數的整體掃描和的數據成水平。每個步驟和第一步選項 (定義了有效的步驟并且確定參數報告的圖 4 和 5) 顯示參數。

圖 3. 步驟檢測將軍設置。每設置的自動調平參數 (正確)。

圖 4。 每個步驟設置。

圖 5。 第一步設置

探知方法。對於多數應用，每個步驟方法用於，自動地檢測和評定在掃描長度內的每個步驟。第一步方法將評定遇到的仅第一步。
檢測範圍確定對於有效的步驟將分析掃描的部分。在表 3，找出功能利益，將分析仅第一 2000µm 掃描。
檢查自動調平在步驟分析之前成水平掃描數據。 R 和 M 游標參數定義了游標的位置相對第一個被找到的從邊緣的邊緣 (不一定步驟)，距離和寬度，根據圖 4。這些游標設置仅申請成水平，不數據分析。典型地 R 游標在第一個邊緣前被安置，并且 M 游標按照這個邊緣。
檢查啟用步驟檢測，然後點擊適用分析當前數據集。屏幕將更新顯示當前數據的步驟分析。
檢查保存變成掃描程序進行步驟檢測，與當前設置，當前掃描程序每次使用。

點擊每個步驟選項設置下列參數：

使光滑確定在將被認為「邊緣的相鄰數據點之間的最小的傾斜更改」。一個更小的使光滑的值增加區分對更小的步驟; 大價值過濾噪聲對極限分析對明顯，明確定義的步驟。
最小和最大步驟高度步驟檢測算法安置游標在其中每一的每一邊被找到的「邊緣」，基於游標設置在分析功能配件箱 (見下)。如果在這些游標之間的灰屬於這些最小和最大值，這個邊緣將考慮一個有效的步驟。
「+Steps」和「- 步驟」讓您選擇是否正步驟 (在參考上) 並且/或者 (在參考下) 將分析負步驟。
分析參數為每個有效的步驟將報告的分析功能定義了。檢查配件箱應該報告的每個分析。設置距離到 R 和 M 游標的步驟，相對這個步驟的前沿。注意每個分析可能有其自己的鼠標位置。對於平均步驟高度 (ASH)計算，您能也設置游標寬度確定多少掃描數據沿每個步驟頂層和底層將平均為。
檢查估計平均數報告平均數在所有有效的步驟的每個所選的參數。此功能是特別有用的為分析 V 凹線的深度或高度爆沸在列陣，以及為傳統步驟高度。

使用多個套游標位置，有時您可以要分析單步。在這種情況下您會檢查第一步方法在通用設置下，然後點擊第一步選項設置這些參數：

使光滑確定在將被認為「邊緣的相鄰數據點之間的最小的傾斜更改」。一個更小的使光滑的值增加區分對更小的步驟; 大價值過濾噪聲對極限分析對明顯，明確定義的步驟。
步驟說明定義了一個有效的步驟的期望的高度和寬度，在特定容差內。
距離到步驟和帶寬設置了分析 R 和 M 游標的地點和寬度，相對這個步驟的前沿。
「+Steps」和「- 步驟」讓您選擇是否正步驟 (在參考上) 或 (在參考下) 將分析負步驟。
分析參數為每個有效的步驟將報告的分析功能定義了。設置 R 和 M 游標的地點相對這個步驟的前沿。對於每個分析您能定義十套鼠標位置和寬度分析這個步驟在變化的距離。
檢查估計平均數報告平均數在所有套的每個所選的參數游標間。

一旦您輸入了所有參數，單擊適用或好顯示每個有效的步驟 (圖 6) 的被評定的參數。