Elektrostatische Kraft-Mikroskopie (EFM) - Abbilden von Elektrischen Eigenschaften von Proben mit dem XE-Serien AtomKraft-Mikroskop von den Park-Anlagen

Themen Umfaßt

Über Park-Anlagen
Darstellung der Elektrostatischen Kraft
Prinzip von EFM
Standard-EFM

Über Park-Anlagen

Park Anlagen ist der AtomKraft-Mikroskop (AFM)technologieführer und stellt Produkte zur Verfügung, die die Anforderungen aller Forschung und industriellen nanoscale Anwendungen ansprechen. Mit einer eindeutigen Scanner-Auslegung, die die Wahre Berührungsfreie Darstellung in den Flüssigkeits- und Luftumgebungen zulässt, sind alle Anlagen völlig - mit einer langatmigen Liste von innovativen und starken Optionen kompatibel. Alle Anlagen sind konstruierter Einfach-vongebrauch, Genauigkeit und Haltbarkeit im Verstand und versehen Ihre Abnehmer mit den entscheidenden Betriebsmitteln für meetiong aller gegenwärtige und Bedarf.

Die längste Geschichte in der FLUGHANDBUCH-Industrie Rühmend, wird der umfassende Effektenbestand der Park-Anlagen von Produkten, die Software, die Dienstleistungen und die Sachkenntnis nur durch unsere Verpflichtung an unsere Abnehmer angepasst.

Darstellung der Elektrostatischen Kraft

Elektrostatische Kraft-Mikroskopie (EFM) der XE-Serien bildet elektrische Eigenschaften auf einer Beispieloberfläche ab, indem sie die elektrostatische Kraft zwischen der Oberfläche und einem voreingenommenen FLUGHANDBUCH-Kragbalken misst. EFM wendet eine Spannung zwischen der Spitze und der Probe, während der Kragbalken über der Oberfläche schwebt an und nicht berührt sie. Der Kragbalken lenkt, wenn er über statischen Aufladungen scannt, wie in Abbildung 1. dargestellt ab.

Abbildung 1. EFM bildet lokal belastete Gebiete auf der Beispieloberfläche ab.

EFM-Bilder enthalten Informationen über elektrische Eigenschaften wie das Oberflächenpotential und die Ladungsverteilung einer Beispieloberfläche. EFM bildet lokal belastete Gebiete auf der Beispieloberfläche ab, die ähnlich ist, wie MFM die magnetischen Gebiete der Beispieloberfläche grafisch darstellt. Die Größe des Ausschlags, proportional zur Ladungsdichte, kann mit der Standard-Trägerschlag Anlage gemessen werden. So kann EFM verwendet werden, um die räumliche Variante des Oberflächenladungstransportunternehmers zu studieren. Zum Beispiel kann EFM die elektrostatischen Bereiche einer elektronischen Schaltung abbilden, während die Einheit ein und abgestellt wird. Diese Technik bekannt als „prüfende Spannung“ und ist ein wertvolles Hilfsmittel für die Prüfung von Livemikroprozessorchips an der Submikronschuppe.

Vier verschiedene EFM-Modi, unterschieden durch die Methode, die die elektrischen Oberflächeninformationen erhalten werden, werden von XE-Serien FLUGHANDBUCH zur Verfügung gestellt. Diese sind Standard-EFM, der eigene patentierte Dynamisch-Kontakt EFM (DC-EFM) der Park-Anlagen, Piezoelektrischer Kraft-Mikroskopie- (PFM)und ScannenKelvin-Fühler-Mikroskop (SKPM).

Prinzip von EFM

Die Meisten Materialeigenschaften, die durch FLUGHANDBUCH nachgeforscht werden, werden erworben, indem man das Ausschlagsignal des Kragbalkens aufbereitet, wie in Abbildung 2 dargestellt, die an den EFM-Maßen auch angewendet wird.

Für EFM würden die Beispieloberflächeneigenschaften elektrische Eigenschaften sein- und die Interaktionskraft ist die elektrostatische Kraft zwischen der voreingenommenen Spitze und der Probe.

Abbildung 2. Schematisches Diagramm vom Oberflächeneigentumsmaß durch die hoch entwickelten XE-Modi.

Jedoch zusätzlich zur elektrostatischen Kraft, sind- die Packwagen der Waals-Kräfte zwischen der Spitze und der Beispieloberfläche immer anwesend. Die Größe dieser Kräfte van Der Waals ändern entsprechend dem Spitzeprobe Abstand und werden deshalb verwendet, um die Oberflächentopographie zu messen.

Folglich enthält das erhaltene Signal Informationen der Oberflächentopographie (genannt ` Topo-Signal') und Informationen des elektrischen Oberflächeneigentums (genannt Signal ` EFM') erzeugt durch das Packwagen der Waals und die elektrostatischen Kräfte, beziehungsweise. Die Taste zu erfolgreicher EFM-Darstellung liegt in der Trennung des EFM-Signals vom gesamten Signal. EFM-Modi können entsprechend der Methode tarifiert werden, die angewendet wird, um sich das EFM-Signal zu trennen.

Standard-EFM

Das Standard-EFM der XE-Serien basiert auf den zwei Tatsachen. Eine Tatsache ist, dass Kräfte van Der Waals und elektrostatische Kräfte verschiedene dominierende Einfuhrüberwachungen haben. Kräfte van Der Waals sind zu 1/r proportional6, während elektrostatische Kräfte zu 1/r. proportional sind.2 So wenn die Spitze zur Probe nah ist, sind Kräfte van Der Waals dominierend. Während die Packwagen der Waals-Kräfte sich schnell verringern und die elektrostatischen Kräfte dominierend werden, während die Spitze weg von der Probe verschoben wird. Die andere Tatsache ist, dass die Topographiezeile erworben wird, indem man die Spitzeprobe Abstandskonstante hält, die der Zeile konstanter Kraft van Der Waals entspricht. In der Messbereichtechnik wird der erste Scan durchgeführt, indem man die Spitze in der Region scannt, in der die Packwagen der Waals-Kraft für Topographiebild dominierend ist. Dann wird der Spitzeprobe Abstand unterschieden, um die Spitze in die Region zu legen, in der die elektrostatische Kraft dominierend ist und gescannt auf EFM-Bild wie in Abbildung 3 (A) gezeigt.

Abbildung 3. Die Diagramme (a) der Messbereichtechnik und (b) der in zwei Durchläufentechnik.

In der In zwei Durchläufentechnik wird der erste Scan durchgeführt, um die Topographie zu erreichen, indem man die Spitze nahe der Oberfläche, wie er in NC-AFM erfolgt ist, in der Region scannt, in der die Packwagen der Waals-Kräfte dominierend sind. Im zweiten Scan hebt Anlage die Spitze an und erhöht den Spitzeprobe Abstand, um die Spitze in die Region zu legen, in der elektrostatische Kräfte dominierend sind. Die Spitze wird dann ohne Feed-back, Ähnlichkeit zur Topographiezeile beeinflußt und gescannt, die vom ersten Scan wie in Abbildung 3 (b) gezeigt erhalten wird und deshalb behält konstanten Spitzeprobe Abstand bei.

Da die Topographiezeile die Zeile konstanter Kraft van Der Waals ist, sind die Packwagen der Waals-Kräfte, die an der Spitze während des zweiten Scans aufgewendet werden, konstant. So ist die einzige Quelle der Signaländerung die Änderung der elektrostatischen Kraft. So vom zweiten Scan, kann ein freies EFM Signal der Topographie erhalten werden.

Abbildung 4. Standardprobe wird von zwei Mikrokamm geformten Elektroden mit Einerzähnen gemacht, die zwischen dem anderen (a) liegen. Topographiebild (b) zeigt, dass benachbarte Zähne von der gleichen Höhe sind, aber EFM-Phasenbild (c) zeigt, dass benachbarte Zähne der gleichen Höhe im Oberflächenpotential sich unterscheiden.

Quelle: Park Anlagen

Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte Park-Anlagen

Date Added: Apr 21, 2010 | Updated: Sep 20, 2013

Last Update: 20. September 2013 06:24

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