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トピックがカバー
約パークシステムズ
静電気力のイメージング
EFMの原理
標準のEFM
パークシステムズはである原子間力顕微鏡（AFM）すべての研究と工業ナノスケールのアプリケーションの要件に対応する製品を提供し、技術のリーダー。液体と空気の環境で真の非接触イメージングを可能にするユニークなスキャナの設計で、すべてのシステムは、革新的で強力なオプションの長いリストと完全に互換性があります。すべてのシステムは、念頭に置いて使いやすさ、精度と耐久性で設計され、すべての現在および将来のニーズをmeetiongための究極のリソースを顧客に提供しています。
の中で最も長い歴史を誇るAFMの業界を、 パークシステムズの製品、ソフトウェア、サービスおよび専門知識の包括的なポートフォリオは、お客様へのコミットメントによって照合されます。
の静電気力顕微鏡（EFM） XE -シリーズ表面と偏ったの間に静電気力測定による試料表面上のマップの電気特性のAFMカンチレバーを。表面上のカンチレバー上に置くが、それに触れていない間、EFMは、チップと試料の間に電圧を印加する。カンチレバーは、図1に示すように静電荷、上のスキャン時にそらします。
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図1。 EFMは、試料表面上でローカルに帯電したドメインをマッピングします。
EFM像は、このような表面電位と試料表面の電荷分布などの電気的特性に関する情報が含まれています。 EFMマップは、ローカルで試料表面のどのMFMプロット磁区に似て試料表面上のドメインを、ご利用いただけます。電荷密度に比例するたわみの大きさは、標準的なビームバウンス系で測定することができます。したがって、EFMは、表面の電荷キャリアの空間的な変化を研究するために使用することができます。デバイスがオンおよびオフになっているとして例えば、EFMは、電子回路の静電フィールドをマッピングすることができます。この手法は、"電圧がプローブ"として知られており、サブミクロンスケールでのライブのマイクロプロセッサチップをテストするための貴重なツールです。
表面電気情報が得られる方法で区別つの異なるEFMモードは、、によって提供されるXE -シリーズAFM 。これらは標準のEFM、ですパークシステムズの独自の特許取得済みのダイナミックコンタクトEFM（DC - EFM）、圧電力顕微鏡（PFM）、および走査型ケルビンプローブ顕微鏡（SKPM）。
による調査の材料特性のほとんどのAFMは、同様にEFM測定に適用され、図2に示すようにカンチレバーの偏向信号を処理することにより取得されます。
EFMの場合は、サンプルの表面特性は、電気特性になるとの相互作用力は、偏った先端と試料との間の静電気力になります。
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図2。高度なXEモードによる表面特性測定の模式図。
しかし、静電気力に加えて、先端と試料表面との間のファンデルワールス力は、常に存在する。これらのファンデルワールス力の大きさは、探針 - 試料間距離に応じて変更し、そのため表面形状を測定するために使用されています。