المجهر دقق كلفن -- التصوير السطحي المحتملة مع XE مجهر القوة الذرية سلسلة من أنظمة بارك

الموضوعات التي تغطيها

حول أنظمة بارك
تعزيز هذه الآلية
لماذا هذه الآلية المعززة؟
SKPM

حول أنظمة بارك

حديقة نظم هو مجهر القوة الذرية (AFM) رائدة في مجال التكنولوجيا ، وتوفير المنتجات التي تلبي متطلبات جميع البحوث والتطبيقات النانوية الصناعية. مع تصميم الماسح الضوئي الفريدة التي تسمح للتصوير غير صحيح في بيئات الاتصال السائلة والهواء ، وجميع الأنظمة متوافقة تماما مع قائمة طويلة من الخيارات المبتكرة والقوية. وقد صممت جميع النظم مع سهولة الاستخدام الدقة والمتانة في الاعتبار ، وتوفر للعملاء الخاص بالموارد meetiong النهائي لجميع الاحتياجات الحالية والمستقبلية.

التفاخر أطول تاريخ في فؤاد والصناعة ، و بارك لأنظمة غير المتطابقة محفظة شاملة من المنتجات والبرمجيات والخدمات ، والخبرة فقط وفقا لالتزامنا لعملائنا.

تعزيز هذه الآلية

يتم اعتماد هذه الآلية ثلاثة أنماط إضافية من خيار هذه الآلية المعززة لل XE السلسلة . هم DC - الآلية (DC - براءة اختراع هذه الآلية من خلال نظم بارك براءة الاختراع الأمريكية 6185991) ، المجهر قوة الكهروإجهادية (المجنحة ، نفس DC - EFM) ، ودقق المجهر كلفن (SKPM) ، المعروف أيضا باسم الميكروسكوب بالمتر المحتملة.

في هذه الآلية المعززة لل XE سلسلة الرسم التخطيطي الذي هو مبين في الشكل 1 ، قفل خارجي في مكبر للصوت متصلة فؤاد XE سلسلة لغرضين. هدف واحد هو تطبيق AC تحيز ω التردد ، بالإضافة إلى العاصمة وبا التي تطبقها وحدة تحكم XE ، إلى الحافة. والغرض الآخر هو فصل عنصر ω التردد من إشارة الإخراج. هذه القدرة الفريدة التي يتيحها XE سلسلة تعزيز هذه الآلية هو ما تتفوق في الأداء عند مقارنة هذه الآلية الموحدة.

الشكل 1. التخطيطي الرسم التخطيطي لهذه الآلية المعززة للXE - السلسلة.

لماذا هذه الآلية المعززة؟

ويتم تشغيل هذه الآلية التقليدية من خلال فحص مزدوج يمر لا لزوم لها وغير فعالة ، مما يحد باهظة القرار المكانية خريطة المحتملة السطح. وهذه الآلية من قبل المحسن XE سلسلة مصممة لتوفير الكفاءة واحدة تمر مسح لقياس كل من تضاريس السطح والمحتملة في وقت واحد دون أن تفقد القرار المكانية (الشكل 2). وعلاوة على ذلك ، وهذا يسمح للابتكارات الرئيسيان من هذه الآلية المحسن : عالية التردد إشارة القياس في هذه الآلية ،

سطح توزيع الاتهام والتصوير المحتملة
تحليل الفشل في الالكترونيات الدقيقة الدوائر
قياس صلابة ميكانيكية (DC - EFM)
المسؤول عن كثافة المجال متعلق بالعازل الكهربائي الشفاف
انخفاض الجهد على المقاومات الصغيرة
وظيفة عمل أشباه الموصلات

الشكل 2. هذه الآلية التقليدية مقابل تعزيز هذه الآلية من قبل XE - السلسلة.

SKPM

SKPM مبدأ مشابه لهذه الآلية المحسن مع العاصمة التحيز ردود الفعل (الشكل 3). يتم التحكم العاصمة تحيز حلقة مفرغة من الصفر على المدى ω. التحيز العاصمة التي الأصفار القوة هي مقياس لإمكانات السطح. الفرق هو في طريقة الحصول على إشارة من قفل في معالجتها هو مكبر للصوت. كما وردت في المقطع السابق ، يمكن التعبير عن إشارة ω قفل من مكبر للصوت في المعادلة على النحو التالي.

ويمكن استخدام إشارة ω بمفردها لقياس القدرة السطح. اتساع إشارة ω صفرا عندما V _DC = V _ثانية ، أو عندما يكون التحيز العاصمة يقابل مباريات إمكانات سطح العينة. يمكن إضافة إلى حلقة مفرغة من النظام وتختلف التحيز العاصمة يقابل هذا أن إخراج لوك في مكبر للصوت الذي يقيس إشارة ω صفر. هذه القيمة من التحيز العاصمة يقابل ذلك إشارة ω أصفار ومن ثم قدرا من إمكانات السطح. وتعطى صورة تم إنشاؤها من هذا التباين في معادلة التحيز العاصمة كصورة يمثل القيمة المطلقة للإمكانات السطح (الشكل 4).