극단적인 시계 - 모듬 명령에서 칼 Zeiss의 Nanoscale에 상세한 심상 정보 제공

커버되는 토픽

개관
큰 심상을 위한 필요
XFOV - SEM에 있는 줄기
SEM-VE의 이점

개관

SEM 구상 엔진 (SEM-VE)는 화상 처리와 Zeiss 전자 현미경을 위한 16 비트 검사 발전기 및 이중 최고 표본 추출 신호 취득 하드웨어 및 제어 소프트웨어를 결합합니다. SEM-VE 시스템은 심상의 취득을까지 32k x 100 ns에서 100개의 ns 증분에서 조정가능한 100 s에 일시 운전 정지 시간과 더불어 32k 화소 (1개의 gigapixel 심상 규모), 가능하게 합니다. 심상은 강렬의 8개 16개 비트로 저장될 수 있습니다. SEM-VE "모자이크 공구" 큰 심상 몽타주를 만들기 위하여 디자인되고 SmartSEM와 높게 통합됩니다.

모자이크 공구는 견본에 다중 사이트에 움직이는 가능하게 해, 다중 심상 모자이크의 자동화한 취득, 초점과 같은 SmartSEM autofunctions 위치를 차지하기 위하여 자동적으로 도와로 "심상 도와에서", 및 모자이크 사이트를 Stigmation, 광도, 등등을 필요에 따라 실행하. 최종 결과는 SEM 나노미터 가늠자 해결책에 견본의 광학적인 현미경 가늠자 (또는 육안 가늠자) 지역을 커버할 수 있는 "극단적인 시계" 심상 몽타주 입니다.

주어진 적당한 견본, 무인 상태 작동은 비율로 이미지 데이터의 테라바이트를 시간 당 이미지 데이터의 취득하는 일 기간 동안에, 자동적으로 30 기가바이트까지 능력을 발휘할 수 있습니다. 이것은 사용자가 지구 보다는 더 작은 대략 7개의 크기 순서 해결책에 주어진 지구에서 데이터를 집합하는 것을 허용합니다. 예를 들면 4 일 이하, 4개 나노미터 해결책에, 40 입방 밀리미터 지구를 안으로 취득하는 것이 가능합니다.

Zeiss 시그마 FE-SEM를 사용하여 8개 kV에 backscattered 전자에 imaged 마우스 두뇌의 30 nm 두꺼운 단면도를 골라내십시오. 본래 심상 해결책은 화소 당 4 nm이었습니다. 빨간 화살은 1개의 신경이 또 다른 한개로 정보를 접촉하고 옮기는 지역을 조준합니다.

극단적인 시계 심상 몽타주는 큰 가늠자에서 nanoscale에 상세한 심상 정보를 제공해서 구조물의 완전한 이해를 향상합니다.

큰 심상을 위한 필요

왜 "매우 큰" 심상을 취득합니까?

  • 단계 움직임 지연을 감소시키는 도와의 수를 취득하기 위하여 감소시키고 더 중요하게 각 심상의 면적 조각을 "감소시키는 것은 부분적으로 덮기 위하여 분실했습니다". 4 nm 화소 규모 및 2개의 µm 단계 정확도를 위해, 오버랩은 3k x 2k (33% 새로운 데이터) 심상 지역의 66%에 있을 수 있습니다, 그러나 SEM-VE를 사용할 때 심상 지역의 단지 6%는에 32k x 32k (94% 새로운 데이터/심상) 이렇게 2.5 mm x 4 nm 해결책에 2.5 mm 모자이크 전통적인 프레임 상점을 가진 ~92,000의 심상, 그러나 단지 400의 심상만 요구할 것입니다.
  • 오버랩의 수를 "이어 맞춰" 감소시켜, 견본의 더 적은 光速 손상 및 강직에 지도하.
  • 이 요인은 매우 바느질하고 맞추게 상당히 92,000 보다는 오히려 일할 때 400의 심상을 쉬운 계산적 복잡성을 - 감소시킵니다. 계산적 복잡성에 있는 이 감소는 연속되는 단면도의 3차원 줄맞춤이 요구될 때 훨씬 중요하게 됩니다.

심상 도와 경계는 숨겨지습니다.

심상 도와 경계의 위치는 디스플레이됩니다 (백선)

HF 산성 에칭을 가진 그것의 실리콘 기판에 분리되는 65 nm 기술 마디 도표 처리기 직접 회로.

모자이크는 49의 심상, 자동적으로 mm ~1/3 x로 VE 구경꾼이 1/3 mm 모자이크를 바느질한 각 ~500 Megapixels로, 이루어져 있습니다. 이 모자이크는 검사 교체가 비스듬히 취득한 족답, 검사 도끼에 심상 설명 목적으로 바느질을 강조하기 위하여 특징을 맞추도록 이용된 상태에서, 이었습니다.

, 백색에서 도와 경계가 상기 보이는 것과 같이 4장의 도와 사이 접속점의 확대한 전망은, 그렇지 않으면 도와 사이 경계로 디스플레이된 상태에서 실제로 이음새가 없습니다.

전체 극단적인 시계 모자이크를 통해 눈에 보이는 고해상 세부사항의 견본.

XFOV - SEM에 있는 줄기

SUPRA™ FE-SEM를 위해 GEMINI® 다중 상태 줄기 검출 시스템을, 정보 한계는 사용해서 나노미터 범위 저쪽에 확장될 수 있습니다. 0.8 nm의 해결책은 지금 즉시 달성가능하 추가 nano 가늠자 정보를 제공합니다. 줄기 부대로 장악된 심상의 질은 스캐닝 부착을 가진 TEM에 의해 장악된 심상과 유사합니다.

SEM-VE로 갖춰지는 Zeiss SUPRA™ 40에 취득되는 줄기 에서 SEM 심상. 심상은 쏟아 부어진 쥐 해마의 단 하나 45 nm 두꺼운 지점 단면도에 의하여 얼룩이 진 에폭시 단면도를 매우 보여줍니다. 일련의 심상은 다중 TEM 격자에 다중 사이트에서 자동적으로 취득되었습니다. (a) 단 하나 모자이크 사이트 이루어져 있는 6 x 2 도와, SUPRA™ FE-SEM에 있는 GEMINI® 줄기 검출 시스템을 사용하는 취득되는 각 49 µm x 49 µm의 낮은 확대 개관 심상. 각 심상 도와는 화소 당 2 nm에 취득되었습니다. (b) 화소 당 2 nm에 취득되는 단 하나 49의 µm SEM 에서 줄기 심상. 삽입물 사각은 화소 당 2 nm에에 4k x 4k 사진기, 또한 취득된 TEM 심상의 비교 규모를 설명합니다. 시계 더 큰 취득하는 것은 심상 바느질을 위한 찡그림 그리고 필수품을 둘 다 감소시킵니다. (c) 대략 9 µm에서 세부사항 x 심상 B.의 9개의 µm 지구.

심상 질을 전통적인 TEM에 의해 장악된 결과에 대등합니다 주의하십시오. 가득 차있는 해결책에, 중요한 세포기관은 synapses에 (d) 지점 시냅시스 조밀도를 포함하여 즉시 단호합니다, (e) serial 경시와 조밀한 개조를 위해 적당한 polyribosomes와 (f) 십자가 구분한 microtubules.

SEM-VE의 이점

SEM-VE 도움을 문제를 해결하기 위하여 하는 방법

  • 이전 ~7 Megapixel 최대에서 증가된 단 하나 검사에 있는 1 Gigapixel까지 심상을 취득하십시오.
  • 1 x 1에서 지속적으로 선택할 수 있는 검사 규모에 32k x 32k 화소.
  • 지속적으로 정의가능한 시계와 화소 해결책.
  • 100 100개의 ns 증분에서 화소 당 ns to>100 s 일시 운전 정지에서, 선택할 수 있는 검사 비율.
  • 8개 16 비트 TIFF 파일로 이미지 데이터를 저장하십시오.
  • 자동화는 자동적인 단계 움직임, 초점, stigmation, 광도 및 대조 조정과 더불어 무인 상태 작동을, 필요에 따라 가능하게 합니다.
  • 나노미터 해결책을 가진 시계 광학적인에 고해상 심상 모자이크를 취득하고 바느질하십시오.
  • VE 구경꾼, 능률적으로 SEM-VE에 의해 생성한 다중 기가바이트 모자이크를 취급하기 위하여 맞추어진 심상 구경꾼을 포함합니다. VE 구경꾼이 사용자가, 바느질하기 위하여 열리는 것을 허용하고, 항해하고 지적으로 큰 제 2 데이타세트를 SEM-VE에 의해 일어나 재 만듭니다.

긴 심상에서 높은 확대 발췌.

긴, 소폭 단 하나 심상 µm 대략 1/3 mm x 화소 해결책과 200 ns 일시 운전 정지 시간 당 10 nm에 취득되는 20 크기로. 이 심상은 취득하기 위하여 대략 15 초가 걸렸습니다.

SEM-VE는 필드 업그레이드로 새로운 지금 설치된 계기에 유효합니다.

근원: 칼 Zeiss의 "ZEISS XFOV Zeiss 극단적인 시계"

이 근원에 추가 정보를 위해, 칼 Zeiss를 방문하십시오.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:34

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit