极其视野 - 从宏指令的详细图象情报给 Nanoscale 卡尔蔡司

包括的事宜

概览
对大图象的需要
XFOV - 在 SEM 的词根
SEM-VE 的好处

概览

SEM 形象化引擎 (SEM-VE) 与您的蔡司电子显微镜的图象处理和控制软件结合一个 16 位扫描生成器和双重超抽样信号购买硬件。 SEM-VE 系统启用图象的购买至 32k x 32k 象素 (一个 gigapixel 图象范围),与从 100 ns 的停留时间到 100 s,可调整在 100 个 ns 增量。 图象可能保存与八或十六位强度。 SEM-VE “马赛克工具”被设计创建大图象蒙太奇和高度集成与 SmartSEM。

马赛克工具在这个范例的多个站点启用多图象马赛克的自动化的购买,自动地移动从 “图象瓦片的”向瓦片和马赛克站点选址,执行 SmartSEM autofunctions 例如重点, Stigmation、亮光等等如所需求。 最终结果是可能包括您的范例光学显微镜缩放比例的 “极其视野”图象蒙太奇 (甚至肉眼缩放比例) 面积,在 SEM 毫微米缩放比例解决方法。

特定适当的范例,无人值守可以在几天中执行,自动地获取图象数据太字节以费率 30 十亿字节图象数据每时数。 这小于这个区域允许这个用户从一个特定区域收集数据在解决方法大约七个数量级。 例如获取一个 40 平方毫米区域,在 4 毫微米解决方法,在 4 天以下是可能的。

选拔鼠标脑子的 30 毫微米厚实的部分印象与 backscattered 电子在 8 kV 使用蔡司斯格码 FE-SEM。 原始分辨率是 4 毫微米每象素。 红色箭头指向一个神经元与并且调用信息联系到另一个的区。

极其视野图象蒙太奇经过从这个宏观缩放比例的详细图象情报改进对结构的完全了解给 nanoscale。

对大图象的需要

为什么获取 “庞大的”图象?

  • 减少瓦片的数量获取,减少阶段行动延迟,并且重要减少每个图象的地区分数 “丢失”重叠。 对 4 毫微米象素范围和 2 µm 阶段准确性,重叠可以是 66% 图象区在 3k x 2k (33% 新的数据),但是仅 6% 图象区在 32k x 32k (94% 新的数据/图象) 一 2.5 mm x 在 4 毫微米解决方法的 2.5 mm 马赛克只将因而要求与常规框架存储的 ~92,000 个图象,但是 400 个图象,当使用 SEM-VE 时。
  • 减少重叠的编号 “缝合”,导致这个范例的较少射线故障和降低。
  • 当从事而不是 92,000 时,这些系数非常地减少显著地更加容易的计算的复杂性 - 与 400 个图象缝和对齐。 当需要时,对计算的复杂性的此减少变得更加重要连续切片的三维对准线。

图象瓦片限定范围被隐藏。

图象瓦片限定范围的位置被显示 (空白线路)

一个 65 毫微米技术节点图形处理器集成电路,剥离对其与 HF 酸蚀刻的硅体。

马赛克包括 49 个图象,每 ~500 Megapixels,自动地缝由 VE 浏览器到一 ~1/3 mm x 1/3 mm 马赛克。 此马赛克是获取的跨步有一个角度,当扫描循环用于对扫描轴对齐图象功能,为了强调用于说明目的缝。

连接点的一张被扩大化的视图在四个瓦片之间的如上所述,当瓦片限定范围被显示在白色,作为否则在瓦片之间的限定范围是实际上无缝的。

高分辨率详细资料的抽样可视在整个极其视野马赛克间。

XFOV - 在 SEM 的词根

通过使用 GEMINI® 多重状态的词根检测系统, SUPRA™的 FE-SEM 信息限额可以是延长的在毫微米范围之外。 0.8 毫微米的解决方法现在是容易地可达到的并且提供另外的纳诺缩放比例信息。 这个图象的质量得到与词根部件类似于与扫描附件的 TEM 得到的图象。

词根在 SEM 在蔡司获取的图象 SUPRA™ 40 装备用 SEM-VE。 图象显示被喷洒的汇率海怪的一个唯一 45 毫微米厚实的之后部分被弄脏的环氧超部分。 一系列的图象从多个 TEM 网格的多个站点自动地获取了。 (a) 一个唯一马赛克站点包括的 6 x 2 瓦片,每 49 µm x 49 的低放大概览图象 µm,获取使用在 SUPRA™ FE-SEM 的 GEMINI® 词根检测系统。 每个图象瓦片获取了在 2 毫微米每象素。 (b) 一个唯一 49 µm SEM 在词根图象,获取在 2 毫微米每象素。 插页正方形说明在获取的 TEM 图象的比较范围 4k x 4k 照相机,也在 2 毫微米每象素。 获取更大的视野减少畸变和需求的图象缝。 (c) 从一大约 9 µm x 的详细资料图象 B. 的 9 µm 区域。

注意图象质量与常规 TEM 得到的结果是可比较的。 在充分的解决方法,关键细胞器是容易地解决包括 (d) 过帐突触神经的密度在染色体结合, (e) 聚合蛋白体和 (f) 跨被区分的微管适用于序列跟踪和密集的重建。

SEM-VE 的好处

如何执行 SEM-VE 帮助解决您的问题

  • 获取图象至在唯一扫描的 1 Gigapixel,增加从早先 ~7 Megapixel 最大数量。
  • 不断地从 1 x 1 的可选的扫描范围到 32k x 32k 象素。
  • 不断地可定义的视野和象素解决方法。
  • 扫瞄速率可选从 100 个 ns to>100 s 居住每象素,在 100 个 ns 增量。
  • 保存图象数据作为 8 个或 16 个位 TIFF 文件。
  • 自动化启用无人值守,与自动阶段行动、重点、 stigmation、亮光和反差调整如所需求。
  • 获取并且缝高分辨率图象马赛克在光学视野与毫微米解决方法的。
  • 包括 VE 浏览器,被剪裁的图象浏览器高效地处理 SEM-VE 生产的多十亿字节马赛克。 VE 浏览器允许这个用户开张,缝,驾驶和再智能回报大第 2 数据集导致的是由 SEM-VE。

从长的图象的一个高放大摘要。

一个长,狭窄唯一图象大约 1/3 mm x 20 µm 在大小上获取在 10 毫微米每象素解决方法和 200 ns 停留时间。 此图象需要大约 15 秒获取。

SEM-VE 是可用的在新和当前安装的仪器作为现场升级。

来源: “蔡司 XFOV 蔡司极其视野”卡尔蔡司

关于此来源的更多信息,请拜访卡尔蔡司

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:09

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