極其視野 - 從宏指令的詳細圖像情報給 Nanoscale 卡爾蔡司

包括的事宜

概覽
對大圖像的需要
XFOV - 在 SEM 的詞根
SEM-VE 的好處

概覽

SEM 形象化引擎 (SEM-VE) 與您的蔡司電子顯微鏡的圖像處理和控制軟件結合一個 16 位掃描生成器和雙重超抽樣信號購買硬件。 SEM-VE 系統啟用圖像的購買至 32k x 32k 像素 (一個 gigapixel 圖像範圍),與從 100 ns 的停留時間到 100 s,可調整在 100 個 ns 增量。 圖像可能保存與八或十六位強度。 SEM-VE 「馬賽克工具」被設計創建大圖像蒙太奇和高度集成與 SmartSEM。

馬賽克工具在這個範例的多個站點啟用多圖像馬賽克的自動化的購買,自動地移動從 「圖像瓦片的」向瓦片和馬賽克站點選址,執行 SmartSEM autofunctions 例如重點, Stigmation、亮光等等如所需求。 最終結果是可能包括您的範例光學顯微鏡縮放比例的 「極其視野」圖像蒙太奇 (甚至肉眼縮放比例) 面積,在 SEM 毫微米縮放比例解決方法。

特定適當的範例,無人值守可以在幾天中執行,自動地獲取圖像數據太字節以費率 30 十億字節圖像數據每時數。 這小於這個區域允許這個用戶從一個特定區域收集數據在解決方法大約七個數量級。 例如獲取一個 40 平方毫米區域,在 4 毫微米解決方法,在 4 天以下是可能的。

選拔鼠標腦子的 30 毫微米厚實的部分印象與 backscattered 電子在 8 kV 使用蔡司斯格碼 FE-SEM。 原始分辨率是 4 毫微米每像素。 紅色箭頭指向一個神經元與并且調用信息聯繫到另一個的區。

極其視野圖像蒙太奇經過從這個宏觀縮放比例的詳細圖像情報改進對結構的完全瞭解給 nanoscale。

對大圖像的需要

為什麼獲取 「龐大的」圖像?

  • 減少瓦片的數量獲取,減少階段行動延遲,并且重要減少每個圖像的地區分數 「丟失」重疊。 对 4 毫微米像素範圍和 2 µm 階段準確性,重疊可以是 66% 圖像區在 3k x 2k (33% 新的數據),但是仅 6% 圖像區在 32k x 32k (94% 新的數據/圖像) 一 2.5 mm x 在 4 毫微米解決方法的 2.5 mm 馬賽克只將因而要求與常規框架存儲的 ~92,000 個圖像,但是 400 個圖像,當使用 SEM-VE 時。
  • 減少重疊的編號 「縫合」,導致這個範例的較少射線故障和降低。
  • 當從事而不是 92,000 時,這些系數非常地減少顯著地更加容易的計算的複雜性 - 與 400 個圖像縫和對齊。 當需要時,對計算的複雜性的此減少變得更加重要連續切片的三維對準線。

圖像瓦片限定範圍被隱藏。

圖像瓦片限定範圍的位置被顯示 (空白線路)

一個 65 毫微米技術節點圖形處理器集成電路,剝離對其與 HF 酸蝕刻的硅體。

馬賽克包括 49 個圖像,每 ~500 Megapixels,自動地縫由 VE 瀏覽器到一 ~1/3 mm x 1/3 mm 馬賽克。 此馬賽克是獲取的跨步有一個角度,当掃描循環用於對掃描軸對齊圖像功能,為了強調用於說明目的縫。

連接點的一張被擴大化的視圖在四個瓦片之間的如上所述,当瓦片限定範圍被顯示在白色,作為否則在瓦片之間的限定範圍是實際上無縫的。

高分辨率詳細資料的抽樣可視在整個極其視野馬賽克間。

XFOV - 在 SEM 的詞根

通過使用 GEMINI® 多重狀態的詞根檢測系統, SUPRA™的 FE-SEM 信息限額可以是延長的在毫微米範圍之外。 0.8 毫微米的解決方法現在是容易地可達到的并且提供另外的納諾縮放比例信息。 這個圖像的質量得到與詞根部件類似於與掃描附件的 TEM 得到的圖像。

詞根在 SEM 在蔡司獲取的圖像 SUPRA™ 40 裝備用 SEM-VE。 一系列的圖像從多個 TEM 網格的多個站點自動地獲取了。 (a) 一個唯一馬賽克站點包括的 6 x 2 瓦片,每 49 µm x 49 的低放大概覽圖像 µm,獲取使用在 SUPRA™ FE-SEM 的 GEMINI® 詞根檢測系統。 每個圖像瓦片獲取了在 2 毫微米每像素。 (b) 一個唯一 49 µm SEM 在詞根圖像,獲取在 2 毫微米每像素。 插頁正方形說明在獲取的 TEM 圖像的比較範圍 4k x 4k 照相機,也在 2 毫微米每像素。 獲取更大的視野減少畸變和需求的圖像縫。 (c) 從一大約 9 µm x 的詳細資料圖像 B. 的 9 µm 區域。

注意圖像質量與常規 TEM 得到的結果是可比較的。 在充分的解決方法,關鍵細胞器是容易地解決包括 (d) 過帳突觸神經的密度在染色體結合, (e) 聚合蛋白體和 (f) 跨被區分的微管適用於序列跟蹤和密集的重建。

SEM-VE 的好處

如何執行 SEM-VE 幫助解決您的問題

  • 獲取圖像至在唯一掃描的 1 Gigapixel,增加從早先 ~7 Megapixel 最大數量。
  • 不斷地從 1 x 1 的可選的掃描範圍到 32k x 32k 像素。
  • 不斷地可定義的視野和像素解決方法。
  • 掃瞄速率可選從 100 个 ns to>100 s 居住每像素,在 100 個 ns 增量。
  • 保存圖像數據作為 8 個或 16 個位 TIFF 文件。
  • 自動化啟用無人值守,與自動階段行動、重點、 stigmation、亮光和反差調整如所需求。
  • 獲取并且縫高分辨率圖像馬賽克在光學視野與毫微米解決方法的。
  • 包括 VE 瀏覽器,被剪裁的圖像瀏覽器高效地處理 SEM-VE 生產的多十億字節馬賽克。 VE 瀏覽器允許這個用戶開張,縫,駕駛和再智能回報大第 2 數據集導致的是由 SEM-VE。

從長的圖像的一個高放大摘要。

一個長,狹窄唯一圖像大約 1/3 mm x 20 µm 在大小上獲取在 10 毫微米每像素解決方法和 200 ns 停留時間。 此圖像需要大約 15 秒獲取。

SEM-VE 是可用的在新和當前安裝的儀器作為現場升級。

來源: 「蔡司 XFOV 蔡司極其視野」卡爾蔡司

關於此來源的更多信息,请請拜訪卡爾蔡司

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:12

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