NanoPatterning und Sichtbarmachungs-Motor (NPVE) - Revolutionäre Träger-Regelung und Extreme Blickfeld-Darstellung durch Carl Zeiss

Themen Umfaßt

Revolutionäre Träger-Regelung und Extreme Blickfeld-Darstellung
NPVE-Merkmale und -anwendungen
Reihen-Erbauer
Operation Rezepte
Zusätzliche Merkmale
NPVE-Merkmale
Grundlegende Formen
Kopierende Parameter
Ungültige Formen
Paralleles Kopieren
Vektor Gescannte Formen
Stellen Sie Operationen ein
Kopierende Arten
OffsetFülle
LiveAnsicht-Kopieren
FLUNKEREI Text
Bild Überlagerung

Revolutionäre Träger-Regelung und Extreme Blickfeld-Darstellung

Der Motor NanoPatterning und der Sichtbarmachung (NPVE) erweitert die Fähigkeiten Ihrer Doppel-spalte Anlage zu den neuen Höhen. Als Zusatzhardware zu Ihrer Carl Zeiss-Anlage, aktiviert das NPVE schnelle Erstausführung von Merkmalen von nm zu mm, umfangreiche Regelung über kopierenden Parametern und extreme Blickfelddarstellung bis zu 1 GigaPixel pro Bild, alles in einer integrierten, intuitiven Benutzerschnittstelle.

Das NPVE bringt Doppel-Scan-Generatortechnik mit 16 Bits und supersampling Signaldatenerfassungskleinteile mit einem Gleitkomma, Vektorscan-Motor zusammen. Bedient durch eine intuitive Benutzerschnittstelle, integriert das NPVE glatt simultane Regelung des FIB-SEM (CrossBeam®) und des SEMS, der Echtzeitdarstellung während des Kopierens und der automatisierten Regelung des Mikroskops durch SmartSEM. Einfach zu lernen dennoch extrem stark, ist die NPVE-Anlage die Lösung der Wahl für eine große Auswahl von Anwendungen NanoPatterning und der Darstellung. Seine Benutzerfreundlichkeit erlaubt sogar Anfängerbenutzern komplexe, Probleme beim Nanoprototyping, mit oder ohne Gaschemie zu lösen anzufangen, schnell und leicht.

Das NPVE kombiniert umfangreiche, flexible NanoPatterning-Fähigkeit mit in zunehmendem Maße wesentlicher Sichtbarmachung von den Signalen, die durch den kopierenden Träger erzeugt werden und bringt eine Fülle von Informationen zusammen, die die vorhandenen Darstellungsfähigkeiten der CrossBeam®-Instrumente ergänzt.

Zusätzlich zu den NanoPatterning-Merkmalen des NPVE, erwirbt der Benutzer möglicherweise Bilder bis zu ein Milliarde Pixeln an Größe (32k x 32k) und aktiviert hohe Auflösung, extrem große Blickfelddarstellung. Zusatzfunktionen erlauben automatisierte Datenerfassung und das Nähen von den Mosaiken des großen Gebiets, die eine Montage vieler angrenzenden Bilder der hohen Auflösung herstellen.

Ein 1 µm X 1 µm Quadrat Elektronenstrahl gab Siliziumoxidsäulen ab. Der kopierende Winkel innerhalb der quadratischen Form wurde zu 45° eingestellt, wenn der Abstand beschlossen ist, um die Säulen zu haben, gerade in Kontakt zu bringen.

A: Ring 600 Flunkerei-abgegebener 3D nm Durchmesser. B: Hydrauliktank und ein Nano-kanal 20 µm lang und 200 nm in der Breite. Echtzeitsichtbarmachung, während das Mahlen einen glatten, flachbodigen Übergang von Kanal zu Hydrauliktank erlaubt.

EINE FLUNKEREI Grayscale-Wiedergabe des Lincoln Memorials, kopiert in Silikon. Eine unveränderte Fotografie wurde als die Datenquelle verwendet. Die kopierende Gesamtzeit war ungefähr zehn Minuten.

NPVE-Merkmale und -anwendungen

Reihen-Erbauer

Reihen der sich wiederholenden Zellen Zu Erstellen ist unter Verwendung des NPVE-Reihen-Erbauers Geradeaus. Verschiedene Reihenarten können einschließlich Regular- und Radialstrahlreihen konstruiert werden. Der Reihen-Erbauer ist unentbehrlich für Gasprozeßoptimierung gewesen, während eine große Auswahl von Parametern auf eine Form-durchform Basis für schnelle Auslegung von Experimenten systematisch unterschieden werden kann.

4 durch Reihe 4 Rechtecke, die für Elektronenstrahl verwendet wurden, unterstützten Absetzung. Der Haltezeitpunktabstand wurde durch Reihe und durch Spalte unterschieden.

Ein Teil einer Reihe ringförmiger Formen, jede 450 nm im Durchmesser, mit einem 1 µm Abstand (Abstand) zwischen Formen.

Isometrische Ansicht des Zerreibens von 25 nm-Zeilen gesperrt durch 100 nm, direkt kopiert unter Verwendung eines Ionenträgers PA-10.

Operation Rezepte

Die Bestimmung von optimalen kopierenden Parametern, um die sehr besten Ergebnisse zu erzielen benötigt möglicherweise beträchtliche Bemühung vonseiten eines Anfängerbenutzers.

Um diesen Prozess zu ermöglichen, versendet das NPVE mit einigen Operations-Rezepten das die optimalen kopierenden Parameter über einer Reichweite der Strahlströme, für viele Gemeinschaftsaufgaben wie Präzisionsmahlen oder Gas-basierte Chemie einkapselt.

Nano--Säule Reihen

Zonenplatte

Nano--Schuppe Kanalzellen

Halb-Torus gemahlen in Diamanten

Benutzer wählen einfach ein passendes Rezept, das automatisch diese Parameter an irgendeiner Form mit „einem Klick“ anwendet. Benutzer auch ihre eigenen Rezepte unter Verwendung des Operations-Rezept-Herausgebers ändern oder erzeugen möglicherweise.

Zusätzliche Merkmale

Zusätzlich zu den gezeigten Merkmalen, hat das NPVE zahlreiche zusätzliche Fähigkeiten. Bringen Sie Bitte Ihren Handelsvertreter in Kontakt, um Ihre bestimmte Anwendung zu behandeln und wie das NPVE in der Herstellung Ihre Anwendung eines Erfolgs unterstützen kann.

NPVE-Merkmale

Grundlegende Formen

Das NPVE hat neun grundlegende Formen, die verwendet werden oder kombiniert werden können, um komplexere Formen zu erstellen. Jede Form wird aus voll-editable Knotenpunkten und den Abschnitten verfasst, die zu jedermann in gewissem Sinne vertraut sind, das Grafiksoftware verwendet hat.

Das NPVE kommt auch mit einem Feilenimporteur, der 2D Zeichnungen in einigen industriekompatiblen Formaten lesen und konvertieren kann.

Grundlegende Form-Liste:

  • Rechteck
  • Ellipse
  • Ring
  • Zeile
  • Polyline
  • Polygon
  • Paralleltrapez
  • Text
  • Stelle

Kopierende Parameter

Das Wählen der optimalen kopierenden Parameter beeinflußt groß das Ergebnis eines Experimentes. Aus diesem Grund bietet die NPVE-Schnittstelle ein hohes Maß Flexibilität an, wenn sie optimiert, wie der Träger über die Probe verschoben wird. Praktisch alle Parameter in Bezug auf die Trägerpositionierung können eingestellt werden - oder der Benutzer kann ein vorher definiertes Operations-Rezept wählen, das dann automatisch die Kopierenden Parameter für die ausgesuchten Formen einstellt.

Ungültige Formen

Unter Verwendung „der Ungültigen“ Formen bietet das NPVE eine bequeme Methode an, um kritische Beispielregionen an durch den Träger kopiert werden zu verhindern. Irgendeine gefüllte Form wird zu eine Lücke gemacht möglicherweise. Der Reihe nach hat jede mögliche Form, die eine Lücke in Kontakt bringt, dann die Region, die alle enthält oder einen Teil der Lücke, die vom Kopieren ausgeschlossen wird.

Paralleles Kopieren

Mehrfache Formen, eher als eine Form serienmäßig, beendend und auf das folgende bewegend, parallel Kopieren hat eindeutige Vorteile, besonders wenn es Gaschemie verwendet oder hohe Längenverhältniszellen mahlt. Das NPVE unterstützt das parallele oder Serienkopieren aller Formen oder ausgewählten Teilmengen Formen.

Vektor Gescannte Formen

Traditionsgemäß werden Formen mit einem Raster ähnlichen Scan-Algorithmus gefüllt. Das NPVE unterstützt diese Trachtenmode (tatsächlich erlaubend, dass eine willkürliche Suchrichtung festgelegt wird), aber es unterstützt auch Vektorscannen des Formentwurfs. Entwurfsscannen kann verwendet werden, um eine Form vollständig zu füllen, oder den Umkreis der Form in gewissem Sinne zu verfolgen, die glatt dem Entwurf der Form folgt. Entwurfsscans können für Mitte, Einfügung oder Anfang-Ausrichtung, entweder mit einer festgelegten Stärke oder zum Punkt des Füllens der Form eingestellt werden. Als anderswo, erlaubt das NPVE vollständige Kontrolle von kopierenden Parametern wie dem Haltezeitpunktabstand entlang jedem „Pfad“ und zwischen „Pfaden“, wie Ecken gehrt werden, Usw.

Haltezeitpunktsimulation bei 50% Deckung, einer Entwurfsform mit zehnfacher Symmetrie

Stellen Sie Operationen ein

Das Erstellen von komplexen Formen wird einfacher gemacht, indem man die Gesetzten Operationen NPVE verwendet. Einzelne Formen werden mit Gesetzten Operationen kombiniert möglicherweise, um das Verbindungsstück, den Unterschied, den Schnitt, das XOR oder die Befestigte Version der Formen zu erstellen. Jede berechnete Form bleibt völlig editable, wenn die neuen Knotenpunkte, bestimmt sind durch die bestimmte Gesetzte eingesetzte Operation. Unter Verwendung der Gesetzten Operationen können überlappende Formen und der resultierende falsche doppelte Dosierungsfehler beseitigt werden.

Kopierende Arten

Die bestimmte Scan-Strategie, die eingesetzt wird, hat eine beträchtliche Auswirkung auf die erzielten Ergebnisse. Kopierende Arten NPVE erlauben dem Benutzer, eine Reichweite der Scan-Strategien festzulegen.

OffsetFülle

Spotgröße, Redeposition des Materials, Gasalle Absetzung oder Ätzungskinetik, Usw. tragen zur Herstellung der abschließenden Form etwas größer oder kleiner als die wie-gezeichnete Form bei. Jede Form hat einen Ausgleichparameter der, einmal kalibriert für eine bestimmte Operation, das NPVE die Form durch die Menge automatisch schmälern oder erweitern lässt, die benötigt wird, um die genauen Maßtoleranzen zu treffen.

LiveAnsicht-Kopieren

Die Sichtbarmachung des kopierenden Prozesses aus der Perspektive des kopierenden Trägers, nicht bloß ansehend mit SEM, beim Mahlen mit der FLUNKEREI, ist kritisch zum Erfolg in vielen Anwendungen der FLUNKEREI NanoPatterning gewesen.

LiveAnsicht-Kopieren des Ausschnitts eines Nano-kabels an der Unterseite eines tiefen Loches.

Die Ansicht“ Bilder des NPVE-Bildschirmanzeigeechtzeit„lauten Summens von Formen, wie sie kopiert werden, genaue Ausrichtung, Antriebkorrektur und Beobachtung des kopierenden Prozesses erlaubend.

FLUNKEREI Text

Für den bequemen Gleichlauf von Daten, können alle Experimente betriebsbereit unter Verwendung der FLUNKEREI Textoption signifikantes in-situ sein. Alle MS- Windows™ Schrifttypen sind erhältlich und der Text kann auf die gleiche Weise wie jede mögliche andere Form, einschließlich das Anwenden von Operations-Rezepten kopiert werden, um Gaschemie zu aktivieren.

FLUNKEREI Text, der experimentelle Bedingungen kommentiert

Bild Überlagerung

In bestimmten Anwendungen kann die genaue Positionierung von Formen durch die Bedeckung eines vorher erworbenen Bildes oder ein Bild von einer anderen Quelle wie einem optischen Mikroskop viel einfacher gemacht werden. Das NPVE unterstützt Bildüberlagerung, Ausrichtung und Transparenzeinstellung.

Quelle: „ZEISS NPVE Nanopatterning u. Sichtbarmachungs-Motor“ durch Carl Zeiss

Zu mehr Information über diese Quelle, besuchen Sie bitte Carl Zeiss.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:24

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