NanoPatterning y Motor de la Visualización (NPVE) - Mando Revolucionario del Haz y Proyección De Imagen Extrema del Campo visual de Carl Zeiss

Temas Revestidos

Mando Revolucionario del Haz y Proyección De Imagen Extrema del Campo visual
Características y Aplicaciones de NPVE
Constructor del Arsenal
Recetas de la Operación
Características Adicionales
Características de NPVE
Dimensiones De Una Variable Básicas
Parámetros Que Modelan
Dimensiones De Una Variable Nulas
El Modelar Paralelo
Dimensiones De Una Variable Exploradas Vector
Fije las Operaciones
Estilos Que Modelan
Terraplén Descentrado
El Modelar Vivo de la Visión
Texto de la BOLA
Papel de la Imagen

Mando Revolucionario del Haz y Proyección De Imagen Extrema del Campo visual

El Motor de NanoPatterning y de la Visualización (NPVE) despliega las capacidades de su sistema de la doble-olumna a las nuevas alturas. Como agregación a su sistema de Carl Zeiss, el NPVE activa la creación de un prototipo rápida de características de nanómetros a los milímetros, el mando extenso sobre parámetros que modelan y la proyección de imagen extrema del campo visual hasta 1 GigaPixel por la imagen, toda en una interfaz de usuario integrada, intuitiva.

El NPVE reúne la tecnología doble y la dotación física supersampling con una coma flotante, motor del generador de la exploración de 16 dígitos binarios de la adquisición de la señal de la exploración del vector. Operatorio a través de una interfaz de usuario intuitiva, el NPVE integra liso mando simultáneo del FIB-SEM (CrossBeam®) y SEM, proyección de imagen en tiempo real durante modelar y mando automatizado del microscopio con SmartSEM. Simple aprender con todo extremadamente potente, el sistema de NPVE es la solución de la opción para una amplia gama de aplicaciones de NanoPatterning y de la Proyección De Imagen. Su facilidad de empleo permite que incluso los utilizadores del novato comiencen a resolver problemas complejos en nanoprototyping, con o sin química del gas, de manera rápida y fácil.

El NPVE combina la capacidad extensa, flexible de NanoPatterning con la Visualización cada vez más vital de las señales generadas por el haz que modela, reuniendo una gran cantidad de información que complemente las capacidades existentes de la proyección de imagen de los instrumentos de CrossBeam®.

Además de las características de NanoPatterning del NPVE, el utilizador puede detectar imágenes hasta un mil millones pixeles de tamaño (32k x 32k), activando la alta resolución, proyección de imagen extremadamente grande del campo visual. Las opciones Adicionales permiten la adquisición y la costura automatizadas de los Mosaicos de la área extensa que crean un montaje de muchas imágenes de alta resolución contiguas.

Un 1 µm X 1 cuadrado del µm de Haz Electrónico Depositó pilares del óxido de silicio. El ángulo que modelaba dentro de la dimensión de una variable cuadrada fue fijado de 45°, con la separación elegida para tener los pilares apenas el hacer contacto con.

A: 600 bobina Bola-depositada diámetro del nanómetro 3D. B: Depósito y un µm del nano-canal 20 de largo y 200 nanómetro en ancho. Visualización En Tiempo Real mientras que el fresar permite una transición lisa, de fondo plano del canal al depósito.

Una representación del grayscale de la BOLA del Lincoln memorial, modelada en el silicio. Una fotografía sin modificar fue utilizada como la fuente de datos. El tiempo que modelaba total era aproximadamente diez minutos.

Características y Aplicaciones de NPVE

Constructor del Arsenal

Crear matrices de estructuras repetidores es directo usando el Constructor del Arsenal de NPVE. Diversos estilos del arsenal se pueden construir incluyendo matrices del asiduo y de la parte radial. El Constructor del Arsenal ha demostrado ser imprescindible para la optimización de proceso del gas mientras que una amplia gama de parámetros se pueden variar sistemáticamente sobre una base de la dimensión de una variable-por-dimensión de una variable para el diseño rápido de experimentos.

4 por el arsenal 4 de rectángulos usados para el haz electrónico ayudaron a la deposición. La separación de la punta del intervalo fue variada por fila y por la olumna.

Una porción de un arsenal de las dimensiones de una variable anulares, cada 450 nanómetro en diámetro, con una 1 separación del µm (tono) entre las dimensiones de una variable.

Propósito Isométrico de rallar de 25 líneas del nanómetro espaciadas por 100 nanómetro, modelados directamente usando un haz de ión del PA 10.

Recetas de la Operación

La Determinación de parámetros que modelan óptimos para lograr los resultados muy mejores puede requerir esfuerzo importante de parte de un utilizador del novato.

Para facilitar este proceso, las naves de NPVE con varias Recetas de la Operación que encapsula los parámetros que modelan óptimos a través de un rango de las corrientes del haz, porque muchas tareas del campo común tales como precisión que friesa o químicas gas-basadas.

Matrices del Nano-Pilar

Placa de Zona

estructuras del canal de la Nano-Escala

Mitad-Toro fresado en diamante

Los Utilizadores eligen simple una receta apropiada, que aplica automáticamente estos parámetros a cualquier dimensión de una variable con “un tecleo”. Los Utilizadores pueden también modificar o generar sus propias recetas usando el Editor de la Receta de la Operación.

Características Adicionales

Además de las características mostradas, el NPVE tiene capacidades adicionales numerosas. Haga contacto con Por Favor su representante de ventas para discutir su aplicación determinada, y cómo el NPVE puede ayudar a hacer su aplicación un éxito.

Características de NPVE

Dimensiones De Una Variable Básicas

El NPVE tiene nueve dimensiones de una variable básicas que se puedan utilizar o combinar para crear dimensiones de una variable más complejas. Cada dimensión de una variable se compone de nodos completo-editable y de segmentos de una forma familiares a cualquier persona que ha utilizado software de los gráficos.

El NPVE también viene con un importador del fichero que pueda leer y convertir los 2.os gráficos en varios formatos del estándar industrial.

Filete Básico de la Dimensión De Una Variable:

  • Rectángulo
  • Elipse
  • Anillo
  • Línea
  • Polyline
  • Polígono
  • Trapezoide
  • Texto
  • Mancha

Parámetros Que Modelan

Elegir los parámetros que modelan óptimos afecta grandemente al resultado de un experimento. Por este motivo el interfaz de NPVE ofrece un alto nivel de adaptabilidad en la optimización de cómo el haz se mueve a través de la muestra. Virtualmente todos los parámetros referentes la colocación del haz pueden ser fijados - o el utilizador puede elegir una Receta previamente definida de la Operación que entonces fije automáticamente los Parámetros Que Modelan para las dimensiones de una variable elegidas.

Dimensiones De Una Variable Nulas

Usando dimensiones de una variable “Nulas”, el NPVE ofrece un método conveniente para evitar que las regiones críticas de la muestra sean modeladas por el haz. Cualquier dimensión de una variable llenada se puede girar en un Claro. A su vez, cualquier dimensión de una variable que haga contacto con un Claro entonces tendrá la región que contiene todos o una porción del Claro excluido de modelar.

El Modelar Paralelo

Modelar dimensiones de una variable múltiples paralelamente, bastante que en serie terminando una dimensión de una variable y moviéndose sobre el siguiente tiene ventajas distintas, determinado al usar químicas del gas o fresando las altas estructuras de la relación de aspecto. El NPVE utiliza modelar paralelo o serial de todas las dimensiones de una variable o subconjuntos seleccionados de dimensiones de una variable.

Dimensiones De Una Variable Exploradas Vector

Tradicionalmente, las dimensiones de una variable se llenan de a retículo-como algoritmo de la exploración. El NPVE utiliza este estilo tradicional (que permite de hecho que una dirección de exploración arbitraria sea especificada), pero también utiliza la exploración del vector del contorno de la dimensión de una variable. La exploración del Contorno se puede utilizar para llenar totalmente una dimensión de una variable, o para rastrear el perímetro de la dimensión de una variable de una forma que sigue liso el contorno de la dimensión de una variable. Las exploraciones del Contorno se pueden fijar para el Centro, la Inserción o la Alineación del Principio, con un espesor especificado, o a la punta de llenar la dimensión de una variable. Como a otra parte, el NPVE permite el control total de parámetros que modelan tales como la separación de la punta del intervalo a lo largo de cada “camino” y entre los “caminos”, cómo se juntan a inglete las esquinas, el Etc.

Simulación de la punta del Intervalo en el traslapo del 50%, de una dimensión de una variable del contorno con simetría décupla

Fije las Operaciones

Crear dimensiones de una variable complejas se hace más fácil usando las Operaciones Determinadas de NPVE. Las dimensiones de una variable Individuales se pueden combinar con Operaciones Determinadas para crear la Unión, la Diferencia, la Intersección, el XOR o la versión Fijada de las dimensiones de una variable. Cada dimensión de una variable derivada sigue siendo completo editable, con los nuevos nodos que son determinados por la Operación Determinada determinada empleada. Usando Operaciones Determinadas, las dimensiones de una variable de traslapo y el desvío de dosificación doble erróneo resultante pueden ser eliminados.

Estilos Que Modelan

La estrategia determinada de la exploración empleada tiene un impacto importante en los resultados logrados. Los Estilos Que Modelan de NPVE permiten que el utilizador especifique un rango de las estrategias de la exploración.

Terraplén Descentrado

La talla de Mancha, el redeposition del material, la deposición o los tipos del grabado de pistas, los Etc. toda del gas contribuyen a hacer la dimensión de una variable final ligeramente más grande o más pequeña que la dimensión de una variable como-drenada. Cada dimensión de una variable tiene un parámetro del Desplazamiento que, calibrado una vez para una Operación determinada, permita que el NPVE contrate o despliegue automáticamente la dimensión de una variable por la cantidad requerida para resolver las tolerancias dimensionales exactas.

El Modelar Vivo de la Visión

La Visualización del proceso que modelaba desde la perspectiva del haz que modelaba, viendo no simplemente con SEM mientras que friesa con la BOLA, ha demostrado ser crítica al éxito en muchas aplicaciones de la BOLA NanoPatterning.

El Modelar Vivo de la Visión del corte de un nano-cable en la parte inferior de un agujero profundo.

Las imágenes en tiempo real opinión del zoom” de las visualizaciones de NPVE de la “de dimensiones de una variable como se modelan, permitiendo la alineación, la corrección de desviación y la observación exactas del proceso que modela.

Texto de la BOLA

Para seguir su trayectoria conveniente de datos, todos los experimentos pueden ser "in-situ" fácilmente marcado usando la opción del Texto de la BOLA. Todas Las fuentes del ™ de MS Windows están disponibles y el texto se puede modelar de la misma manera que cualquier otra dimensión de una variable, incluyendo la aplicación de Recetas de la Operación para activar químicas del gas.

Texto de la BOLA que anota condiciones experimentales

Papel de la Imagen

En ciertas aplicaciones la colocación exacta de dimensiones de una variable se puede hacer mucho más simple sobreponiendo una imagen previamente detectada, o una imagen de otra fuente tal como un microscopio óptico. El NPVE utiliza el papel de la imagen, la alineación y el ajuste de la diapositiva.

Fuente: “ZEISS NPVE Nanopatterning y Motor de la Visualización” por Carl Zeiss

Para más información sobre esta fuente, visite por favor a Carl Zeiss.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:55

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