NanoPatterning et Engine de Visualisation (NPVE) - Contrôle Révolutionnaire de Poutre et Représentation Extrême de Champ de Vision par Carl Zeiss

Sujets Couverts

Contrôle Révolutionnaire de Poutre et Représentation Extrême de Champ de Vision
Caractéristiques techniques et Applications de NPVE
Constructeur d'Alignement
Recettes de Fonctionnement
Fonctionnalités Supplémentaires
Caractéristiques techniques de NPVE
Formes De base
Paramètres de Structuration
Formes Nulles
Structuration Parallèle
Formes Balayées par Vecteur
Réglez les Fonctionnements
Types de Structuration
Remplissage Excentré
Structuration Sous Tension de Vue
Texte de BOBARD
Transparent d'Image

Contrôle Révolutionnaire de Poutre et Représentation Extrême de Champ de Vision

L'Engine de NanoPatterning et de Visualisation (NPVE) augmente les capacités de votre système de double-fléau aux hauteurs neuves. Comme extension à votre système de Carl Zeiss, le NPVE active le prototypage rapide des caractéristiques techniques des nanomètres aux mm, le vaste contrôle des paramètres de structuration et la représentation extrême de champ de vision jusqu'à 1 GigaPixel selon l'image, toute dans une interface utilisateur intégrée et intuitive.

Le NPVE rassemble la double technologie de générateur d'échographie de 16 bits et le matériel supersampling de saisie de signe avec une virgule flottante, engine d'échographie de vecteur. Fonctionné par une interface utilisateur intuitive, le NPVE intègre régulièrement le contrôle simultané du FIB-SEM (CrossBeam®) et SEM, représentation en temps réel pendant la structuration et contrôle robotisé du microscope par SmartSEM. Simple pour apprendre pourtant extrêmement puissant, le système de NPVE est la solution du choix pour un large éventail d'applications de NanoPatterning et de Représentation. Sa simplicité d'utilisation permet même à des utilisateurs débutants de commencer à résoudre des problèmes complexes dans nanoprototyping, avec ou sans la chimie de gaz, rapidement et facilement.

Le NPVE combine la vaste, flexible capacité de NanoPatterning avec la Visualisation de plus en plus indispensable des signes produits par la poutre de structuration, rassemblant une quantité d'information qui complète les capacités existantes de représentation des instruments de CrossBeam®.

En plus des caractéristiques techniques de NanoPatterning du NPVE, l'utilisateur peut saisir des images jusqu'à un milliard de pixels dans la taille (32k x 32k), activant la haute résolution, représentation extrêmement grande de champ de vision. Les options Supplémentaires permettent la saisie robotisée et piquer des Mosaïques de vaste zone produisant un montage de beaucoup d'images de haute résolution contiguës.

Un 1 µm X 1 carré de µm de Faisceau D'électrons A déposé des piliers d'oxyde de silicium. La cornière de structuration dans la forme carrée a été réglée avec 45°, avec l'écartement choisi pour avoir les piliers entrer en contact juste.

A : 600 bobine Bobard-déposée par diamètre de nanomètre 3D. B : Réservoir et un µm du nano-tunnel 20 longtemps et 200 nanomètre de largeur. Visualisation En temps réel tandis que le fraisage permet un passage doux et à fond plat de tunnel dans le réservoir.

Un rendu de gamme de gris de BOBARD du Lincoln Memorial, modelé dans le silicium. Une photo non modifiée a été utilisée comme point d'émission de données. Tout le temps de structuration était approximativement dix mn.

Caractéristiques techniques et Applications de NPVE

Constructeur d'Alignement

Produire des choix de structures répétitives est droit utilisant le Constructeur d'Alignement de NPVE. Différents types d'alignement peuvent être construits comprenant des alignements de militaire de carrière et de radial. Le Constructeur d'Alignement a prouvé à être indispensable pour l'optimisation de processus de gaz pendant qu'un large éventail de paramètres peuvent être systématiquement variés sur une base de forme-par-forme pour le design rapide des expériences.

Des 4 par le choix 4 de rectangles utilisés pour le faisceau d'électrons ont aidé le dépôt. L'écartement de remarque d'angle de saturation a été varié par ligne et par le fléau.

Une partie d'un choix de formes annulaires, chaque 450 nanomètre de diamètre, avec un 1 écartement de µm (hauteur de son) entre les formes.

Vue Isométrique de râper de 25 lignes de nanomètre espacées par 100 nanomètre, directement modelés utilisant un faisceau d'ions de la PA 10.

Recettes de Fonctionnement

La Détermination des paramètres de structuration optimaux pour réaliser les résultats les meilleurs peut exiger l'effort important de la part d'un utilisateur débutant.

Pour faciliter ce procédé, le NPVE se transporte avec un certain nombre de Recettes de Fonctionnement qui encapsule les paramètres de structuration optimaux en travers d'un domaine des courants de poutre, pour beaucoup de fonctionnalités usuelles telles que le fraisage de précision ou les chimies gaz-basées.

Alignements de Nano-Pilier

Plaque de Zone

structures de tunnel de Nano-Échelle

Moitié-Tore fraisé dans le diamant

Les Utilisateurs choisissent simplement une recette appropriée, qui s'applique automatiquement ces paramètres à n'importe quelle forme avec « un claquement ». Les Utilisateurs peuvent également modifier ou produire de leurs propres recettes utilisant l'Éditeur de Recette de Fonctionnement.

Fonctionnalités Supplémentaires

En plus des caractéristiques techniques affichées, le NPVE a de nombreuses capacités supplémentaires. Veuillez entrer en contact avec votre représentant de commerce pour discuter votre application particulière, et comment le NPVE peut aider à effectuer à votre application une réussite.

Caractéristiques techniques de NPVE

Formes De base

Le NPVE a neuf formes de base qui peuvent être employées ou combinées pour produire des formes plus complexes. Chaque forme se compose de noeuds plein-editable et de segments en quelque sorte familiers à n'importe qui qui a utilisé le logiciel graphique.

Le NPVE vient également avec un importateur de fichier qui peut afficher et convertir les 2D retraits dans plusieurs formats industriellement compatibles.

Liste De base de Forme :

  • Rectangle
  • Ellipse
  • Sonnerie
  • Ligne
  • Polyline
  • Polygone
  • Trapèze
  • Texte
  • Endroit

Paramètres de Structuration

Le Choix des paramètres de structuration optimaux affecte grand les résultats d'une expérience. Pour Cette Raison la surface adjacente de NPVE offre un niveau élevé de souplesse en optimisant comment la poutre est déménagée en travers de l'échantillon. Pratiquement tous les paramètres concernant positionner de poutre peuvent être réglés - ou l'utilisateur peut choisir une Recette précédemment définie de Fonctionnement qui réglera alors automatiquement les Paramètres de Structuration pour les formes choisies.

Formes Nulles

Utilisant des formes « Nulles », le NPVE offre une méthode pratique pour empêcher des régions critiques d'échantillon d'être modelée par la poutre. N'importe Quelle forme remplie peut être transformée en Vide. Consécutivement, n'importe quelle forme qui entre en contact avec un Vide aura alors la région qui contient tous ou une partie du Vide exclu de la structuration.

Structuration Parallèle

La Structuration des formes multiples en parallèle, plutôt que séquentiel remplissant une forme et passant au prochain a des avantages distincts, en particulier en utilisant des chimies de gaz ou en fraisant les structures élevées de rapport hauteur/largeur. Le NPVE supporte la structuration parallèle ou séquentielle de tous les formes ou sous-ensembles sélectés de formes.

Formes Balayées par Vecteur

Traditionnellement, des formes sont remplies d'algorithme trame trame d'échographie. Le NPVE supporte ce type traditionnel (permettant en effet à une direction du balayage arbitraire d'être spécifié), mais il supporte également la lecture de vecteur du contour de forme. La lecture d'Ensemble peut être employée pour remplir complet forme, ou pour tracer le périmètre de la forme en quelque sorte qui suit régulièrement le contour de la forme. Des échographies d'Ensemble peuvent être réglées pour le Centre, la Vignette ou le Cadrage de Début, avec une épaisseur spécifique, ou à la remarque de remplir forme. En Tant Qu'ailleurs, le NPVE permet le contrôle complet des paramètres de structuration tels que l'écartement de remarque d'angle de saturation le long de chaque « chemin » et entre les « chemins », comment des coins sont taillés, Etc.

Simulation de remarque d'Angle De Saturation à la superposition de 50%, d'une forme d'ensemble avec la symétrie de dix fois

Réglez les Fonctionnements

Produire des formes complexes est facilité à l'aide des Fonctionnements Réglés de NPVE. Différentes formes peuvent être combinées avec des Fonctionnements Réglés pour produire le Syndicat, la Différence, l'Intersection, le XOR ou la version Coupée des formes. Chaque forme dérivée demeure entièrement editable, avec les noeuds neufs déterminé par le Fonctionnement Réglé particulier utilisé. Utilisant des Fonctionnements Réglés, on peut éliminer des formes superposantes et la double erreur de dosage erronée donnante droit.

Types de Structuration

La stratégie particulière d'échographie utilisée a un impact important sur les résultats réalisés. Les Types de Structuration de NPVE permettent à l'utilisateur de spécifier un domaine des stratégies d'échographie.

Remplissage Excentré

La taille d'Endroit, le redeposition du matériau, le dépôt de gaz ou les tarifs gravure à l'eau forte, Etc. tous contribuent à rendre la forme finale légèrement plus grande ou plus petite que la forme comme-tirée. Chaque forme a un paramètre de Décalage qui, une fois étalonné pour un Fonctionnement particulier, permet au NPVE automatiquement de contracter ou augmenter la forme par le montant exigé pour contacter les tolérances dimensionnelles exactes.

Structuration Sous Tension de Vue

La Visualisation du procédé de structuration de la perspective de la poutre de structuration, visualisant pas simplement avec le SEM tout en fraisant avec le BOBARD, a prouvé à être critique à la réussite dans beaucoup d'applications de BOBARD NanoPatterning.

Structuration Sous Tension de Vue de la coupe d'un nano-fil au bas d'un trou profond.

Les images en temps réel de « vue de zoom » d'affichages de NPVE des formes comme elles sont modelées, permettant le cadrage, la correction de chassoir et l'observation précis du procédé de structuration.

Texte de BOBARD

Pour le cheminement pratique des données, toutes les expériences peuvent être in-situ promptement marqué utilisant l'option des Textes de BOBARD. Toutes Les polices de ™ de MS Windows sont disponibles et le texte peut être modelé de la même manière que n'importe quelle autre forme, y compris appliquer des Recettes de Fonctionnement pour activer des chimies de gaz.

Texte de BOBARD annotant des conditions expérimentales

Transparent d'Image

Dans certaines applications positionner précis des formes peut être rendu beaucoup plus simple en recouvrant une image précédemment saisie, ou une image à partir d'une autre source telle qu'un microscope optique. Le NPVE supporte le transparent d'image, le cadrage et le réglage de transparence.

Source : « ZEISS NPVE Nanopatterning et Engine de Visualisation » par Carl Zeiss

Pour plus d'informations sur cette source, rendez visite s'il vous plaît à Carl Zeiss.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:20

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