NanoPatterning e Motore di Visualizzazione (NPVE) - Controllo Rivoluzionario del Raggio e Rappresentazione Estrema di Campo visivo da Carl Zeiss

Argomenti Coperti

Controllo Rivoluzionario del Raggio e Rappresentazione Estrema di Campo visivo
Funzionalità ed Applicazioni di NPVE
Costruttore di Schiera
Ricette di Operazione
Funzionalità Supplementari
Funzionalità di NPVE
Forme Di Base
Parametri di Modello
Forme Vuote
Modello Parallelo
Forme Scandite Vettore
Fissi le Operazioni
Stili di Modello
Materiale Di Riempimento Di Derivazione
Vive il Modello di Visualizzazione
MENTA il Testo
Foglio Di Prova di Immagine

Controllo Rivoluzionario del Raggio e Rappresentazione Estrema di Campo visivo

Il Motore di Visualizzazione e di NanoPatterning (NPVE) amplia le capacità del vostro sistema della doppio-colonna alle nuove altezze. Come adjunta al vostro sistema di Carl Zeiss, il NPVE permette al modello rapido delle funzionalità dai nanometri ai millimetri, all'esteso controllo sopra i parametri di modello ed alla rappresentazione estrema di campo visivo fino a 1 GigaPixel per immagine, tutta in un'interfaccia utente integrata e intuitiva.

Il NPVE riunisce la tecnologia doppia del generatore di scansione di 16 bit ed il hardware supersampling con una virgula mobile, motore di acquisizione del segnale di scansione di vettore. Funzionato attraverso un'interfaccia utente intuitiva, il NPVE integra uniformemente il controllo simultaneo sia del FIB-SEM (CrossBeam®) che SEM, la rappresentazione in tempo reale durante il modello e controllo automatizzato del microscopio con SmartSEM. Semplice imparare eppure estremamente potente, il sistema di NPVE è la soluzione di scelta per una vasta gamma di applicazioni della Rappresentazione e di NanoPatterning. La Sua facilità d'uso permette che anche gli utenti principianti comincino a risolvere i problemi complessi nel nanoprototyping, con o senza la chimica del gas, rapidamente e facilmente.

Il NPVE combina l'estesa, capacità flessibile di NanoPatterning con Visualizzazione sempre più vitale dei segnali generati dal raggio di modello, riunente una ricchezza di informazioni che complementano le capacità attuali della rappresentazione degli strumenti di CrossBeam®.

Oltre alle funzionalità di NanoPatterning del NPVE, l'utente può acquistare le immagini fino ad un miliardo pixel nella dimensione (32k x 32k), permettendo all'alta risoluzione, la rappresentazione estremamente grande di campo visivo. Le opzioni Supplementari permettono l'acquisizione e la cucitura automatizzate dei Mosaici di ampia area che creano un montaggio di molte immagini di alta risoluzione attigue.

Un 1 µm X 1 quadrato del µm del Fascio di Elettroni ha depositato le colonne dell'ossido di silicio. L'angolo di modello all'interno della forma quadrata è stato fissato a 45°, con gioco scelto per avere le colonne appena contattare.

A: 600 spirale Mentire-depositata diametro di nanometro 3D. B: Bacino Idrico e un µm di nano-Manica 20 lungamente e 200 nanometro di larghezza. Visualizzazione In Tempo Reale mentre macinare permette una transizione regolare e a fondo piatto dal canale al bacino idrico.

Una rappresentazione di gradazione di grigio di MENTIRE del Memoriale di Lincoln, modellata in silicio. Una fotografia invariata è stata usata come la fonte dei dati. Il tempo di modello totale era circa dieci minuti.

Funzionalità ed Applicazioni di NPVE

Costruttore di Schiera

La Creazione delle schiere delle strutture ripetitive è diretta facendo uso del Costruttore di Schiera di NPVE. Gli stili Differenti di schiera possono essere costruiti compreso le schiere della parte radiale e del regular. Il Costruttore di Schiera è risultato essere indispensabile per l'ottimizzazione trattata del gas mentre una vasta gamma di parametri possono essere variati sistematicamente su una base di forma-da-forma per progettazione rapida degli esperimenti.

I 4 tramite la schiera 4 dei rettangoli usati per il fascio di elettroni hanno assistito il deposito. Il gioco del punto dell'abitazione è stato variato dalla riga e dalla colonna.

Una parte di schiera delle forme anulari, ogni 450 nanometro di diametro, con un 1 gioco del µm (passo) fra le forme.

Visualizzazione Isometrica di un grattare di 25 righe di nanometro spaziate da 100 nanometro, direttamente modellati facendo uso di un raggio ionico di PA 10.

Ricette di Operazione

La Determinazione dei parametri di modello ottimali per raggiungere i risultati migliori può richiedere lo sforzo significativo da parte di un utente principiante.

Per facilitare questo trattamento, il NPVE spedisce con una serie di Ricette dell'Operazione che incapsula i parametri di modello ottimali attraverso un intervallo delle correnti del raggio, per molte attività comuni quali fresatura di precisione o a chimiche basate a gas.

Schiere della Nano-Colonna

Zolla di Zona

strutture del canale del Nano-Disgaggio

Mezzo Toro macinato nel diamante

Gli Utenti scelgono semplicemente una ricetta appropriata, che applica automaticamente questi parametri a qualunque forma con “un clic„. Gli Utenti possono anche modificare o generare le loro proprie ricette facendo uso dell'Editore di Ricetta dell'Operazione.

Funzionalità Supplementari

Oltre alle funzionalità indicate, il NPVE ha numerose capacità supplementari. Contatti Prego il vostro rappresentante per discutere la vostra applicazione particolare e come il NPVE può assistere nel rendere alla vostra applicazione un successo.

Funzionalità di NPVE

Forme Di Base

Il NPVE ha nove forme di base che possono essere usate o combinarsi per creare le forme più complesse. Ogni forma è composta di vertici pieno-editabili e di segmenti in un familiare di modo a chiunque che abbia usato il software dei grafici.

Il NPVE egualmente viene con un importatore del file che può leggere e convertire le 2D estrazioni in parecchi formati dello standard industriale.

Lista Di Base di Forma:

  • Rettangolo
  • Ellisse
  • Anello
  • Riga
  • Spezzata
  • Poligono
  • Trapezio
  • Testo
  • Punto

Parametri di Modello

La Scelta dei parametri di modello ottimali notevolmente pregiudica il risultato di un esperimento. Per questo motivo l'interfaccia di NPVE offre un alto livello di flessibilità nell'ottimizzazione come il raggio è mosso attraverso il campione. Virtualmente tutti i parametri concernenti il posizionamento del raggio possono essere fissati - o l'utente può scegliere una Ricetta precedentemente definita dell'Operazione che poi fisserà automaticamente i Parametri di Modello per le forme scelte.

Forme Vuote

Facendo Uso delle forme “Vuote„, il NPVE offre un metodo conveniente per impedire le regioni critiche del campione il modello dal raggio. Qualsiasi forma riempita può trasformarsi in un Vuoto. A sua volta, tutta la forma che contatta un Vuoto poi avrà la regione che contiene tutti o una parte del Vuoto escluso dal modello.

Modello Parallelo

Il Modello delle forme multiple parallelamente, piuttosto che seriale completando una forma e passando al seguente presenta i vantaggi distinti, specialmente quando usando le chimiche del gas o macinando le alte strutture di allungamento. Il NPVE supporta il modello parallelo o seriale di tutti i forme o sottoinsiemi selezionati delle forme.

Forme Scandite Vettore

Tradizionalmente, le forme sono riempite di algoritmo del tipo di quadro di scansione. Il NPVE supporta questo stile tradizionale (effettivamente che permette che una direzione di scansione arbitraria sia specificata), ma egualmente supporta lo scansione di vettore del profilo di forma. Lo scansione del Profilo può essere usato completamente per riempire una forma, o per rintracciare il perimetro della forma in un modo che segue uniformemente il profilo della forma. Le scansioni del Profilo possono essere fissate per il Centro, l'Inserzione o l'Allineamento dell'Inizio, con uno spessore specificato, o al punto di riempimento della forma. Come altrove, il NPVE permette il controllo completo dei parametri di modello quale il gioco del punto dell'abitazione lungo ogni “percorso„ e fra “i percorsi„, come gli angoli sono squadrati, Ecc.

Simulazione del punto dell'Abitazione alla sovrapposizione di 50%, di una forma del profilo con la simmetria composta di dieci parti

Fissi le Operazioni

La Creazione delle forme complesse è resa più facile usando le Operazioni Stabilite di NPVE. Le Diverse forme possono combinarsi con le Operazioni Stabilite per creare l'Unione, la Differenza, l'Intersezione, la DISGIUNZIONE ESCLUSIVA o la versione Tagliata delle forme. Ogni forma derivata rimane completamente editabile, con i nuovi vertici che sono determinati tramite l'Operazione Stabilita particolare impiegata. Facendo Uso delle Operazioni Stabilite, le forme di sovrapposizione ed il doppio errore di dosaggio erroneo risultante possono eliminarsi.

Stili di Modello

La strategia particolare di scansione impiegata ha un impatto significativo sui risultati raggiunti. Gli Stili di Modello di NPVE permettono che l'utente specifichi un intervallo delle strategie di scansione.

Materiale Di Riempimento Di Derivazione

La dimensione di Punto, il redeposition di materiale, il deposito del gas o le tariffe incissione all'acquaforte, Ecc. tutto contribuiscono a rendere la forma definitiva leggermente più grande o più piccola della forma come-dissipata. Ogni forma ha un parametro di Stampa Offset che, calibrato una volta per un'Operazione particolare, permette che il NPVE contragga o ampli automaticamente la forma dall'importo richiesto per incontrare le tolleranze dimensionali esatte.

Vive il Modello di Visualizzazione

La Visualizzazione del trattamento di modello dal punto di vista del raggio di modello, non soltanto osservante con SEM mentre macina con il MENTIRE, è risultato essere critica al successo in molte applicazioni FIB NanoPatterning.

Vive il Modello di Visualizzazione del taglio di un nano-collegare al fondo di un foro profondo.

Le immagini in tempo reale di visualizzazione dello zoom„ delle visualizzazioni di NPVE “delle forme come sono modellati, permettendo allineamento, correzione di deriva ed osservazione precisi del trattamento di modello.

MENTA il Testo

Per tenere la carreggiata conveniente dei dati, tutti gli esperimenti possono essere in situ prontamente tracciato facendo uso dell'opzione del Testo di MENTIRE. Tutte Le fonti tipografiche del ™ di MS Windows sono disponibili ed il testo può essere modellato allo stesso modo come qualunque altra forma, compreso l'applicazione delle Ricette dell'Operazione per permettere alle chimiche del gas.

MENTA il Testo che annota le circostanze sperimentali

Foglio Di Prova di Immagine

In determinate applicazioni il posizionamento preciso delle forme può essere reso molto più semplice sovrapponendo da un'immagine precedentemente acquistata, o da un'immagine da un'altra sorgente quale un microscopio ottico. Il NPVE supporta il foglio di prova di immagine, l'allineamento e l'adeguamento della trasparenza.

Sorgente: “ZEISS NPVE Nanopatterning & Motore di Visualizzazione„ da Carl Zeiss

Per ulteriori informazioni su questa sorgente, visualizzi prego Carl Zeiss.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:28

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