De Motor van NanoPatterning en van de Visualisatie (NPVE) - de Revolutionaire Controle van de Straal en de Extreme Weergave van het Gebied Van Mening door Carl Zeiss

Besproken Onderwerpen

De Revolutionaire Controle van de Straal en de Extreme Weergave van het Gebied Van Mening
Eigenschappen NPVE en Toepassingen
De Bouwer van de Serie
De Recepten van de Verrichting
Extra Eigenschappen
Eigenschappen NPVE
Basis Vormen
Het Vormen van Parameters
Nietige Vormen
Het Parallelle Vormen
Vector Afgetaste Vormen
Vastgestelde Verrichtingen
Het Vormen van Stijlen
De Compensatie Vult
Leef het Vormen van de Mening
LIEG Tekst
De Bekleding van het Beeld

De Revolutionaire Controle van de Straal en de Extreme Weergave van het Gebied Van Mening

De Motor van NanoPatterning en van de Visualisatie (NPVE) breidt de mogelijkheden van uw dubbel-kolomsysteem aan nieuwe hoogten uit. Als rand aan uw systeem van Carl Zeiss, laat NPVE snelle prototyping van eigenschappen van nanometers aan millimeter toe, uitgebreide controle over het vormen van parameters en extreme gebieds van mening weergave tot 1 GigaPixel per beeld, allen in een geïntegreerd, intuïtief gebruikersinterface.

NPVE brengt de dubbele technologie met 16 bits van de aftastengenerator en de supersampling hardware van de signaalaanwinst met een drijvend punt samen, vectoraftastenmotor. In Werking Gesteld door een intuïtief gebruikersinterface, integreert NPVE regelmatig gelijktijdige controle van zowel liegenen-SEM (CrossBeam®) en SEM, weergave in real time tijdens het vormen en geautomatiseerde controle van de microscoop door SmartSEM. Eenvoudig om uiterst krachtig nog te leren, is het systeem NPVE de oplossing van keus voor een brede waaier van de toepassingen van NanoPatterning en van de Weergave. Zijn handigheid staat zelfs beginnergebruikers toe beginnen oplossend complexe problemen in het nanoprototyping, met of zonder gaschemie, snel en gemakkelijk.

NPVE combineert uitgebreid, flexibel vermogen NanoPatterning met meer en meer essentiële die Visualisatie van signalen die door de het vormen straal worden geproduceerd, een rijkdom aan informatie samenbrengen die de bestaande weergavemogelijkheden van de instrumenten CrossBeam® aanvult.

Naast de eigenschappen NanoPatterning van NPVE, kan de gebruiker beelden tot één miljard pixel in grootte (32k x 32k) verwerven, toelatend hoge resolutie, uiterst grote gebieds van mening weergave. De Extra opties staan het geautomatiseerde aanwinst en stikken van groot gebiedsMozaïeken creërend toe een montering van vele aangrenzende hoge resolutiebeelden.

A1 µm X 1 vierkant µm van Pijlers van het het siliciumoxyde van de Elektronenstraal de gedeponeerde. De het vormen hoek binnen de vierkante vorm werd geplaatst aan 45°, met uit elkaar plaatsen verkozen om de pijlers te hebben enkel contacterend.

A: 600 NMdiameter liegenen-Gedeponeerde 3D rol. B: Reservoir en een nano-kanaal 20 lange µm en 200 NM in breedte. Visualisatie In Real Time terwijl het malen een vlotte, platboomde overgang van kanaal aan reservoir toestaat.

FIB grayscale teruggeven van het Gedenkteken van Lincoln, gevormd in silicium. Een ongewijzigde foto werd gebruikt als gegevensbron. Het totaal die tijd vormen was ongeveer tien minuten.

Eigenschappen NPVE en Toepassingen

De Bouwer van de Serie

Creëren van series van herhaalde structuren is ongecompliceerd gebruikend de Bouwer van de Serie NPVE. De Verschillende seriestijlen kunnen met inbegrip van regelmatige en radiale series worden geconstrueerd. De Bouwer van de Serie is onontbeerlijk voor de optimalisering van het gasproces gebleken te zijn aangezien een brede waaier van parameters systematisch op een vorm-door-vorm basis voor snel ontwerp van experimenten kan worden gevarieerd.

Stonden 4 door serie 4 van rechthoeken voor elektronenstraal worden gebruikt deposito dat bij. Blijf stilstaan punt het uit elkaar plaatsen werd gevarieerd door rij en door kolom.

Een gedeelte van een serie van ringvormige vormen, elke 450 NM in diameter, met a1 µm die (hoogte) uit elkaar plaatsen tussen vormen.

Isometrische mening van grating van 25 die NMlijnen door 100 gevormde NM uit elkaar worden geplaatst, direct gebruikend een 10 pa ionenstraal.

De Recepten van de Verrichting

Het Bepalen van optimale het vormen parameters om de zeer beste resultaten te bereiken kan significante inspanning namens een beginnergebruiker vereisen.

Om dit proces te vergemakkelijken, de schepen NPVE met een aantal Recepten van de Verrichting dat de optimale het vormen parameters over een waaier van straalstromen, voor vele gemeenschappelijke taken zoals precisiemalen of op gas-gebaseerde chemie inkapselt.

De series van de nano-pijler

De plaat van de Streek

Het kanaalstructuren van de nano-Schaal

Helft-Torus in diamant wordt gemalen die

De Gebruikers kiezen eenvoudig een aangewezen recept, dat automatisch deze parameters op om het even welke vorm met „één klikt“ toepast. De Gebruikers kunnen hun eigen recepten ook wijzigen of produceren gebruikend de Redacteur van het Recept van de Verrichting.

Extra Eigenschappen

Naast de getoonde eigenschappen, heeft NPVE talrijke extra mogelijkheden. Tevreden om uw vertegenwoordiger te contacteren om uw bijzondere toepassing te bespreken, en hoe NPVE in het maken van tot uw toepassing kan bijwonen een succes.

Eigenschappen NPVE

Basis Vormen

NPVE heeft negen basisvormen die kunnen worden gebruikt of worden gecombineerd om complexere vormen tot stand te brengen. Elke vorm is samengesteld uit volledig-editable knopen en segmenten op een manier vertrouwd aan iedereen wie grafieksoftware heeft gebruikt.

NPVE komt ook met een dossierimporteur wat 2D tekeningen in verscheidene de industrie standaardformaten lezen en kan omzetten.

De Basis Lijst van de Vorm:

  • Rechthoek
  • Ellips
  • Ring
  • Lijn
  • Polyline
  • Veelhoek
  • Trapezoïde
  • Tekst
  • Vlek

Het Vormen van Parameters

Het Kiezen van de optimale het vormen parameters beïnvloedt zeer het resultaat van een experiment. Om deze reden biedt de interface NPVE een hoge graad van flexibiliteit in het optimaliseren van aan hoe de straal over de steekproef wordt bewogen. Vrijwel alle parameters met betrekking tot straal het plaatsen kunnen worden geplaatst - of de gebruiker kan een eerder bepaald Recept van de Verrichting kiezen dat dan automatisch de het Vormen Parameters voor de gekozen vormen zal plaatsen.

Nietige Vormen

Gebruikend „Nietige“ vormen, biedt NPVE een geschikte methode aan om kritieke steekproefgebieden door de straal te verhinderen worden gevormd. Om Het Even Welke gevulde vorm kan in een Leegte worden omgezet. Beurtelings die, zal om het even welke vorm die een Leegte contacteert dan het gebied hebben dat allen of een gedeelte van de Leegte bevat van het vormen wordt uitgesloten.

Het Parallelle Vormen

Het Vormen van veelvoudige vormen tegelijkertijd, eerder dan zich de voltooiing van in afleveringen één vorm en bewegen op volgende heeft verschillende voordelen, in het bijzonder wanneer het gebruiken van gaschemie of het malen van hoge aspectverhouding structuren. NPVE steunt het parallelle of periodieke vormen van alle vormen of geselecteerde ondergroepen van vormen.

Vector Afgetaste Vormen

Traditioneel, worden de vormen gevuld met een rooster-als aftastenalgoritme. NPVE steunt dit in traditionele stijl (inderdaad toelatend een willekeurige aftastenrichting om worden gespecificeerd), maar het steunt ook vectoraftasten van het vormoverzicht. Het aftasten van het Overzicht kan worden gebruikt om een vorm volledig te vullen, of de perimeter van de vorm op een manier te vinden die regelmatig het overzicht van de vorm volgt. Het aftasten van het Overzicht kan voor de Groepering van het Centrum, van het Bijvoegsel of van het Begin, of met een gespecificeerde dikte, of aan het punt worden geplaatst van het vullen van de vorm. Zoals elders, staat toe NPVE de volledige controle van het vormen van parameters zoals punt het uit elkaar plaatsen langs elke „weg“ en tussen „wegen“ blijft stilstaan, hoe de hoeken mitered, enz. zijn.

Blijf Stilstaan puntsimulatie bij 50% overlapping, van een overzichtsvorm met tienvoudige symmetrie

Plaats Verrichtingen

Creëren van complexe vormen wordt gemaakt gemakkelijker door de Vastgestelde Verrichtingen te gebruiken NPVE. De Individuele vormen kunnen met Vastgestelde Verrichtingen worden gecombineerd om de Unie, het Verschil, de Kruising, XOR of de Geknipte versie van de vormen tot stand te brengen. Elk leidde vorm af blijft volledig editable, met nieuwe knopen die door de bijzondere Vastgestelde aangewende Verrichting worden bepaald. Het Gebruiken van Vastgestelde Verrichtingen, vormen overlappen en de resulterende onjuiste dubbele het doseren fout die kan worden geëlimineerd.

Het Vormen van Stijlen

De bijzondere aangewende aftastenstrategie heeft een significante invloed op de bereikte resultaten. NPVE die Stijlen Vormen staat de gebruiker om een waaier van aftastenstrategieën te specificeren toe.

De Compensatie Vult

De grootte van de Vlek, redeposition van materiaal, gasdeposito of etst tarieven, enz. allen tot kleiner het maken van de definitieve vorm lichtjes groter of dan de zoals-getrokken vorm bijdragen. Elke die vorm heeft een parameter van de Compensatie die, eens voor een bepaalde Verrichting wordt, NPVE toestaat om de vorm automatisch aan te gaan of uit te breiden die door het bedrag wordt vereist gekalibreerd om de nauwkeurige dimensionale tolerantie te ontmoeten.

Leef het Vormen van de Mening

De Visualisatie van het het vormen proces vanuit het perspectief die van de het vormen straal, niet slechts met SEM bekijken terwijl het malen met FIB, is kritiek aan het succes in vele toepassingen van FIB NanoPatterning gebleken te zijn.

Leef het Vormen van de Mening van het knipsel van een nano-draad bij de bodem van een diep gat.

De menings“ beelden in real time NPVE van het vertoningen de „gezoem van vormen aangezien zij gevormd zijn, toestaand nauwkeurige groepering, afwijkingscorrectie en observatie van het het vormen proces.

LIEG Tekst

Voor het geschikte volgen van gegevens, kunnen alle experimenten gemakkelijk duidelijke in situ zijn gebruikend de FIB optie van de Tekst. Alle doopvonten van MS-Windows ™ zijn beschikbaar en de tekst kan op de zelfde manier worden gevormd aangezien een andere vorm, met inbegrip van het toepassen van de Recepten van de Verrichting om gaschemie toe te laten.

LIEG Tekst annoterend experimentele voorwaarden

De Bekleding van het Beeld

In bepaalde toepassingen het nauwkeurige kan plaatsen van vormen veel eenvoudiger door het bedekken van een eerder verworven beeld, of een beeld uit een andere bron zoals een optische microscoop worden gemaakt. NPVE steunt beeldbekleding, groepering en transparantieaanpassing.

Bron: „ZEISS NPVE Nanopatterning & de Motor van de Visualisatie“ door Carl Zeiss

Voor meer informatie over deze bron, te bezoeken gelieve Carl Zeiss.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:16

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit