NanoPatterning и Двигатель Визуализирования (NPVE) - Революционное Управление Луча и Весьма Воображение Области Видимости Карл Zeiss

Покрытые Темы

Революционное Управление Луча и Весьма Воображение Области Видимости
Характеристики и Применения NPVE
Строитель Блока
Рецепты Деятельности
Дополнительные Характеристики
Характеристики NPVE
Основные Формы
Делая По Образцу Параметры
Пустые Формы
Параллельный Делать По Образцу
Формы Просмотренные Вектором
Установите Деятельности
Делая По Образцу Типы
Смещенное Заполнение
Делать По Образцу В Реальном Маштабе Времени Взгляда
Текст FIB
Верхний Слой Изображения

Революционное Управление Луча и Весьма Воображение Области Видимости

Двигатель NanoPatterning и Визуализирования (NPVE) расширяет возможности вашей системы двойн-колонки к новым высотам. Как расширение к вашей системе Карл Zeiss, NPVE включает быстрое прототипирование характеристик от нанометров к миллиметрам, обширное управление над делая по образцу параметрами и весьма воображение области видимости до 1 GigaPixel согласно с изображение, все в интегрированном, интуитивном пользовательском интерфейсе.

NPVE приносит совместно двойную технологию генератора развертки 16 битов и supersampling оборудование с плавающей запятой, двигатель приема сигнала развертки вектора. Работано через интуитивный пользовательский интерфейс, NPVE ровно интегрирует одновременное управление и FIB-SEM (CrossBeam®) и SEM, в реальном масштабе времени воображения во время делать по образцу и автоматизированного управления микроскопа через SmartSEM. Просто для того чтобы выучить но весьма мощно, система NPVE разрешение выбора для широкого диапазона применений NanoPatterning и Воображения. Свой легкий в использовании позволяет даже пользователям послушника начать разрешать комплексные проблемы в nanoprototyping, с или без химии газа, быстро и легко.

NPVE совмещает обширную, гибкую возможность NanoPatterning с все больше и больше существенным Визуализированием сигналов произведенных делая по образцу лучем, принося совместно богатство информацию которая комплектует существующие возможности воображения аппаратур CrossBeam®.

В дополнение к характеристикам NanoPatterning NPVE, пользователь может приобрести изображения до один миллиарда пикселов в размере (32k x 32k), включающ высокое разрешение, весьма большое воображение области видимости. Дополнительные варианты позволяют автоматизированным приему и шить Мозаик обширного района создавая монтаж много сопредельных высоких изображений разрешения.

1 µm X 1 квадрат µm Луча Электронов депозировало штендеры окиси кремния. Был установлен делая по образцу угол в пределах квадратной формы к 45°, при дистанционирование выбранное для того чтобы иметь штендеры как раз контактировать.

A: 600 катушка nm FIB-депозированная диаметром 3D. B: Резервуар и µm nano-канала 20 длиной и 200 nm в ширине. В Реальном Масштабе Времени визуализирование пока филировать позволяет ровному, плоскодонному переходу от канала к резервуару.

Перевод серой шкалы FIB Мемориала Линкольна, сделанный по образцу в кремний. Unmodified фотоснимок был использован как источник данных. Полное делая по образцу время было приблизительно 10 минут.

Характеристики и Применения NPVE

Строитель Блока

Создавать блоки повторяющийся структур прямодушен используя Строителя Блока NPVE. Различные типы блока можно построить включая блоки постоянного посетителя и radial. Строитель Блока доказал быть непременн для оптимизации производственного процесса газа по мере того как широкий диапазон параметров можно систематически поменять на основание форм--формы для быстрой планировки экспериментов.

4 блоком 4 прямоугольников используемых для луча электронов помогли низложению. Дистанционирование пункта dwell было поменяно рядком и колонкой.

Часть блока кольцевых форм, каждые 450 nm в диаметре, с 1 дистанционированием µm (тангажом) между формами.

Равновеликий взгляд скрежетать 25 линий nm размеченных 100 nm, сразу сделанным по образцу используя луч иона PA 10.

Рецепты Деятельности

Определять оптимальные делая по образцу параметры для того чтобы достигнуть очень самых лучших результатов может требовать значительно усилия на части пользователя послушника.

Облегчить этот процесс, корабли NPVE с несколькими Рецептов Деятельности который помещает оптимальные делая по образцу параметры через ряд токов пучка лучей, ибо много задач общего как точность филируя или газ-основанных химии.

Блоки Nano-Штендера

Зональная пластинка

структуры канала Nano-Маштаба

Половин-Торус филированный в диамант

Пользователи просто выбирают соотвествующий рецепт, который автоматически прикладывает эти параметры к любой форме с «одним щелчком». Пользователи могут также доработать или произвести их собственные рецепты используя Редактор Рецепта Деятельности.

Дополнительные Характеристики

В дополнение к показанным характеристикам, NPVE имеет многочисленние дополнительные возможности. Пожалуйста контактируйте ваш представителя по сбыту для того чтобы обсудить ваше определенное применение, и как NPVE может помочь в делать вашим применением успех.

Характеристики NPVE

Основные Формы

NPVE имеет 9 основных форм могущие понадобиться или совместило для того чтобы создать более сложные формы. Каждая форма составлена полн-editable узлов и этапов в близком друге образа к любому которое использовало ПО графиков.

NPVE также приходит с импортером архива который может прочитать и преобразовать 2D чертежи в нескольких форматов индустриального стандарта.

Основной Список Формы:

  • Прямоугольник
  • Эллипсис
  • Кольцо
  • Линия
  • Polyline
  • Полигон
  • Трапецоид
  • Текст
  • Пятно

Делая По Образцу Параметры

Выбирать оптимальные делая по образцу параметры значительно влияет на исход эксперимента. Для этой причины интерфейс NPVE предлагает высокую степень гибкости в оптимизировать как луч двинут через образец. Фактически все параметры касаясь юстировки пучка можно установить - или пользователь может выбрать ранее определенный Рецепт Деятельности который после этого автоматически установит Делая По Образцу Параметры для выбранных форм.

Пустые Формы

Используя «Пустые» формы, NPVE предлагает удобный метод для того чтобы предотвратить критические зоны образца от быть сделанным по образцу лучем. Любая заполненная форма может быть повернута в Свободное Пространство. В свою очередь, любая форма которая контактирует Свободное Пространство после этого будет иметь зону которая содержит все или часть Свободного Пространства исключенного от делать по образцу.

Параллельный Делать По Образцу

Делать По Образцу множественные формы в параллели, вернее чем серийно завершающ одну форму и двигающ на следующее имеет определенные преимущества, в частности при использовании химий газа или филирующ высокие структуры коэффициента сжатия. NPVE поддерживает параллельный или серийный делать по образцу всех форм или выбранных подсовокупностей форм.

Формы Просмотренные Вектором

Традиционно, формы заполнены с a растр-как алгоритм развертки. NPVE поддерживает этот традиционный тип (деиствительно позволяя произвольному направлению сканирования быть определенным), но оно также поддерживает скеннирование вектора плана формы. Скеннирование Плана можно использовать вполне для того чтобы заполнить форму, или трассировать периметр формы в образе который ровно следовать планом формы. Развертки Плана можно установить для Центра, Inset или Выравнивания Outset, или с определенной толщиной, или к пункту заполнять форму. Как в другом месте, NPVE позволяет полному контролю делая по образцу параметров как дистанционирование пункта dwell вдоль каждого «путя» и между «путями», как углы mitered, Etc.

Имитация пункта Dwell на перекрытии 50%, формы плана с десятикратной симметрией

Установите Деятельности

Создавать сложные формы сделан более легкой путем использование Деятельностей NPVE Установленных. Индивидуальные формы могут быть совмещены с Установленными Деятельностями для того чтобы создать Соединение, Разницу, Пересечение, XOR или Закрепленную версию форм. Каждая выведенная форма остает полно editable, при новые узлы будучи определянной определенной Установленной используемой Деятельностью. Используя Установленные Деятельности, перекрывая формы и приводя к ошибочную двойную дозируя ошибку можно исключить.

Делая По Образцу Типы

Определенная используемая стратегия развертки имеет огромное воздействие на достиганных результатах. Типы NPVE Делая По Образцу позволяют пользователю определить ряд стратегий развертки.

Смещенное Заполнение

Размер места, redeposition материала, низложение газа или тарифы etch, Etc. все внести вклад в делающ окончательную форму немножко более большим или более малым чем как-нарисованная форма. Каждая форма имеет параметр Смещения который, раз калибрируемый для определенной Деятельности, позволяет NPVE автоматически заключить контракт или расширить форму количеством необходимо, что встретил точные допуски размеров.

Делать По Образцу В Реальном Маштабе Времени Взгляда

Визуализирование делая по образцу процесса от перспективы делая по образцу луча, просто осматривая с SEM пока филирующ с FIB, доказывало быть критическим к успеху в много применений FIB NanoPatterning.

Делать По Образцу В Реальном Маштабе Времени Взгляда вырезывания nano-провода на дне глубокого отверстия.

Изображения взгляда сигнала» дисплеев NPVE «в реальном масштабе времени форм по мере того как они сделаны по образцу, позволяющ точным выравниванию, поправке на снос и замечанию делая по образцу процесса.

Текст FIB

Для удобный отслеживать данных, все эксперименты можно охотно маркировать в-situ использовании варианта Текста FIB. Все купели ™ MS Windows доступны и текст можно сделать по образцу тем же самым способом, что любая другая форма, включая прикладывать Рецепты Деятельности для того чтобы включить химии газа.

Текст FIB аннотируя экспириментально условия

Верхний Слой Изображения

В некоторых применениях точный располагать форм может быть сделан гораздо простее путем overlaying ранее приобретенное изображение, или изображение от другого источника как оптически микроскоп. NPVE поддерживает верхний слой изображения, выравнивание и регулировку транспаранта.

Источник: «ZEISS NPVE Nanopatterning & Двигатель Визуализирования» Карл Zeiss

Для больше информации на этом источнике, пожалуйста навестиньте Карл Zeiss.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:52

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit