NanoPatterning 和形象化引擎 (NPVE) - 革命射线控制和极其视野想象卡尔蔡司

包括的事宜

革命射线控制和极其视野想象
NPVE 功能和应用
列阵建造者
运算处方
另外的功能
NPVE 功能
基本的形状
仿造的参数
无效形状
并行仿造
向量浏览的形状
集运算
仿造的样式
抵销装载
活视图仿造
小谎文本
图象重叠

革命射线控制和极其视野想象

NanoPatterning 和形象化引擎 (NPVE) 扩展您的双重列系统的功能对新的高度。 作为对您的卡尔蔡司系统的一个附加程序, NPVE 启用功能迅速原型从毫微米到毫米,对仿造的参数的广泛的控制和极其视野想象至每个图象,全部 1 GigaPixel 在一个集成,直观用户接口。

NPVE 带来双重 16 位扫描生成器技术和 supersampling 的信号购买硬件有浮动小数点的,向量扫描引擎。 运行通过一个直观用户接口, NPVE 顺利地集成同时控制 FIB-SEM (CrossBeam®) 和 SEM、实时想象在仿造期间和显微镜的自动化的控制通过 SmartSEM。 简单了解,非常强大, NPVE 系统是选择的解决方法各种各样的 NanoPatterning 和想象应用的。 其易用允许甚而新手用户开始解决在 nanoprototyping 的复杂问题,有或没有气体化学,迅速和容易地。

NPVE 与越来越这条仿造的射线生成的信号的重要形象化结合广泛,灵活的 NanoPatterning 功能,带来补充 CrossBeam® 仪器的现有的想象功能的许多信息。

除 NPVE 的 NanoPatterning 功能之外,这个用户可能在大小上获取图象至一十亿象素 (32k x 32k),启用高分辨率,庞大的视野想象。 另外的选项允许自动化的购买和缝创建许多接触高分辨率图象的蒙太奇大区马赛克。

一 1 µm X 电子束 1 个 µm 正方形存款氧化硅柱子。 设置了在方形形状内的仿造的角度对 45°,当间隔被选择有柱子接触。

A : 600 个毫微米直径小谎存款 3D 卷。 B : 长期水库和纳诺通道 20 µm 和 200 毫微米在宽度。 实时形象化,当碾碎允许一个平稳,平底的转移从通道到水库时。

林肯纪念堂的小谎灰色极谱翻译,被仿造到硅。 一张非限定的照片使用了作为这个数据来源。 总仿造的时间是大约十分钟。

NPVE 功能和应用

列阵建造者

创建一些重复性结构使用 NPVE 列阵建造者是直接的。 不同的列阵样式可以被修建包括正常和辐形列阵。 当各种各样的参数可以系统地变化根据为实验,迅速设计的形状由形状基本类型列阵建造者证明不可缺少的为气体工艺过程最佳化。

一 4 由 4 用于电子束的长方形协助解决证言。 列变化居住点间隔被行和。

的部分环型形状,每 450 毫微米直径,与一个 1 个 µm 间隔 (间距) 在形状之间。

等轴测图 100 空间的磨碎 25 条毫微米线路毫微米,直接地被仿造使用 10 pA 离子束。

运算处方

确定最佳的仿造的参数取得最佳的结果可能要求重大成就在新手用户部分。

实现浓缩最佳的仿造的参数在射线当前间的范围的此进程、 NPVE 船有一定数量的运算处方的,为了许多公用任务例如碾碎的精确度或基于气体的化学。

纳诺柱子列阵

同心圆绕射板

纳诺缩放比例通道结构

半花托被碾碎到金刚石

用户选择一份适当的处方,自动地运用这些参数于与 “一单击的”任何形状。 使用运算处方编辑,用户可能也修改或生成他们自己的处方。

另外的功能

除显示的功能之外, NPVE 有许多另外的功能。 请与您的销售代理商联系讨论您的特殊应用,并且 NPVE 如何可能协助解决做您的应用成功。

NPVE 功能

基本的形状

NPVE 有可以用于或被结合创建更加复杂的形状的九基本的形状。 每形状由充分编辑可能的节点和细分市场组成有些熟悉对使用了图象软件的人。

NPVE 也来与能读和转换第 2 张图画以几个工业标准格式的文件进口商。

基本的形状列表:

  • 长方形
  • 椭圆
  • 环形
  • 线路
  • 折线
  • 多角形
  • 梯形
  • 文本
  • 地点

仿造的参数

选择最佳的仿造的参数非常地影响实验的结果。 为此 NPVE 界面提供高度在优选这条射线如何的灵活性在这个范例间被移动。 实际上可以设置与射线确定相关的所有参数 - 或这个用户能选择将自动地然后设置选择的形状的仿造的参数的一份以前被定义的运算处方。

无效形状

使用 “无效”形状, NPVE 提供一个方便方法防止重要范例地区被仿造由这条射线。 任何被装载的形状可能把变成无效。 反过来,与无效联系的所有形状然后将有包含所有的区域或从仿造排除的无效的部分。

并行仿造

平行仿造多个形状,而不是逐次地完成一形状和移动在下上有明显的好处,特别地当曾经气体化学或碾碎高长宽比结构时。 NPVE 支持并行或序列仿造形状的所有形状或所选的子集。

向量浏览的形状

传统上,形状充满一个象光栅的扫描算法。 NPVE 支持此传统风格 (的确允许一个任意扫描方向指定),但是它也支持形状分级显示的向量扫描。 概述扫描可以用于完全地装载形状,或者有些跟踪顺利地按照形状的分级显示形状的外围。 概述扫描可以为中心、插页或者最初对准线被设置,与一个指定的厚度,或者对点装载形状。 作为在别处, NPVE 允许仿造的参数全面控制例如居住点间隔沿每个 “路径”和在 “路径”,角落如何被斜接等等之间。

居住在 50% 重叠的点模拟,与十倍的对称的概述形状

集运算

创建复杂形状使容易通过使用 NPVE 集运算。 各自的形状可能结合以集运算创建形状的联盟、区别、交叉点、 XOR 或者截去的版本。 每派生的形状依然是充分地编辑可能,当新的节点取决于被使用的特殊集运算。 使用集运算,可以消灭重叠的形状和这个发生的不正确的双药量的错误。

仿造的样式

被使用的特殊扫描方法有对取得的结果的重大影向。 NPVE 仿造的样式允许这个用户指定扫描方法的范围。

抵销装载

材料的光点直径、再沉淀,气体证言或者铭刻费率等等全部小于被画的形状造成使最终形状轻微大或。 每形状有,一次校准为特殊运算,允许 NPVE 由要求的这个金额自动地收缩或扩展形状满足确切的尺寸容差的抵销参数。

活视图仿造

从这条仿造的射线的角度,不仅仅查看用 SEM 的仿造的进程的形象化,当碾碎与小谎时,证明重要的对在小谎 NanoPatterning 的许多应用的成功。

活视图仿造一个纳诺电汇的剪切在一个深坑的底层的。

形状的 NPVE 显示实时 “缩放视图”图象,他们被仿造,允许仿造的进程的准确的对准线、漂移校正和观察。

小谎文本

使用小谎文本选项,对方便跟踪数据,所有实验可以容易地被标记的原地。 所有微软视窗™字体是可用的,并且这个文本可以被仿造与其他形状同样,包括运用运算处方启用气体化学。

附注试验条件的小谎文本

图象重叠

在某些应用准确确定形状可以由覆盖一个以前获取的图象或者图象使更加简单由另一个来源例如一个光学显微镜。 NPVE 支持图象重叠、对准线和透明度调整。

来源: “蔡司 NPVE Nanopatterning & 形象化引擎”卡尔蔡司

关于此来源的更多信息,请拜访卡尔蔡司

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:09

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