NanoPatterning 和形象化引擎 (NPVE) - 革命射線控制和極其視野想像卡爾蔡司

包括的事宜

革命射線控制和極其視野想像
NPVE 功能和應用
列陣建造者
運算處方
另外的功能
NPVE 功能
基本的形狀
仿造的參數
無效形狀
並行仿造
向量瀏覽的形狀
集運算
仿造的樣式
抵銷裝載
活視圖仿造
小謊文本
圖像重疊

革命射線控制和極其視野想像

NanoPatterning 和形象化引擎 (NPVE) 擴展您的雙重列系統的功能對新的高度。 作為對您的卡爾蔡司系統的一個附加程序, NPVE 啟用功能迅速原型從毫微米到毫米,對仿造的參數的廣泛的控制和極其視野想像至每個圖像,全部 1 GigaPixel 在一個集成,直觀用戶接口。

NPVE 帶來雙重 16 位掃描生成器技術和 supersampling 的信號購買硬件有浮動小數點的,向量掃描引擎。 運行通過一個直觀用戶接口, NPVE 順利地集成同時控制 FIB-SEM (CrossBeam®) 和 SEM、實時想像在仿造期間和顯微鏡的自動化的控制通過 SmartSEM。 簡單瞭解,非常強大, NPVE 系統是選擇的解決方法各種各樣的 NanoPatterning 和想像應用的。 其易用允許甚而新手用戶開始解決在 nanoprototyping 的複雜問題,有或沒有氣體化學,迅速和容易地。

NPVE 與越來越這條仿造的射線生成的信號的重要形象化結合廣泛,靈活的 NanoPatterning 功能,帶來補充 CrossBeam® 儀器的現有的想像功能的許多信息。

除 NPVE 的 NanoPatterning 功能之外,這個用戶可能在大小上獲取圖像至一十億像素 (32k x 32k),啟用高分辨率,龐大的視野想像。 另外的選項允許自動化的購買和縫創建許多接觸高分辨率圖像的蒙太奇大區馬賽克。

一 1 µm X 電子束 1 個 µm 正方形存款氧化硅柱子。 設置了在方形形狀內的仿造的角度對 45°,当間隔被選擇有柱子接觸。

A : 600 个毫微米直徑小謊存款 3D 捲。 B : 長期水庫和納諾通道 20 µm 和 200 毫微米在寬度。 實時形象化,當碾碎允許一個平穩,平底的轉移從通道到水庫時。

林肯紀念堂的小謊灰色極譜翻譯,被仿造到硅。 一張非限定的照片使用了作為這個數據來源。 總仿造的時間是大約十分鐘。

NPVE 功能和應用

列陣建造者

創建一些重複性結構使用 NPVE 列陣建造者是直接的。 不同的列陣樣式可以被修建包括正常和輻形列陣。 當各種各樣的參數可以系統地變化根據為實驗,迅速設計的形狀由形狀基本類型列陣建造者證明不可缺少的為氣體工藝過程最佳化。

一 4 由 4 用於電子束的長方形協助解決證言。 列變化居住點間隔被行和。

的部分環型形狀,每 450 毫微米直徑,與一個 1 個 µm 間隔 (間距) 在形狀之間。

等軸測圖 100 空間的磨碎 25 條毫微米線路毫微米,直接地被仿造使用 10 pA 離子束。

運算處方

確定最佳的仿造的參數取得最佳的結果可能要求重大成就在新手用戶部分。

實現濃縮最佳的仿造的參數在射線當前間的範圍的此進程、 NPVE 船有一定數量的運算處方的,為了許多公用任務例如碾碎的精確度或基於氣體的化學。

納諾柱子列陣

同心圓繞射板

納諾縮放比例通道結構

半花托被碾碎到金剛石

用戶選擇一份適當的處方,自動地運用這些參數於與 「一單擊的」任何形狀。 使用運算處方編輯,用戶可能也修改或生成他們自己的處方。

另外的功能

除顯示的功能之外, NPVE 有許多另外的功能。 請請與您的銷售代理商聯繫討論您的特殊應用,并且 NPVE 如何可能協助解決做您的應用成功。

NPVE 功能

基本的形狀

NPVE 有可以用於或被結合創建更加複雜的形狀的九基本的形狀。 每形狀由充分編輯可能的節點和細分市場組成有些熟悉對使用了圖像軟件的人。

NPVE 也來與能讀和轉換第 2 張圖畫以幾個工業標準格式的文件進口商。

基本的形狀列表:

  • 長方形
  • 橢圓
  • 環形
  • 線路
  • 折線
  • 多角形
  • 梯形
  • 文本
  • 地點

仿造的參數

選擇最佳的仿造的參數非常地影響實驗的結果。 為此 NPVE 界面提供高度在優選這條射線如何的靈活性在這個範例間被移動。 實際上可以設置與射線確定相關的所有參數 - 或這個用戶能選擇將自動地然後設置選擇的形狀的仿造的參數的一份以前被定義的運算處方。

無效形狀

使用 「無效」形狀, NPVE 提供一個方便方法防止重要範例地區被仿造由這條射線。 任何被裝載的形狀可能把變成無效。 反過來,與無效聯繫的所有形狀然後將有包含所有的區域或從仿造排除的無效的部分。

並行仿造

平行仿造多個形狀,而不是逐次地完成一形狀和移動在下上有明顯的好處,特別地當曾經氣體化學或碾碎高長寬比結構時。 NPVE 支持並行或序列仿造形狀的所有形狀或所選的子集。

向量瀏覽的形狀

傳統上,形狀充滿一個像光柵的掃描算法。 NPVE 支持此傳統風格 (的確允許一個任意掃描方向指定),但是它也支持形狀分級顯示的向量掃描。 概述掃描可以用於完全地裝載形狀,或者有些跟蹤順利地按照形狀的分級顯示形狀的外圍。 概述掃描可以為中心、插頁或者最初對準線被設置,與一個指定的厚度,或者對點裝載形狀。 作為在別處, NPVE 允許仿造的參數全面控制例如居住點間隔沿每個 「路徑」和在 「路徑」,角落如何被斜接等等之間。

居住在 50% 重疊的點模擬,與十倍的對稱的概述形狀

集運算

創建複雜形狀使容易通過使用 NPVE 集運算。 各自的形狀可能結合以集運算創建形狀的聯盟、區別、交叉點、 XOR 或者截去的版本。 每派生的形狀依然是充分地編輯可能,当新的節點取決於被使用的特殊集運算。 使用集運算,可以消滅重疊的形狀和這個發生的不正確的雙藥量的錯誤。

仿造的樣式

被使用的特殊掃描方法有對取得的結果的重大影向。 NPVE 仿造的樣式允許這個用戶指定掃描方法的範圍。

抵銷裝載

材料的光點直徑、再沉澱,氣體證言或者銘刻費率等等全部小於被畫的形狀造成使最終形狀輕微大或。 每形狀有,一次校準為特殊運算,允許 NPVE 由要求的這個金額自動地收縮或擴展形狀滿足確切的尺寸容差的抵銷參數。

活視圖仿造

從這條仿造的射線的角度,不僅僅查看用 SEM 的仿造的進程的形象化,當碾碎與小謊時,證明重要的對在小謊 NanoPatterning 的許多應用的成功。

活視圖仿造一個納諾電匯的剪切在一個深坑的底層的。

形狀的 NPVE 顯示實時 「縮放視圖」圖像,他們被仿造,允許仿造的進程的準確的對準線、漂移校正和觀察。

小謊文本

使用小謊文本選項,对方便跟蹤數據,所有實驗可以容易地被標記的原地。 所有微軟視窗™字體是可用的,并且這個文本可以被仿造與其他形狀同樣,包括運用運算處方啟用氣體化學。

附註試驗條件的小謊文本

圖像重疊

在某些應用準確確定形狀可以由覆蓋一個以前獲取的圖像或者圖像使更加簡單由另一個來源例如一個光學顯微鏡。 NPVE 支持圖像重疊、對準線和透明度調整。

來源: 「蔡司 NPVE Nanopatterning & 形象化引擎」卡爾蔡司

關於此來源的更多信息,请請拜訪卡爾蔡司

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:12

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