.jpg)
נושאים מקורה
רקע
הקדמה
מצמידים אינדוקטיבי פלזמה (ICP) כלי
InP חומר מבוסס תחריט
דרג תחריט גבוהה של מוליך גל ו Facet Mirror
InP תחריט פומפיה או תחריט רדוד
קריסטל InP פוטוניים (PHC) תחריט
InP דרך חור תחריט
InP / InGaP / AlInP Red LED ו תחריט תאים סולריים
InP microlens תחריט
תקציר
רקע
אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה מספקת מגוון של ביצועים גבוהים, כלים גמישים לעיבוד לקוחות מוליכים למחצה מעורב במחקר ופיתוח, ייצור. אנו מתמחים בשלושה תחומים עיקריים:
- לחרוט
- ורי, ICP, DRIE, ורי / PE, אלומת יונים
- תצהיר
- PECVD, ICP CVD, Nanofab, אלד, PVD, IBD
- צמיחה
הקדמה
תחריט יבש כיום בשימוש נרחב ייצור של התקנים אופטו אלקטרוניים מעורבים III-V וחומרים, בשל הצורך לבקרה קפדנית של ממדי של רכיבים קריטיים. שיעורי לחרוט מהיר, הדירות אחידות, chemistries נקי, פרופיל אנכי, נזק למכשיר נמוך כמה היבטים הנחשקת ביותר של תהליך תחריט. מצמידים אינדוקטיבי פלזמה (ICP) תחריט הוא אידיאלי הדרישות הללו, שכן הוא מספק צפיפות יונים גבוהה; שיעורי לחרוט מהר ומכאן, תוך מתן אפשרות שליטה נפרדת של צפיפות יונים ואנרגיה יון, מתן יכולת נזק נמוכה.
אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה (OIPT) פיתחה מגוון רחב של תהליכים לחרוט ICP עבור III-V מוליכים למחצה לעמוד בדרישות אלה.
במאמר זה, נתמקד תחריט תהליך של חומרים הקשורים InP, לדון chemistries תחריט שונים דרישות המערכת עבור יישומים שונים לספק עדכון של התוצאות האחרונות תהליך פיתוח חדש.
מצמידים אינדוקטיבי פלזמה (ICP) כלי
מערכת המשמשת תהליכים אלה היא אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה Plasmalab מערכת ICP 100 חרט (חומרה OIPT CS1) . סכמטי של החדר לחרוט ניתנת באיור 1 ומערכת מלא מוצג באיור 2.
.jpg)
באיור 1. סכמטי של הכלי System100 ICP180 Plasmalab
.jpg)
איור 2 Plasmalab מערכת 100 ICP180
RF כוח (13.56MHz) על המקור הן ICP (עד 3000Watts) ו אלקטרודה המצע (עד 600Watts) כדי ליצור את לחרוט פלזמה. מגן אלקטרוסטטי סביב הצינור ICP משמש על מנת להבטיח כי כוח ICP מצמידים אינדוקטיבי גרידא ("נכון-ICP", כלומר), ומכאן ביטול המקרטעת של חומר הצינור ומזעור נזקים מיותרים יון highenergy למכשירים. אנרגיה יון ב המצע מנוטר על ידי מדידת ההטיה DC שנוצר על האלקטרודה נמוך יותר, נשלט בעיקר על ידי כוח RF שסופקו אלקטרודה זו.
ופלים נטענים החדרה דרך loadlock לשמור על יציבות טובה של חלל החדר, ולכן הדירות התוצאות תחריט.