3D는 떠올라 (3DSM) - 3D 지상에게 만들기의 개관 그리고 응용 칼 Zeiss 에의한 만들기

커버되는 토픽

3DSM는 무엇입니까?
3DSM의 이점
3DSM의 응용
생명 공학에 있는 3DSM
전자공학에 있는 3DSM
웅변술에 있는 3DSM
기업에 있는 3DSM
3DSM 소프트웨어 발사
3DSM의 공용영역 외관
3DSM와 살아있는 최빈값
3DSM를 가진 측정 단면도 그리고 지역
3DSM의 제한
3DSM의 정확도
3DSM에 있는 표면 거칠기 평가
3DSM를 사용하여 격침 인장 분석
개요

3DSM는 무엇입니까?

스캐닝 전자현미경은 다양한 견본의 제 2 검사 그리고 도량형학을 위한 중대한 공구입니다. 그러나, 그들의 3D 기능은 아직도 양이 많은 지상 특성에 관해서 아주 한정됩니다, 특히. 이것은 3DSM에 의해 다룬 주요한 문제입니다.

3DSM는 AsB® 또는 4QBSD 검출기로 갖춰진 칼 Zeiss NTS 전자현미경을 검토된 견본을 지형도 작성 정보 제공 가능한 PC 기반 응용입니다. 응용은 개별적인 AsB®/4QBSD 세그먼트 신호에 근거를 둔 3D 표면 개조를 능력을 발휘할 수 있고, 몇몇 다른 쪽에 있는 유래 3D 모형을 구상합니다. 3DSM는 실시간 3D 화상 진찰을 위한 살아있는 최빈값에 있는 SmartSEM®와 함께, 작동할 수 있습니다. 그것은 또한 보관한 프로젝트 파일 구상을 위한 독립 최빈값에서 작동할 수 있습니다.

3DSM의 이점

3DSM는 전망의 단일 지점 사용의 가능성을, 4개의 검출기 세그먼트 신호를 사용하여 검사해 이용합니다. 다중 검출기 방법이라고 칭한 이 방법은, "셰이딩에서 모양"의 원리를 이용합니다. 4개의 입력한 심상을 사용하여, 지형도 작성 객체에 회색 수준의 단계변화는 계산 현지 지상 기하학을 위한 기초입니다. 이것은 지속적인 지상 모형과 유래 측정으로 기능 이끌어 냅니다.

3DSM를 밑에 있는 산법에는 2개의 관점에 근거를 둔 고아한 3D 표면 개조 방법에 몇몇 이점이 있습니다:

  • 실시간 작동 (살아있는 최빈값)
  • 단단 개조 시간 (< 1="" second="">가득 차있는 자동화
  • 필요한 추가 기계설비 없음 (예를들면 단계)
  • 고해상 성과
  • 4 상한의 다이오드 4 검출기 시스템의 어떤 모형을 가진 겸용성
  • 구별 가능한 세부사항이 결여되는 매끄러운 표면을 위한 일

3DSM의 응용

3DSM에는 광대한 응용 범위가 있습니다. 에서 SEM를 이제까지는 검토된 거의 모두는 지금, 끝없는 가능성을 생물학 같이 필드에 있는 만들거나 품질 관리를 기계로 가공하는 3차원을 얻습니다. 주 응용 프로그램 분야는 아래와 같이 열거됩니다:

  • 생명 공학
  • 전자공학
  • 웅변술
  • 기업

생명 공학에 있는 3DSM

생명 공학에 있는 3DSM의 응용은 다음을 포함합니다:

  • 셀 방식 & 조직 생물학
  • 입자 표면과 양 분석

전자공학에 있는 3DSM

전자공학에 있는 3DSM의 응용은 다음을 포함합니다:

  • 결점 & 실패 분석
  • 석판인쇄술과 거짓말 시스템을 위한 의견 도량형학
  • Nano 인장 분석 & 승인

웅변술에 있는 3DSM

웅변술에 있는 3DSM의 응용은 다음을 포함합니다:

  • 탄알 & 소화기 분석
  • nano 가늠자에 기록 특성

기업에 있는 3DSM

기업에 있는 3DSM의 응용은 다음을 포함합니다:

  • 소밀 측정
  • 착용 분석

3DSM 소프트웨어 발사

처음으로 발사될 때, 3DSM는 기계로 가공에 있는 보기 계획사업 files.ality 통제의 명부와 더불어 텔레비전을, 디스플레이할 것입니다

3DSM 텔레비전.

최근 계획사업 리스트 파일에 단 하나 제동자는 계획사업을 열 것입니다. 뒤에 오는 screenshots는 피라미드 견본 공용영역의 기본적인 특징을 설명하기 위하여 계획사업을 이용합니다.

계획사업을 적재한 후에 3DSM의 전망.

디폴트로, 3DSM는, 4개의 입력한 심상 (바닥)와 더불어, (맞은) 탭에서 디스플레이합니다 분류된 객체의 주요 3D 전망 및 기본적인 개조 매개변수를. 응용의 주위에 항해하고 유래 심상을 탐구하기 위하여 마우스를 이용하십시오. 마우스는 지상 메시 및 제 2 심상의 자전하고, 급상승하고, 가려내는 허용할 것입니다. 문맥 메뉴는 항상 일반적인 선택권을 보여주는 오른쪽 클릭에 유효합니다.

3DSM의 공용영역 외관

3DSM 공용영역의 외관은 아주 유연한 단미 Windows 기술을 사용하여 디자인됩니다. 이 특징은 사용자가 실제로 어떤 응용 배치든지 구성하는 것을 허용합니다. 각 Windows는 그밖 문서 Windows의 또는 4개의 측면 판 어떤에 무엇이든 안에 접안될 수 있습니다. 통용되는 배치는 보이는 것과 같이 아래에 심상에 툴바에서 단 하나 마우스 클릭에 유효합니다.

표준 전망.

3D 전망 배치.

도량형학 배치.

입력 심상 배치.

툴바에서 가능한 미리 정의한 응용 배치.

3D 표면은 몇몇 방법으로 수 있어, 틀리 군기 LUTs와 짜임새 오바레이에서 탐구될, 표면 도보 그리고 최빈값비행거리 의 주위에 구역 수색하. 3D 표면 수사의 몇몇 일반적인 보기는 아래에 보여집니다.

짜임새 오바레이 전망.

입체 사진 전망.

윤곽선 오바레이.

지상 도보 최빈값.

3DSM에서 유효한 지상 구상의 보기.

3DSM와 살아있는 최빈값

살아있는 최빈값은 3DSM가 SmartSEM®와 직접 연결하는 특별한 최빈값, NTS SEM 현미경을 위한 1 차적인 제어 소프트웨어입니다. 프레임 세트가 완료될 때마다, 3DSM에 의하여 모든 4개의 검출기 상한의에서 프레임을 직접 취득하고, 3D 개조가 몰래 능력을 발휘합니다.

2명의 모니터 또는 와이드 스크린 모니터를 사용하여 3DSMSmartSEM®를 평행으로 작전하기 위하여 조언됩니다. 이것은 최대 사용 용이를 지키기 위하여 두 응용 다 즉시 눈에 보이 이어야 하기 때문입니다. 최적 배열은 3DSM를 위해 SmartSEM® 그리고 두번째 것을 위해 1개의 모니터를 이용하기 위한 것입니다.

2개의 모니터는 살아있는 최빈값에 있는 3DSM 작전을 위해 추천됩니다.

살아있는 최빈값에 전환하기 전에, SEM는 backscattered 전자를 사용하여 유효한 심상을 디스플레이하기 위하여 조정되어야 합니다. 이것은 3개의… 15 mm의 범위 안에 작동 거리 및 EHTs의 사용을 요구해 backscattered 전자 탐지를 지키 (검출기 다이오드 모형에 달려 있습니다). 살아있는 최빈값에 전환은 단 하나 mouseclick에 의해 행해집니다. 3DSM는 잔여 매개변수를 자동적으로 조정하고, 각 frameset 후에 3D 표면 개조를 경신합니다. 단순히 후에 기대고 쇼를 즐기십시오!

3DSM를 사용하는 측정 단면도 그리고 지역

일단 견본 표면이 개축되면, 다양한 측정은 실행될 수 있습니다. 간단한 형식은 단 하나 차원 도량형학 (단면도 측정)입니다. , 툴바 단추를 사용하여 전환하기 위하여 강하게, 도량형학 배치 또는 메뉴 선택권에 조언됩니다. 다음, 단면도의 시작과 끝 점을 표를 하거든, 도표 Windows는 측정한 통계와 더불어 즉각 단면을 보여줄 것입니다.

스레드의 단면도 측정을 위해 이용되는 도량형학 배치.

3DSM는 독단적으로 선택한 지상 다각형에 근거를 둔 지역과 양 측정의 성과를 허용합니다. 다각형은 제 2 전망 또는 3D 전망에 대화식으로 그것의 정점을 정의해서, 선택될 수 있습니다.

정의 및 평가 지역 및 양.

완료에, 3DSM는 자동적으로 제 2 지역과 3D 양 통계를 산출할 것입니다.

3DSM의 제한

3DSM를 밑에 있는 지상 개조 방법은 "셰이딩에서 모양" 원리를 이용하는 다중 검출기 방법 입니다. 3DSM는 현지 지상 기하학 파생을 위해 4개의 입력한 심상에 회색 수준의 단계변화를, 사용합니다. 이것은 뒤에 오는 조건 하에서 양이 많은 지상 모형으로 이끌어 냅니다:

  • 입력 심상은 비용을 부과하거나 터널 효과와 같은 인공물에서 자유롭습니다
  • 입력 심상은 음영 효과를 보여주지 않습니다
  • 견본은 부분적으로 덮는 객체 없이 지속적인 표면, 입니다

상기 목록으로 만들어진 필수품에서, 음영 효과는 견본의 약간 종류에 문제를 수 있어, 특히 가파른 언덕 일으킬, 또는 수직 특징을 디스플레이하. 이것 의미는, 그것 현지 지상 지세에 의해 전자의 교류에서 검출기 세그먼트 가려지지 않을 수 있습니다.

그늘지게 하는 과실을 피하기 위하여는, 큰 작동 거리는 더 큰 backscattered 전자 수용각의 결과로, 선택될 수 있습니다. 그러나, 수직 특징 지배를 가진 몇몇 구조물은 양이 많은 방법에서 개축하게 가능하지 않을지도 모릅니다.

3DSM의 정확도

3DSM는 입력 신호가 backscattered 전자 배급을 성취하는 평온한 신호를 포함하면 는 조건으로만 고해상 및 정확도를 가진 SEM 견본 표면 개조를, 그러나 허용합니다. 시스템을 위한 매개변수는 다음과 같이 지정될 수 있습니다:

  • 최대 수직 개조 과실은 10% 이하 있기 위하여 추정됩니다. 이것은 그늘지게 하고는 비용을 부과, 끝머리 효과, 등등과 같은 신호 인공물 없이 심상을서만 신청합니다.
  • 최대 개조 각은 작동 거리와 다이오드 직경 에 의지하고 있습니다. 작동 거리를 위해 6개 mm 및 다이오드 직경은 60°의 주위에 10 mm 최대 각 입니다. 사면이 이 한계를 초과하는 경우에, 검출기 그늘지게 하는 것은 생기고 10% 최대 수직 과실은 보장될 수 없습니다.
  • 옆 해결책 및 극대 옆 개조 과실은 SEM 해결책과 옆 심상 과실에 의해서만 제한됩니다.
  • 개조 시간은 지상 짜임새를 가진 취득 규모 1024x768를 위한 1000ms의 밑에 있는 추정됩니다.

검출기 상한의에서 입력 심상은 성공적인 양이 많은 지상 개조를 위한 주요 조건입니다. 대부분의 인공물은 (비용을 부과와 같은) 적당한 견본 준비 및 최적 SEM 근무 조건 사용하기를 통해 보상하기 쉽습니다. 유일하게 피할 수 없는 심상 과실은 가파른 견본 사면을 위해 생기는 그늘지게 하는입니다. 그러한 경우에 지상 개조 및 구상은 아직도 가능합니다, 그러나 10% 최대 과실 제한은 보장될 수 없습니다. 가파른 언덕을 포함하는 견본의 종류를 위해, 3DSM는 측정 공구 고려될 수 없습니다.

3DSM에 있는 표면 거칠기 평가

나노미터 정밀도를 가진 측정 소밀은 SEM에서 더 쉬웠습니다 지금까지 결코 없었습니다. 소밀 평가와 더불어 지금 선정한 단면도에 관하여 통계자료는 도량형학 속성 탭에서 유효합니다. 이 정보는 각 프레임 후에 살아있는 최빈값에서 사용자가 대화식으로 선정하는 단면도를 바꿀 때, 자동적으로 경신되고.

표면 거칠기 평가는 3DSM에 있는 붙박이 특징입니다.

3DSM를 사용하여 격침 인장 분석

3DSM의 많은 응용의 한개는 탄알에 남겨둔 격침 인장을 분석하고 있습니다. 목표는 탄알에 독특한 표하기와 일치하고는, 그(것)들이 동일 전자총에 의해 발사되었다는 것을 종결하고는, 또는 탄알과 전자총을 한 쌍이 되기 위하여 위한 것입니다. 지금까지는, 연구의 이 모형은 제 2에서 1 차적으로 능력을 발휘했습니다. 3DSM와 함께 칼 Zeiss NTS 스캐닝 전자현미경은 이 지역에 전체적인 새로운 차원을 추가합니다. 탄알 분석의 확실성 수준은 제 2 개략만 보다는 오히려 중요하게 부피 측정 방법에 있는 인장 비교의 가능성에 감사를, 증가하고 있습니다.

탄알에 남겨두는 격침의 인장.

3DSM는 제 2 그리고 중요하게 평결의 확실성 수준을 증가시키는 3D에서 인장에 도량형학의 성과를 둘 다, 허용합니다.

개요

3DSM는 검사 전자 현미경 검사법에 견본을 즉시에서 3개 차원에서 거의 검토되는 허용해서 전체적인 새로운 수준을 추가합니다. 절차를 기우는 복잡한 단계를 위한 추가 필요가 없습니다. 단순히 관심사의 객체를 찾아내고, 살아있는 최빈값에 전환하고 쇼를 즐기십시오!

근원: "3DSM - 칼 Zeiss의" 만드는 3D 표면

이 근원에 추가 정보를 위해, 칼 Zeiss를 방문하십시오.

Date Added: Nov 17, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 04:23

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