Proyección De Imagen y Nano-Maching de Graphene Usando El ORIÓN MÁS el Microscopio de Ión del Helio de Carl Zeiss

Temas Revestidos

Antecedentes
Técnicas Actuales Disponibles para Graphene Que Repite
Proyección De Imagen y Graphene Que Labra A Máquina Usando El MÁS de ORION® de Carl Zeiss
Aplicación
ORION® MÁS Capacidades

Antecedentes

Graphene es una única hoja atómica de los átomos de carbón en la ordenación encontrada en grafito. El hecho de que sea termodinámico estable pues un de una sola capa permite la explotación de sus propiedades de transporte únicas del electrón. Particularmente, las propiedades electrónicas bidimensionales del graphene presentan el potencial para él a la función como un conductor, un transistor, un punto del quantum, un interruptor molecular, u otros dispositivos. El arresto lateral de la capa, sin embargo, es dominante a hacer estos comportamientos ser expresado. Es también muy importante en la investigación de estos fenómenos para tener la capacidad de controlar, sobre la base de los diseños de arriba hacia abajo, donde el modelar se hace en lazo a las antenas y a las conexiones externas.

Técnicas Actuales Disponibles para Graphene Que Repite

Actualmente el modelar del graphene es logrado por técnicas tales como STM o litografía de haz electrónico, pero éstos sufren de los apremios de la producción y de mando de proceso que limitan la repetibilidad realizable de las estructuras. Por Lo Tanto sería atractiva modelar directamente las estructuras necesarias con buen mando. Además, una solución completa también requiere proyección de imagen de alta resolución para poner los cortes y verificar los resultados.

Proyección De Imagen y Graphene Que Labra A Máquina Usando El MÁS de ORION® de Carl Zeiss

El ORION® MÁS hace le posibles ambos a la imagen y al graphene de la máquina en una operación inconsútil. La alta resolución del microscopio - un valor del récord mundial para la proyección de imagen superficial en 0,25 nanómetros - combinado con su sensibilidad superficial extrema permite la proyección de imagen de las pequeñas características del graphene con la única detección de la capa monomolecular. Hay además una ventaja con el haz de ión del helio en que puede labrar a máquina suavemente el graphene. Un ciclón chisporrotea el rendimiento, estimado para estar entre 0,006 y 0,02 átomos de carbón por el ión del helio, dependiendo del espesor de la muestra y del tipo del substrato, significa que la proyección de imagen se puede hacer con seguridad en un régimen más inferior de la dosis mientras que el fresar de la nano-escala se puede hacer en una dosis más alta. Conectando la configuración de la óptica del ión entre estos dos modos uno puede realizar el proceso entero de la formación del dispositivo: determinando el campo de interés, definiendo las geometrías que labran a máquina, haciendo los cortes y revisar el resultado.

El Cuadro 1 demuestra la alta sensibilidad superficial para el graphene de la proyección de imagen y el mando de velocidad para el retiro material. La imagen revela a mucho detalle superficial en la muestra. Las 500 áreas del nanómetro en el centro de esta imagen fueron sujetadas a una dosis más alta de los iones del helio en 38keV. Esto facilitó el retiro de una pequeña cantidad de material de la superficie. El Examen muestra cómo la topografía fue hecha parte plana pero sin fresar importante en la superficie.

El Cuadro 1. ORION® MÁS la imagen del graphene acoda (espesor no determinado) mostrar la modificación superficial. Una pequeña dosis del ión fue aplicada al área contorneada. Una capa superficial fina podía ser quitada selectivamente.

El Cuadro 2 muestra una operación fresada del descubrimiento completo. En este caso una dosis mucho más grande fue aplicada a un área del cuadrado 100nm, haciendo una característica labrada a máquina limpia completamente las capas. Este tipo de labrar a máquina no es posible con SEM, porque no hay chisporroteo. Está también fuera del alcance de la BOLA tradicional del galio, que crearía demasiado daño y también introduciría los contaminantes metálicos en la característica. Puesto Que el rendimiento del chisporroteo es tan inferior, es posible obtener una alta imagen de la señal ruido en los órdenes de magnitud de una dosis dos del ión debajo de qué se requiere para quitar una única capa monomolecular del graphene - significado que la proyección de imagen es no destructiva a la muestra. Hemos demostrado por este proceso la capacidad de crear una cinta ancha 20nm en un de una sola capa del graphene - un requisito para probar propiedades semiconductoras bidimensionales en este material.

El Cuadro 2. ORION® MÁS la imagen del graphene acoda mostrar fresar del ión. La pequeña área cuadrada en el centro es un rectángulo 100nm labrado a máquina totalmente a través del material. La acuidad del borde del rectángulo demuestra la resolución realizable excelente que se puede lograr para modelar.

Aplicación

El Alto modelar de la resolución espacial del graphene acoda para la investigación y la creación de un prototipo en semiconductor o campos de la ciencia material. Esto está para la creación de dispositivos de las dimensiones del nanómetro que exhibirán las nuevas propiedades útiles debido al arresto del electrón.

ORION® MÁS Capacidades

La sensibilidad De alta resolución y superficial al graphene de la imagen cubre; la capacidad de seleccionar proyección de imagen o modos que labran a máquina; operación no contaminante.

Fuente: El “Nano-Labrar a máquina de Graphene en el ORION®PLUS” por Carl Zeiss

Para más información sobre esta fuente, visite por favor a Carl Zeiss.

Date Added: Nov 17, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 04:44

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