Rappresentazione e Nano-Maching di Graphene Facendo Uso Di ORIONE PIÙ il Microscopio Ionico dell'Elio da Carl Zeiss

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Tecniche Correnti Disponibili per Graphene di Picchiettamento
Rappresentazione e Graphene Lavorante Facendo Uso Del PIÙ di ORION® da Carl Zeiss
Applicazione
ORION® PIÙ le Capacità

Sfondo

Graphene è una singola lamiera sottile atomica degli atomi di carbonio nella disposizione trovata in grafite. Il fatto che è thermodinamicamente stabile poichè un a un solo strato permette lo sfruttamento dei sui beni di trasporto unici dell'elettrone. In particolare, i beni elettronici bidimensionali di graphene presentano il potenziale per alla funzione come un conduttore, un transistor, un punto di quantum, un'opzione molecolare, o altre unità. La relegazione laterale del livello, tuttavia, è chiave a indurre questi comportamenti ad essere espresso. È egualmente molto importante nella ricerca dei questi fenomeni per avere la capacità di gestire, in base alle progettazioni dall'alto in basso, dove il modello è fatto nella relazione alle sonde ed alle connessioni esterne.

Tecniche Correnti Disponibili per Graphene di Picchiettamento

Attualmente il modello del graphene è compiuto mediante tecniche quali STM o la litografia del fascio di elettroni, ma questi soffrono dai vincoli del controllo dei processi e di capacità di lavorazione che limitano la ripetibilità realizzabile delle strutture. Di Conseguenza sarebbe attraente direttamente modellare le strutture necessarie con buon controllo. Inoltre, una soluzione completa egualmente richiede la rappresentazione di alta risoluzione per collocare i tagli e verificare i risultati.

Rappresentazione e Graphene Lavorante Facendo Uso Del PIÙ di ORION® da Carl Zeiss

Il ORION® PIÙ permette entrambi all'immagine e al graphene del commputer in un'operazione senza cuciture. L'alta risoluzione del microscopio - un valore del record del mondo per rappresentazione di superficie a 0,25 nanometri - combinato con la sua sensibilità di superficie estrema permette la rappresentazione di piccole funzionalità del graphene con singola rilevazione dello strato monomolecolare. C'è inoltre un vantaggio con il raggio ionico dell'elio in quanto può lavorare delicatamente il graphene a macchina. Un minimo polverizza il rendimento, stimato per essere fra 0,006 e 0,02 atomi di carbonio per ione dell'elio, secondo spessore del campione ed il tipo del substrato, significa che la rappresentazione può essere fatta sicuro in un regime più basso della dose mentre la fresatura del nano-disgaggio può essere fatta alla dose elevata. Fornendo la configurazione di un cavicchio dell'ottica dello ione fra questi due modi si può effettuare l'intero trattamento di formazione dell'unità: identificando il centro di interesse, definendo le geometrie lavoranti, facendo i tagli ed ispezione del risultato.

Figura 1 dimostra sia l'alta sensibilità di superficie per il graphene della rappresentazione che il controllo di velocità per rimozione materiale. L'immagine rivela molto dettaglio di superficie sul campione. Lle 500 aree di nanometro nel centro di questa immagine sono state sottoposte ad una dose elevata degli ioni dell'elio a 38keV. Ciò ha facilitato la rimozione di una piccola quantità di materiale dalla superficie. L'Ispezione mostra come la topografia è stata trasformata a piano ma senza fresatura significativa la superficie.

La Figura 1. ORION® PIÙ l'immagine di graphene mette a strati (spessore non determinato) la mostra della modifica di superficie. Una piccola dose dello ione si è applicata all'area descritta. Uno strato superficiale sottile ha potuto essere rimosso selettivamente.

Figura 2 mostra un'operazione completa di fresatura dell'innovazione. In questo caso una dose molto più grande si è applicata ad un'area del quadrato 100nm, rendente ad una funzionalità completamente in modo pulito lavorata i livelli. Questo tipo di lavorare non è possibile con SEM, perché non c'è la polverizzazione. È egualmente fuori portata di gallio tradizionale MENTE, che creerebbe troppo danno ed egualmente presenterebbe gli agenti inquinanti metallici nella funzionalità. Poiché il rendimento della polverizzazione è così basso, è possibile ottenere un'alta immagine di segnale/disturbo agli ordini di grandezza di una dose due dello ione sotto che cosa è richiesto per rimuovere un singolo strato monomolecolare di graphene - significato che la rappresentazione sia non distruttiva al campione. Abbiamo dimostrato tramite questo trattamento la capacità di creare un ampio nastro 20nm in un a un solo strato di graphene - un requisito del verificare i beni semiconduttori bidimensionali in questo materiale.

La Figura 2. ORION® PIÙ l'immagine di graphene mette a strati la mostra della fresatura dello ione. La piccola area quadrata nel centro è una casella 100nm lavorata completamente attraverso il materiale. L'acutezza della barriera della casella dimostra la risoluzione realizzabile eccellente che può essere raggiunta per modellare.

Applicazione

L'Alto modello di risoluzione spaziale del graphene mette a strati per la ricerca ed il modello nei campi di scienza dei materiali o a semiconduttore. Ciò è per la creazione delle unità delle dimensioni di nanometro che presenteranno i nuovi beni utili dovuto relegazione dell'elettrone.

ORION® PIÙ le Capacità

La sensibilità Di alta risoluzione e di superficie al graphene di immagine riveste; la capacità di selezionare rappresentazione o i modi lavoranti; operazione non contaminante.

Sorgente: “Nano-Lavorare di Graphene nel ORION®PLUS„ da Carl Zeiss

Per ulteriori informazioni su questa sorgente, visualizzi prego Carl Zeiss.

Date Added: Nov 17, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 04:16

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