تحسينات جديدة في بالحث اقترن البلازما -- ترسب الأبخرة الكيميائية (ICP - CVD) عملية بواسطة البلازما أكسفورد آلات التكنولوجيا

الموضوعات التي تغطيها

المودعة لوحات نقل جديدة وتحسين التوحيد سماكة برنامج المقارنات الدولية لأفلام الرسوم التعويضية

كما تم إدخال تحسينات المحرز في عملية التي تم تحقيقها وتحسين التوحيد سماكة الفيلم مبنية على تصميم الأجهزة الجديدة على براءة اختراع. تصميم جهاز جديد يتيح أيضا للمستخدم القدرة على إيداع أكثر من طبقات مساحات ممتازة مع فيلم سمك التوحيد. ويستند تصميم الأجهزة على براءة اختراع على تصميم الطراز الجديد الدش الذي نسميه لوحة الإرسال. ثم يتم وضع لوحة في غرفة الإرسال ويجلس بين المصدر كثافة البلازما عالية والركيزة ل.

وقد الأمثل لوحة انتقال المرض من خلال تعديل أحجام حفرة والتوزيع من أجل تحقيق أقصى قدر من التحسن سماكة الفيلم. يرصد لوحة انتقال سبيكة الألومنيوم 6082 بسماكة كافية للحفاظ على لوحة قريبة من درجة حرارة الغرفة عن طريق التوصيل الوحشي ، حتى عند تشغيل برنامج المقارنات الدولية مع القوى عالية. وجد أنه من أجل تحقيق "أفضل" سماكة الفيلم التوحيد لنيتريد السليكون وترسبات أكسيد السيليكون كان مطلوبا الخيارين مختلفة من لوحات.

الأرقام 1 و 2 (أدناه) تظهر صفيحتين انتقال مختلفة ل ICP180 المصدر.

الشكل 1. صورة من الحلقة سيلاني الغاز والغاز لوحة انتقال داخل غرفة العملية خلال عملية البلازما

الشكل 2. صفيحتين نقل الغاز. (أ) هو الأمثل لوحة نقل ودائع من 1 إلى ₂ شافي. (ب) هو الأمثل لوحة نقل _إلى x 2 الخطيئة ودائع

ويبين الشكل 3 لوحة أكبر انتقال التي هي المطلوبة ل ICP380 مصدر في ودائع ل برنامج المقارنات الدولية في الأمراض القلبية الوعائية مع ركائز الأفلام تصل الى 300mm ممتازة مع فيلم سمك التوحيد.

لوحة نقل الرقم 3. استخدامها مع مصدر ICP380

تحسين الأداء السينمائي مع برنامج المقارنات الدولية لنظم الأمراض القلبية الوعائية من الآلات أكسفورد

الشكل 4 و 5 يظهر مثال _س سين الفيلم توزيع سمك أكثر من 100 ملم و200MM رقاقة السيليكون ، وذلك باستخدام ICP180 و ICP380 المصدر على التوالي. أكسفورد الآلات 'ICP - CVD نظم نقدم الآن هذه التحسينات العملية المحسنة ، والمستخدمين سوف تكون ايضا قادرة ترقية بسهولة القائمة بينهما ICP - CVD النظام لتتمكن من تحقيق أداء أفضل فيلم.

الشكل 4. ICP - _X CVD فيلم الخطيئة التوحيد سمك أكثر من 100mm باستخدام System100 مع مصدر ICP180

الشكل 5. ICP - _X CVD فيلم الخطيئة التوحيد سمك أكثر من 200MM باستخدام System100 مع مصدر ICP380

سمك نموذجي التوحيد أداء الفيلم لدرجة حرارة منخفضة ترسبات يعتمد أيضا على مصدر برنامج المقارنات الدولية المستخدمة. ويبين الجدول 1 سمك فيلم مختلف التوحيد اعتمادا على مصدر برنامج المقارنات الدولية.

الجدول 1. النموذجية سماكة الفيلم ICP - CVD الإتساق

السيطرة على تدفقات الغاز خلال برنامج المقارنات الدولية لمعالجة الأمراض القلبية الوعائية

وتستخدم مثل الأفلام أودعت نيتريد السليكون وأكسيد السليكون في HBLEDS إيقاف فاعلية الأجهزة النهائية. الطرق الحالية تشمل تجهيز الدفعات التي PECVD تحميل نموذجي ليصل إلى 8 س "ركائز (وحمولة أكبر بكثير من 2" 4 ركائز) مع معدل نمو 14-15 نانومتر / دقيقة. قدرا كبيرا من الاهتمام في الآونة الأخيرة وجهت نحو رقاقة واحدة تجهيز الصمام الذي يتطلب ارتفاع معدلات ترسب للحفاظ على متطلبات الإنتاجية. ومن المعروف أيضا أنه يجب أيضا أن تظل درجات الحرارة ترسب في أدنى مستوى ممكن. هذه المتطلبات يقيد قدرة PECVD التقليدية التي تتطلب درجات حرارة عالية وأسعار منخفضة ترسب من أجل السماح لتودع مواد ذات جودة عالية ، وربما من خلال إتاحة الوقت الكافي لالهيدروجين الزائدة outgas من الفيلم المتنامية.

ناقشنا بالفعل يمكن أن تودع الأفلام كثافة عالية في درجات الحرارة المنخفضة (<150 درجة مئوية) باستخدام برنامج المقارنات الدولية في الأمراض القلبية الوعائية ولكن مع تقنية معدلات ترسب نموذجية من 8nm/min. لكن أعمال التطوير الأخيرة في OIPT حققت معدلات أعلى بكثير من ترسب> 140nm/min في درجات حرارة منخفضة في نفسه ، مع الحفاظ على جودة الفيلم جيدة سماكة الفيلم ، والفيلم التوحيد السيطرة على الإجهاد. وقد أظهرت هذه التطورات الأخيرة قدرة برنامج المقارنات الدولية في الأمراض القلبية الوعائية في تحقيق الأفلام ذات الجودة العالية في درجات الحرارة المنخفضة مع إنتاجية عالية. وقد حققت أعلى معدل ترسب العمليات من خلال زيادة قوة برنامج المقارنات الدولية وتدفق الغاز المخلوط كما هو موضح في الشكل 6 أدناه. ثم تم تعديل نسبة تدفق الغاز لالإثم وشافي ترسب ₂ من أجل ضبط مؤشر الانكسار (الشكل 7).

الشكل 6. المودعة تباين معدل الترسيب مع مجموع تدفقات الغاز _ل x SIN ICP - الأمراض القلبية الوعائية عند 150 درجة مئوية

الرقم 7. تودع تباين معدل ترسب مقابل تدفق الغاز الإجمالية لبرنامج المقارنات الدولية في الأمراض القلبية الوعائية شافي ₂ في 150 درجة مئوية

التكرار والاستقرار في برنامج المقارنات الدولية لمعالجة الأمراض القلبية الوعائية

واحدة من أهم العوامل لنظام ترسب هو القدرة على إيداع الفيلم نفسه مرارا وتكرارا. والتكرار والاستقرار في برنامج المقارنات الدولية في الأمراض القلبية الوعائية في العملية التي نفذت الاختبارات عن طريق إيداع ارتفاع معدل ترسب شافي ₂ (> 140nm/min) في درجات حرارة منخفضة (<150 درجة مئوية) على رقائق × 75 100mm. وتظهر النتائج في الشكل 8 و 9 و 10 أدناه.

الرقم 8. يفر لترسب رقاقة التكرار معدل ٪ + / -2 <التوحيد مع سمك فيلم <+ / -3 ٪ خلال رقاقة 100mm

الرقم 9. يفر إلى التكرار رقاقة معامل انكسار ٪ + / -0.3 <