.jpg)
Θέματα που καλύπτονται
Επισκόπηση Τι είναι ένα Ion Beam Πηγή; Πηγές ιόντων Beam από την Οξφόρδη Όργανα Πλέγματα Neutralisers Βασικές Διπλή δέσμη ιόντων Sputtering Επιμελητήριο Set Up Εναπόθεση υλικών με τη χρήση ιόντων εναπόθεση πορείας Έλεγχος Ιδιότητες και Ανάπτυξης της Films χρησιμοποιώντας εργαλεία από Oxford Instruments Ιόντων εναπόθεση πορείας και Χαμηλής Πίεσης Περιβάλλοντα Ιόντων εναπόθεση πορείας και των επιφανειακών Pre-Clean και Κινηματογράφου έλεγχο του στρες Η ποιότητα της δέσμης ιόντων ταινιών που έχουν κατατεθεί Αξιοπιστία και η αναπαραγωγιμότητα της εναπόθεσης δέσμης ιόντων Εφαρμογές της εναπόθεσης δέσμης ιόντων Laser Bar Επίστρωση Μονού φίλτρου Cavity Τρεις Mirror τερηδόνα Δαχτυλίδι Γυροσκοπίου Laser Περίληψη Επισκόπηση
Αυτή η εργασία παρουσιάζει μια αξιολόγηση της τεχνολογίας δέσμης ιόντων. Στην παρούσα ανασκόπηση οι κυριότερες εφαρμογές και τα πλεονεκτήματα της χρήσης της τεχνολογίας Ion Beam για την εναπόθεση σε σύγκριση με την τεχνολογία όπως το πλάσμα ή εξάτμιση (PVD) θα παρουσιαστούν. Κατ 'αρχάς, μια επισκόπηση του πώς μια δέσμη ιόντων παράγεται θα περιγραφούν. Αυτό στη συνέχεια θα ακολουθήσει μια παρουσίαση και συζήτηση των κάποια συμφέρουσα εφαρμογές της τεχνολογίας της δέσμης ιόντων.
Τι είναι ένα Ion Beam Πηγή;
Ουσιαστικά, μια πηγή δέσμης ιόντων είναι μια πηγή πλάσματος είναι εξοπλισμένα με μια σειρά από δίκτυα που επιτρέπουν τη ροή των ιόντων για να εξαχθεί. Ιόντων πηγή μας πορείας έχει τα εξής τρία κύρια μέρη: την αίθουσα απαλλαγή, τα δίκτυα και τις εξουδετέρωσης.
Ιόντα παράγονται στο θάλαμο απαλλαγή από την υποβολή ενός αερίου (συνήθως αργό) σε ένα πεδίο RF. Το φυσικό αέριο εισάγεται σε χαλαζία ή αλουμίνας θαλάμου RF powered κεραίας πηνίο γύρω από αυτό. Το πεδίο RF ενθουσιάζει ελεύθερα ηλεκτρόνια, έως ότου έχουν αρκετή ενέργεια για να σπάσουν τα άτομα του αερίου σε ιόντα και ηλεκτρόνια? Αυτό αναφέρεται ως «επαγωγική σύζευξη». Το φυσικό αέριο είναι έτσι ιονισμένο πλάσμα και είναι εγκατεστημένος. Η end-to-end RF τάσης της κεραίας μπορεί να φτάσει υψηλές τιμές. Το αποτέλεσμα αυτής της τάσης σχετικά με τα ιόντα μπορεί να είναι μια ηλεκτροστατική δύναμη που θα δημιουργήσει εξαιρετικά ενεργοποιημένο ιόντα. Αν και αυτή η επίδραση θα έκανε την πηγή ιόντων εύκολο να ξεκινήσει, αυτά τα ιόντα θα διαβρώσει την ιόντων πηγή από sputtering, καταστρέφοντας το και δημιουργώντας μόλυνση στη διαδικασία? Αυτό αναφέρεται ως "χωρητικής σύζευξης".
Πηγές ιόντων Beam από την Οξφόρδη Όργανα
Στην πηγή ιόντων Οξφόρδης, χωρητικής σύζευξης καταστέλλεται με την τοποθέτηση μια ηλεκτροστατική ασπίδα μέσα στο θάλαμο χαλαζία για να επιτρέψετε μόνο στις RF μαγνητική συνιστώσα για την μεταφορά ενέργειας στα άτομα του αερίου. Η ηλεκτροστατική ασπίδα αποτρέπει το ηλεκτρικό πεδίο, που παράγεται σε όλη την πηνίο της κεραίας RF, από την είσοδο στην πηγή ιόντων. Βοηθά επίσης να διαλύσει οποιαδήποτε συνεχής επένδυση διεξαγωγή από την κατάθεση στο εσωτερικό του σωλήνα χαλαζία πλάσμα που θα μπορούσε οθόνη και να μειώσει την αποτελεσματικότητα του πλάσματος γενιά της ενέργειας RF.
Πλέγματα
Ο ρόλος των δικτύων είναι ουσιαστικά να επιταχύνει τα ιόντα με υψηλή ταχύτητα. Συνήθως, οι ορίζει το πλέγμα μας είναι κατασκευασμένα από δύο ή τριών μεγάλων δικτύων (βλ. Σχήμα 1α). Τα δίκτυα έχουν ένα συγκεκριμένο μοτίβο τρύπα με πολλά ανοίγματα? Είναι ο συνδυασμός όλων των επιμέρους beamlets που αποτελούν τη δέσμη. Δια-δίκτυο διαχωρισμού και της καμπυλότητας του δικτύου είναι επίσης σημαντικά ανάλογα με το που απαιτείται η εφαρμογή, για παράδειγμα ανάλογα με το μέγεθος στόχο να έκπτυστων ή το ρυθμό εναπόθεσης.
Πηγή ιόντων μας παράγει μια χαμηλή θερμοκρασία του πλάσματος με αργή (κρύο) ιόντων (<1eV), το οποίο μπορεί να εξαχθεί από την πηγή ιόντων μέσω των δικτύων με μια καλά καθορισμένη ενέργεια, και τα οποία δεν προκαλούν σημαντική διάβρωση της δομής του δικτύου.