Proyección De Imagen De alta resolución Tridimensional del Flanco y de la Socava Usando El Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM (AFM) por los Sistemas del Parque

Filete del Tema

El Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM de Sistemas del Parque
Características Del Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM
Limitaciones de 3D Convencional AFMs
     Limitaciones de la Punta de la Flama
     Inclinado Paso de progresión-En Limitaciones de la Punta
     Retos con los Flancos Que Llegan Hasta
El XE-3DM AFM comparado con 3D Convencional AFMs
Termine la Metrología 3D de Flancos usando El XE-3DM AFM
Proyección De Imagen De alta resolución de las Características de la Socava y del Flanco Usando El XE-3DM AFM

El Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM de Sistemas del Parque

Continuando el historial impresionante de los Sistemas del Parque de desarrollar soluciones optimizadas, los Sistemas del Parque introducen XE-3DM, un AFM automático que revolucione el foso de la manera, suspenden, y se exploran y se analizan las características de la socava. El nuevo XE-3DM también hace posible a las estructuras suaves de la fotoprotección de la imagen sin la deformación o el daño de ella.

Características Del Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM

Las características Dominantes del Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM incluyen:

Detección Automatizada de la etiqueta de plástico de la referencia
De adquisición de datos Automático y Análisis del Foso, de la Proyección, y de las Características de la Socava
Acceso De alta resolución a la Socava y al Flanco
Mediciones no destructivas del CD y del Flanco por Modo Sin contacto Verdadero
Las Estructuras Suaves de la Fotoprotección Pueden Ser Non-Destructively Reflejado
Medición del Ángulo Crítico de Flancos
Intercambio Automático de la Punta (opcional)

Limitaciones de 3D Convencional AFMs

Las Limitaciones de 3D convencional AFMs incluyen:

Limitaciones de la Punta de la Flama
Inclinado Paso de progresión-En Limitaciones de la Punta
Retos en Flanco Que Llega Hasta

Limitaciones de la Punta de la Flama

Porción inferior Plana y muy ancha de la punta (>100nm)
Incapaz de producir la imagen detallada de flancos
Accesibilidad Limitada a las muestras importantes de la socava
Tipo de exploración Lento y resolución inferior

Inclinado Paso de progresión-En Limitaciones de la Punta

El piezotubescanning Esencialmente inclinado XY y Z
Punta correlacionando de la punta
Resolución Inferior y limitada debido a “paso de progresión-en” la aproximación
Tipo de exploración Muy lento

Retos en Flancos Que Llegan Hasta

El AFM Convencional no puede conseguir el acceso al flanco, especialmente para las características de la proyección

Otros métodos, tales como la flama inclinan, son escasos en la obtención de los detalles de alta resolución del flanco debido a su punta embotada. Para una proyección más profunda, el ancho inferior no se puede alcanzar en absoluto.

El XE-3DM AFM comparado con 3D Convencional AFMs

La tecnología Innovadora de XE-3DM vence los retos y las limitaciones en 3D convencional AFMs ofreciendo el acceso de alta resolución a la socava y al flanco

Dos analizadores XY y de Z independientes de la flexión para la muestra y la punta
sideway inclinada Z-Analizador de -38° a +38°
Llegue Hasta al flanco de la proyección
El Uso de la alta relación de aspecto normal inclina para la proyección de imagen de alta resolución

Termine la Metrología 3D de Flancos usando El XE-3DM AFM

XE-3DM ofrece la metrología completa 3D del flanco

Medición De alta resolución de Roughnesss del Flanco
Medición Crítica del Angel de Flancos
Mediciones Críticas de la Dimensión de Flancos Verticales

Proyección De Imagen De alta resolución de las Características de la Socava y del Flanco Usando El XE-3DM AFM

XE-3DM ofrece el acceso de alta resolución a la socava y al flanco

Sistema XY y de Z desemparejado Único de la exploración con el analizador inclinado de Z
el Z-Analizador se inclina lateralmente a partir -19 a +19 grados y -38 a +38 grados
El Uso de la alta relación de aspecto normal inclina para la proyección de imagen de alta resolución
Exploración XY hasta 100 del µm del µm x 100
Rango de la exploración de Hasta 25 µm Z por el alto analizador de la fuerza