Proyección De Imagen De alta resolución Tridimensional del Flanco y de la Socava Usando El Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM (AFM) por los Sistemas del Parque

Filete del Tema

El Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM de Sistemas del Parque
Características Del Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM
Limitaciones de 3D Convencional AFMs
     Limitaciones de la Punta de la Flama
     Inclinado Paso de progresión-En Limitaciones de la Punta
     Retos con los Flancos Que Llegan Hasta
El XE-3DM AFM comparado con 3D Convencional AFMs
Termine la Metrología 3D de Flancos usando El XE-3DM AFM
Proyección De Imagen De alta resolución de las Características de la Socava y del Flanco Usando El XE-3DM AFM

El Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM de Sistemas del Parque

Continuando el historial impresionante de los Sistemas del Parque de desarrollar soluciones optimizadas, los Sistemas del Parque introducen XE-3DM, un AFM automático que revolucione el foso de la manera, suspenden, y se exploran y se analizan las características de la socava. El nuevo XE-3DM también hace posible a las estructuras suaves de la fotoprotección de la imagen sin la deformación o el daño de ella.

Características Del Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM

Las características Dominantes del Microscopio Atómico de la Fuerza de XE-3DM incluyen:

  • Detección Automatizada de la etiqueta de plástico de la referencia
  • De adquisición de datos Automático y Análisis del Foso, de la Proyección, y de las Características de la Socava
  • Acceso De alta resolución a la Socava y al Flanco
  • Mediciones no destructivas del CD y del Flanco por Modo Sin contacto Verdadero
  • Las Estructuras Suaves de la Fotoprotección Pueden Ser Non-Destructively Reflejado
  • Medición del Ángulo Crítico de Flancos
  • Intercambio Automático de la Punta (opcional)

Limitaciones de 3D Convencional AFMs

Las Limitaciones de 3D convencional AFMs incluyen:

  • Limitaciones de la Punta de la Flama
  • Inclinado Paso de progresión-En Limitaciones de la Punta
  • Retos en Flanco Que Llega Hasta

Limitaciones de la Punta de la Flama

  • Porción inferior Plana y muy ancha de la punta (>100nm)
  • Incapaz de producir la imagen detallada de flancos
  • Accesibilidad Limitada a las muestras importantes de la socava
  • Tipo de exploración Lento y resolución inferior

Inclinado Paso de progresión-En Limitaciones de la Punta

  • El piezotubescanning Esencialmente inclinado XY y Z
  • Punta correlacionando de la punta
  • Resolución Inferior y limitada debido a “paso de progresión-en” la aproximación
  • Tipo de exploración Muy lento

Retos en Flancos Que Llegan Hasta

El AFM Convencional no puede conseguir el acceso al flanco, especialmente para las características de la proyección

Otros métodos, tales como la flama inclinan, son escasos en la obtención de los detalles de alta resolución del flanco debido a su punta embotada. Para una proyección más profunda, el ancho inferior no se puede alcanzar en absoluto.

El XE-3DM AFM comparado con 3D Convencional AFMs

La tecnología Innovadora de XE-3DM vence los retos y las limitaciones en 3D convencional AFMs ofreciendo el acceso de alta resolución a la socava y al flanco

  • Dos analizadores XY y de Z independientes de la flexión para la muestra y la punta
  • sideway inclinada Z-Analizador de -38° a +38°
  • Llegue Hasta al flanco de la proyección
  • El Uso de la alta relación de aspecto normal inclina para la proyección de imagen de alta resolución

Termine la Metrología 3D de Flancos usando El XE-3DM AFM

XE-3DM ofrece la metrología completa 3D del flanco

  • Medición De alta resolución de Roughnesss del Flanco
  • Medición Crítica del Angel de Flancos
  • Mediciones Críticas de la Dimensión de Flancos Verticales

Proyección De Imagen De alta resolución de las Características de la Socava y del Flanco Usando El XE-3DM AFM

XE-3DM ofrece el acceso de alta resolución a la socava y al flanco

  • Sistema XY y de Z desemparejado Único de la exploración con el analizador inclinado de Z
  • el Z-Analizador se inclina lateralmente a partir -19 a +19 grados y -38 a +38 grados
  • El Uso de la alta relación de aspecto normal inclina para la proyección de imagen de alta resolución
  • Exploración XY hasta 100 del µm del µm x 100
  • Rango de la exploración de Hasta 25 µm Z por el alto analizador de la fuerza

Imagen de la Proyección de la Socava: Estructura de la Proyección del Metal

Imagen de la Medición de la Tosquedad del Flanco

Fuente: Sistemas del Parque

Para más información sobre esta fuente visite por favor los Sistemas del Parque

Date Added: Nov 26, 2010 | Updated: Sep 20, 2013

Last Update: 20. September 2013 06:28

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