حار تكنولوجيا النقش -- منخفضة التكلفة ، طريقة التصنيع المرنة لNanoimprinting نقش على ركائز من قبل مجموعة البوليمرات EV

الموضوعات التي تغطيها

مقدمة
مزايا الطباعة الحجرية nanoimprint (لا شيء)
مجالات حل لمجموعة من الطباعة الحجرية nanoimprint EV
ما هو النقش الساخن؟
تطبيقات النقش الساخن
أنظمة الطباعة الحجرية nanoimprint عن النقش الساخن
نموذجية عملية النقش الساخن للتدفق
ميزات فريدة من أنظمة النقش الساخن من مجموعة EV
EVG ® 510HE/UV-NIL شبه النظام الآلي النقش الساخن
EVG ® 520HE شبه النظام الآلي النقش الساخن
EVG ® 750 النظام الآلي النقش الساخن

مقدمة

منذ first الناشر الطباعة الحجرية نانو (لا شيء) المنشورات ، مصلحة في التكنولوجيا قد نمت بسرعة -- بدءا من المجتمع العلمي ومن ثم الانتقال الى القطاعات الصناعية مثل البصريات المتكاملة ، وأجهزة الاستشعار وfluidics الجزئي.

مزايا الطباعة الحجرية nanoimprint (لا شيء)

لا شيء يوفر مزايا تقنية عديدة فيما يتعلق بدقة القرار تراكب ، وتصميم أداة. بالإضافة إلى خلق ميزات عالية الدقة في نطاق نانومتر ، ويمكن أيضا أن تستخدم من أجل لا شيء تكرار ميزات أكبر من ذلك بكثير. في الوقت الحاضر ، لا شيء يستخدم في تطبيقات الضوئية لإنتاج العناصر البصرية مع أحجام ميزة في النطاق الفرعي ملليمتر. مع الطلب المتزايد على تكامل وظائف أعلى ، جنبا إلى جنب مع الحاجة إلى خفض أحجام هيكل بتكاليف مقبولة ، وتقنيات الطباعة الحجرية التقليدية اقتراب حدودها. لا شيء غير مرشح للمنافسة الطباعة الحجرية الجيل التالي (سوائل الغاز الطبيعي) نظرا لمزاياه في القرار وفعالية التكاليف.

وقد اعترف المحتملة لهذه التكنولوجيا من قبل الخبراء البارزين. في وقت لاحق ، وقد تم إضافته إلى خريطة الطريق الدولية لتكنولوجيا أشباه الموصلات (نظام الإسناد الأرضي) كحل لسوائل الغاز الطبيعي المحتملة الالكترونيات الدقيقة في عقدة 32 نانومتر وخارجها.

مجالات حل لمجموعة من الطباعة الحجرية nanoimprint EV

EVG تقدم حلولا في المناطق الثلاث الرئيسية في الطباعة الحجرية nanoimprint (لا شيء) :

• النقش الساخنة (سعادة) ،
• الأشعة فوق البنفسجية المستندة إلى الطباعة الحجرية nanoimprint (الأشعة فوق البنفسجية لا شيء) و
• الطبعة الصغرى الاتصال (μ - CP) .

ما هو النقش الساخن؟

حار تكنولوجيا النقش هو منخفضة التكلفة ، وطريقة التصنيع المرنة ، والتي أظهرت ارتفاع نسبة الجانب البوليمر المجهرية ، وكذلك أنماط nanoimprinting. يستخدم البوليمر أو الزجاج ركائز للهياكل التي تم إنشاؤها على بصمة ختم الرئيسي. هذا يسمح للقضاء على انتاج العديد من ركائز منقوشة بشكل كامل باستخدام مجموعة واسعة من المواد. النقش الساخن بالتالي هي مناسبة للتطبيقات من النماذج الأولية السريعة لارتفاع حجم الانتاج. النقش الساخن يمكن تطبيقها في مجموعة واسعة من الميادين : μTAS ، على microfluidics (micromixers ، microreactors) ، microoptics (أدلة الموجة ، ومفاتيح) الخ.

تطبيقات النقش الساخن

التطبيقات المحتملة لل تكنولوجيا النقش الساخنة ما يلي :

• على microfluidics
  • مختبر على رقاقة نظم
  • علوم الحياة
• منقوشة وسائل الإعلام (HDD)
• النماذج السريع

أنظمة الطباعة الحجرية nanoimprint عن النقش الساخن

و نظم سلسلة دقة المحاذاة EVG600 الدعم إلى محاذاة الركيزة ختم النقش الساخنة لاحقة. يتم إحضارها الطوابع والركيزة في اتصال داخل فراغ الغرفة EVG500 السلسلة . لمحة تسيطر على وجه التحديد درجة الحرارة (عادة ما يصل إلى 250 درجة مئوية ، ونظام يدعم ما يصل إلى 650 درجة مئوية) والاتصال تسلسل القوة (حتى 350kN) إنشاء بصمة الطابع على الركيزة. بصمة المناطق ما يصل الى 200 ملم في القطر مع ميزات عالية الدقة وصولا الى 50 نانومتر وقد برهنت على EVG500 أنظمة النقش الساخنة. مصنوعة من الطوابع نموذجية سي ₍₂₎ ، شافي أو المعادن (مثل النيكل). وعادة ما تكون ركائز ركائز البوليمر أو البوليمرات المغلفة على رقائق أشباه الموصلات. الخيار ارتفاع في درجة الحرارة يمكن يطبع في المواد التي تحتاج إلى درجات حرارة مرتفعة (مثل الزجاج ركائز).

الزخرفة منطقة كبيرة من البوليمرات شبه الموصلة للتطبيقات مرنة الخلايا الشمسية
EVG المصدر ، تقدمة من IMI - CNRC

نقل كبيرة على نمط المنطقة سي به لا شيء على EVG520HE
EVG المصدر ، تقدمة من IMI - CNRC

مطبوع الركيزة submicron مع خطوط ومساحات. مطبوع على EVG520HE
EVG المصدر ، تقدمة من جامعة فوبرتال جبلية

نموذجية عملية النقش الساخن للتدفق

درجة الحرارة تصل المنحدر (أعلى / أسفل السخان تسيطر بشكل مستقل) درجة الحرارة فوق ز T التبريد في الأسفل تيراغرام لإزالة النقش دي النقش درجة الحرارة يطبع القوة إخلاء (يبدأ عندما يتم فصل الطوابع والركيزة) أن يكون مطبوع تي الانتقال زجاج ز درجة حرارة البوليمر المصدر : EVG.

ميزات فريدة من أنظمة النقش الساخن من مجموعة EV

جميع أنظمة EVG في النقش الساخنة على حد سواء يطبع وقدرات الترابط.

EVG ® 510HE/UV-NIL شبه النظام الآلي النقش الساخن

و EVG510HE يمكن تكوين والمزخرف ساخنة اليدوي و / أو نظام للأشعة فوق البنفسجية النيل للR & D العمليات. الميدان أثبتت EVG510HE نظام العمارة يوفر أفضل قدرات عالية للفراغ والتطبيقات قوة عالية للإتصال به. النقش مع الغرفة العالمية لل EVG510HE يمكن هيكلة مجموعة كاملة من بوليمرات.

وEVG ® 510HE/UV-NIL شبه النظام الآلي النقش الساخنة.
المصدر : EVG.

EVG ® 520HE شبه النظام الآلي النقش الساخن

و EVG520HE صمم لكلا الصغرى والتطبيقات nanoimprinting. هذا النظام من الانتاج ثبتت EVG يقبل ركائز ما يصل الى 200 ملم ومتوافق مع معيار تقنيات تصنيع أشباه الموصلات. و نظام النقش الساخنة تم تكوينه مع غرفة النقش العالمية ، وارتفاع الفراغ وقدرات القوة العالية والاتصال يمكن معالجة مجموعة كاملة من بوليمرات والزجاج مخصص لمناسبة النقش الساخنة.

وEVG ® 520HE شبه النظام الآلي النقش الساخنة.
المصدر : EVG.