.jpg)
Emner som dekkes
Innledning
Fordeler med nanoimprint litografi (NIL)
Løsning Områder for nanoimprint litografi fra EV Group
Hva er Hot Embossing?
Anvendelser av Hot Embossing
Nanoimprint litografi systemer for Hot Embossing
Typiske Hot Embossing Process Flow
Unike egenskaper av Hot Embossing Systems fra EV Group
EVG ® 510HE/UV-NIL halvautomatisk Hot Embossing System
EVG ® 520HE halvautomatisk Hot Embossing System
EVG ® 750 Automated Hot Embossing System
Innledning
Siden den første Nano Imprint Litografi (NIL) publikasjoner, interessen for teknologi har vokst raskt - starter med det vitenskapelige fellesskapet og deretter flytte til industrielle sektorer som integrert optikk, sensorer og mikro lufthåndtering.
Fordeler med nanoimprint litografi (NIL)
NIL tilbyr flere tekniske fordeler med hensyn til oppløsning, overlay nøyaktighet og verktøy design. I tillegg til å skape høy oppløsning funksjoner i nanometer området, kan NIL også være ansatt for replikere mye større funksjoner. For tiden er NIL utnyttes i optiske søknader om produksjon av optiske elementer med funksjonen størrelser i sub-millimeter rekkevidde. Med den stadig økende etterspørselen etter høyere integrasjon av funksjonalitet, kombinert med behovet for å redusere strukturen størrelser til akseptable kostnader, er tradisjonelle litografiske teknikker nærmer seg med stormskritt sine grenser. NIL er en konkurransedyktig kandidat for Next Generation Litografi (NGL) på grunn av dens fordeler i oppløsning og kostnadseffektivitet.
Potensialet i denne teknologien har blitt anerkjent av ledende eksperter. Senere har det blitt lagt til International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) som en potensiell NGL løsning for mikroelektronikk ved 32 nm node og utover.
Løsning Områder for nanoimprint litografi fra EV Group
EVG tilbyr løsninger innenfor de tre hovedområdene nanoimprint litografi (NIL):
Hva er Hot Embossing?
Hot preging teknologi er en lav kostnad, fleksibel fabrikasjon metode som har vist polymer høyt sideforhold mikrostrukturer samt nanoimprinting mønstre. Den bruker polymer eller glass underlag å innprente strukturer opprettet på en master stempel. Dette gjør at stempel å produsere mange fullt mønstrede underlag med et bredt spekter av materialer. Hot preging er derfor egnet for søknader fra rapid prototyping til høyt volum produksjon. Hot preging kan brukes i en rekke felt: μTAS, MicroFluidics (micromixers, microreactors), microoptics (bølgeledere, brytere) etc.
Anvendelser av Hot Embossing
Potensielle anvendelser av Hot embossing teknologi inkluderer: