热装饰的技术 - 低成本, Nanoimprinting 模式的灵活的制造方法在 EV 组的聚合物基体

包括的事宜

简介
     Nanoimprint 石版印刷的好处 (NIL)
     Nanoimprint 石版印刷的解决方法地区从 EV 组
什么热装饰?
热装饰的应用
Nanoimprint 热装饰的石版印刷系统
典型的热装饰的流程
热装饰的系统唯一功能从 EV 组的
     EVG®510HE/UV-NIL 半自动化的热装饰的系统
     EVG®520HE 半自动化的热装饰的系统
     EVG®750 自动化的热装饰的系统

简介

因为第一纳诺版本记录石版印刷 (NIL)发行,兴趣在技术上迅速地增长 - 开始从科学界然后移动向象集成光学、传感器和微流体力学的工业部门。

Nanoimprint 石版印刷的好处 (NIL)

零提供几个技术好处关于解决方法、重叠准确性和工具设计。 除创建高分辨率功能之外在毫微米范围,零可能为复制更大的功能也被使用。 目前,零在光学应用使用为光学要素的生产与功能大小的在这个亚毫米的范围。 对功能的更高的综合化的持续增长的需求,结合以需要减少结构范围在可接受的费用,传统平版印刷的技术即将来临他们的限额。 零是下一代石版印刷的一名竞争候选人 (NGL)由于其在解决方法和成本实效的好处。

此技术潜在主导的专家承认了。 随后,被添加了到半导体的 (ITRS) 国际技术模式作为以远微电子学的潜在 NGL 解决方法在 32 毫微米节点和。

Nanoimprint 石版印刷的解决方法地区从 EV 组

EVG 提供在 Nanoimprint 石版印刷内三个主要地区的解决方法 (NIL):

什么热装饰?

热装饰的技术是低成本,灵活的制造方法,展示了聚合物高长宽比微结构以及 nanoimprinting 的模式。 它在一种主要印花税使用聚合物或玻璃基体印被创建的结构。 使用各种各样的材料,这允许这种印花税生产许多充分地被仿造的基体。 因此热装饰适用与从迅速原型的应用到大容积生产。 热装饰在各种各样的域可以适用: µTAS、 microfluidics (micromixers,微反应器), microoptics (通知指南,切换) 等。

热装饰的应用

热装饰的技术的潜在的应用包括:

  • Microfluidics
    • 实验室在筹码系统
    • 生命科学
  • 被仿造的媒体 (HDD)
  • 迅速原型

Nanoimprint 热装饰的石版印刷系统

对基体对准线的 EVG600 串联精确度对准线系统支持印花税随后热装饰的。 印花税和基体在 EVG500 串联真空箱里面的联络带来。 一张精密地受控温度曲线图 (典型地至 250°C,至 650°C) 的系统支持和联络强制顺序 (至 350kN) 创建印花税的版本记录在基体的。 版本记录地区直径的 200 mm 与高分辨率功能下来到 50 毫微米在 EVG500 热装饰的系统被展示了。 典型的印花税从 Si、 SiO 或者2 金属 (即 Ni) 做。 基体典型地是聚合物基体或上漆的聚合物在半导体片。 高温选项启用印到即高温是需要的材料 (玻璃基体)。

大区仿造灵活的太阳能电池应用的半导体的聚合物
来源 EVG, IMI-CNRC 礼貌

大区在 Si 的模式调用使用在 EVG520HE 的零
来源 EVG, IMI-CNRC 礼貌

与亚显微线路和空间的被印的基体。 印在 EVG520HE
来源 EVG, Bergische Universität 伍伯托礼貌

典型的热装饰的流程

  1. 温度 ramp (独立控制顶部/底层的加热器)
  2. 在 T 上的温度g
  3. 冷却在非装饰的 Tg 下
  4. 非装饰的温度
  5. 印强制
  6. 撤离 (起始时间,当印花税和基体分隔)

g 将被印的 T 玻璃转化温度聚合物

来源: EVG.

热装饰的系统唯一功能从 EV 组的

所有 EVG 的热装饰的系统有印的和结合的功能。

EVG®510HE/UV-NIL 半自动化的热装饰的系统

EVG510HE 可以配置为一台手工热轧花机和 UV-NIL 系统 R&D 进程的。 现场以证实的 EVG510HE 系统建筑为高真空和高联络强制应用提供最佳的功能。 EVG510HE 的通用装饰的房间可以构建聚合物的全部的范围。


EVG®510HE/UV-NIL 半自动化的热装饰的系统。
来源: EVG.

EVG®520HE 半自动化的热装饰的系统

EVG520HE 为微和 nanoimprinting 的应用设计。 从 EVG 的此生产证明的系统接受基体 200 mm 并且是与标准半导体制造技术兼容。 热装饰的系统配置以一个通用装饰的房间,高真空和高联络强制功能,并且可能处理全部的范围的聚合物和专用玻璃适用于热装饰。


EVG®520HE 半自动化的热装饰的系统。
来源: EVG.

EVG®750 自动化的热装饰的系统

EVG750 为对印的大容积装饰的和 nanoimprinting 的申请设计空转在层和聚合物基体。 此高处理量系统是在这个世界的第一,并且可以为大容积 microfluidic 设备制造使用。


EVG®750 自动化的热装饰的系统。
来源: EVG.

来源: EV 组

关于此来源的更多信息请拜访 EV 组

Date Added: Jan 16, 2011 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 03:54

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