热压技术 - 成本低，电动车组奈米聚合物衬底上的模式灵活的制作方法

讨论主题

简介
 纳米压印光刻（NIL）的优点
 从电动车组的纳米压印光刻技术的解决方案领域
热压是什么？
热压中的应用
热压纳米压印光刻系统
 典型的热压工艺流
热压系统的独特功能，从电动车组
EVG ® 510HE/UV-NIL半自动热压系统
 EVG ® 520HE半自动热压系统
 EVG ® 750自动热压系统

简介

由于第一个纳米压印光刻（NIL）的出版物，在技术的兴趣已迅速成长 - 与科学界开始，然后转移到工业部门，如集成光学，传感器和微流体。

纳米压印光刻（NIL）的优点

无提供几个方面的决议，套印精度的技术优势，和模具设计。除了创建高分辨率的特点，在纳米范围内，无也可以聘请复制更大的功能。目前，零是利用在生产光学元件特征尺寸在亚毫米范围内的光学应用。随着集成度更高的功能需要相结合，在可接受的成本，以减少结构尺寸不断增加的需求，传统的平版印刷技术正在迅速逼近自己的极限。无竞争力的候选人为下一代光刻技术（NGL）由于其分辨率和成本效益优势。

知名专家已经认可了这项技术的潜力。随后，它已加入国际半导体技术蓝图（ITRS）微电子液化天然气作为一个潜在的解决方案，在32纳米节点及以后。

从电动车组的纳米压印光刻技术的解决方案领域

EVG提供纳米压印光刻（NIL）的三个主要领域内的解决方案：

热压是什么？

热压成型技术是一种低成本，灵活的制造方法，这表明聚合物的高宽比微结构以及奈米图案。它采用聚合物或玻璃基板上创建一个主邮票的印记结构。这使得邮票产生许多完全图案的基板，使用各种材料。热压，因此适合快速原型的应用到大批量的生产。热压可应用在各种广泛的领域：μTAS，微流体（micromixers微反应器），微光学（波导，交换机）等。

热压中的应用

潜在的应用热压技术包括：

微流体
- 片上系统实验室
- 生命科学
晶格介质（硬盘）
快速原型

热压纳米压印光刻系统

EVG600系列精密定位系统支持的邮票衬底对齐随后的热压。邮票和基板带来EVG500系列真空室内部的联系。精确控制温度曲线（通常可达250 ° c，系统最多可支持至650 ° C）和接触力的顺序（350KN）在基板上创建一个邮票的印记。印记地区高分辨率的直径为200毫米的功能已在50 纳米证明EVG500热压印系统。典型的邮票是由硅，SiO ₂或金属（如镍）。基板通常是聚合物衬底或涂聚合物半导体晶片。高温选项使温度升高，需要的地方（如玻璃基板）的材料印迹。