熱裝飾的技術 - 低成本, Nanoimprinting 模式的靈活的製造方法在 EV 組的聚合物基體

包括的事宜

簡介
     Nanoimprint 石版印刷的好處 (NIL)
     Nanoimprint 石版印刷的解決方法地區從 EV 組
什麼熱裝飾?
熱裝飾的應用
Nanoimprint 熱裝飾的石版印刷系統
典型的熱裝飾的流程
熱裝飾的系統唯一功能從 EV 組的
     EVG®510HE/UV-NIL 半自動化的熱裝飾的系統
     EVG®520HE 半自動化的熱裝飾的系統
     EVG®750 自動化的熱裝飾的系統

簡介

因為第一納諾版本記錄石版印刷 (NIL)發行,興趣在技術上迅速地增長 - 開始從科學界然後移動向像集成光學、傳感器和微流體力學的工業部門。

Nanoimprint 石版印刷的好處 (NIL)

零提供幾個技術好處關於解決方法、重疊準確性和工具設計。 除創建高分辨率功能之外在毫微米範圍,零可能為複製更大的功能也被使用。 目前,零在光學應用使用為光學要素的生產與功能大小的在這個亞毫米的範圍。 對功能的更高的綜合化的持續增長的需求,結合以需要減少結構範圍在可接受的費用,傳統平版印刷的技術即將來臨他們的限額。 零是下一代石版印刷的一名競爭候選人 (NGL)由於其在解決方法和成本實效的好處。

此技術潛在主導的專家承認了。 隨後,被添加了到半導體的 (ITRS) 國際技術模式作為以遠微電子學的潛在 NGL 解決方法在 32 毫微米節點和。

Nanoimprint 石版印刷的解決方法地區從 EV 組

EVG 提供在 Nanoimprint 石版印刷內三個主要地區的解決方法 (NIL):

什麼熱裝飾?

熱裝飾的技術是低成本,靈活的製造方法,展示了聚合物高長寬比微結構以及 nanoimprinting 的模式。 它在一種主要印花稅使用聚合物或玻璃基體印被創建的結構。 使用各種各樣的材料,這允許這種印花稅生產許多充分地被仿造的基體。 因此熱裝飾適用與從迅速原型的應用到大容積生產。 熱裝飾在各種各樣的域可以適用: µTAS、 microfluidics (micromixers,微反應器), microoptics (通知指南,切換) 等。

熱裝飾的應用

熱裝飾的技術的潛在的應用包括:

  • Microfluidics
    • 實驗室在籌碼系統
    • 生命科學
  • 被仿造的媒體 (HDD)
  • 迅速原型

Nanoimprint 熱裝飾的石版印刷系統

對基體對準線的 EVG600 串聯精確度對準線系統支持印花稅隨後熱裝飾的。 印花稅和基體在 EVG500 串聯真空箱裡面的聯絡帶來。 一張精密地受控溫度曲線圖 (典型地至 250°C,至 650°C) 的系統支持和聯絡強制順序 (至 350kN) 創建印花稅的版本記錄在基體的。 版本記錄地區直徑的 200 mm 與高分辨率功能下來到 50 毫微米在 EVG500 熱裝飾的系統被展示了。 典型的印花稅從 Si、 SiO 或者2 金屬 (即 Ni) 做。 基體典型地是聚合物基體或上漆的聚合物在半導體片。 高溫選項啟用印到即高溫是需要的材料 (玻璃基體)。

大區仿造靈活的太陽能電池應用的半導體的聚合物
來源 EVG, IMI-CNRC 禮貌

大區在 Si 的模式調用使用在 EVG520HE 的零
來源 EVG, IMI-CNRC 禮貌

與亞顯微線路和空間的被印的基體。 印在 EVG520HE
來源 EVG, Bergische Universität 伍伯托禮貌

典型的熱裝飾的流程

  1. 溫度 ramp (獨立控制頂部/底層的加熱器)
  2. 在 T 上的溫度g
  3. 冷卻在非裝飾的 Tg 下
  4. 非裝飾的溫度
  5. 印強制
  6. 撤離 (起始時間,當印花稅和基體分隔)

g 將被印的 T 玻璃轉化溫度聚合物

來源: EVG.

熱裝飾的系統唯一功能從 EV 組的

所有 EVG 的熱裝飾的系統有印的和結合的功能。

EVG®510HE/UV-NIL 半自動化的熱裝飾的系統

EVG510HE 可以配置為一臺手工熱軋花機和 UV-NIL 系統 R&D 進程的。 現場以證實的 EVG510HE 系統建築為高真空和高聯絡強制應用提供最佳的功能。 EVG510HE 的通用裝飾的房間可以構建聚合物的全部的範圍。


EVG®510HE/UV-NIL 半自動化的熱裝飾的系統。
來源: EVG.

EVG®520HE 半自動化的熱裝飾的系統

EVG520HE 為微和 nanoimprinting 的應用設計。 從 EVG 的此生產證明的系統接受基體 200 mm 并且是與標準半導體製造技術兼容。 熱裝飾的系統配置以一個通用裝飾的房間,高真空和高聯絡強制功能,并且可能處理全部的範圍的聚合物和專用玻璃適用於熱裝飾。


EVG®520HE 半自動化的熱裝飾的系統。
來源: EVG.

EVG®750 自動化的熱裝飾的系統

EVG750 為對印的大容積裝飾的和 nanoimprinting 的申請設計空轉在層和聚合物基體。 此高處理量系統是在這個世界的第一,并且可以為大容積 microfluidic 設備製造使用。


EVG®750 自動化的熱裝飾的系統。
來源: EVG.

來源: EV 組

關於此來源的更多信息请請拜訪 EV 組

Date Added: Jan 16, 2011 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 03:58

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